>>116　

>ウェハに垂直な逆格子ベクトルがあると信じて2θ-ωスキャンすれば？
ある指数面からある方向にある角度だけ傾斜させた基板で、ウェハに
垂直な逆格子ベクトルが無いことだけは分かっています。角度の大小は
不明です。

>φの回転軸とウェハは垂直になるようにマウントし、χ=90°で測定するな。
φはステージ面内の回転角ですね。χはステージのアオリ角のことですか？
χ=90°だとどんな利点があるのですか？In-plane回折とは違うのですか？

>反射が系統的に見つかれば
お手数ですが、ここをもう少しご教授いただけませんか？自分の場合、
使用可能な装置は４軸回折計だけです。いかにして素早く軸を見つけますか？
In-plane回折は可能ですが、軸立ての難易度は同じじゃないでしょうか？
ちなみに受光側スリットは最大2°しかありません。