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ZnOトランジスタ？？

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0001痔怨

05/01/26 01:37:29

ZnOトランジスタについて語りましょう。
よろしくお願いします。

0002痔怨

05/01/26 01:38:53

私は大学でZnOFETの研究をしています。
PLDで作製しているのですが、なかなか上手くいきません・・・。
果たしてできるのか・・・。

0003痔怨

05/01/26 01:43:24

某大の友人が液層法での作製を試みてるとか・・・。
PLDでも微妙なのに、液層法でなんてできるのでしょうか？？
どなた様かいろいろ教えてください。

液層法で界面とか考えずにできるのかな？
出来るなら、PLDで苦労してるのがバカみたいな・・・。

0004名も無きマテリアルさん

05/01/26 07:46:34

FETなんだったら，DMSなんでしょ？
だったら，液相法使っても厳しいんじゃないの？

0005名なしの侍

05/01/26 17:48:44

DMSなのかな。
チャネルを単結晶likeなZnOで、界面と絶縁層で研究？

0006名なしの侍

05/01/26 17:51:34

絶縁層ならHigh-kだよね。SiO2,SiNとかもあるみたいだけど。
HfO2、ZrO2がハヤリ。

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