アウトオブプロセスのCOMサーバプロセスのサーバの寿命が気になるなら
・途中で手に入ったCOMオブジェクトすべてにMarshal.ReleaseComObject
・COMオブジェクト入れてた変数は全部参照を切ってGC.Collect×2
のどっちかが必要