すみません。できました。
using System;
using System.Collections.Generic;
using System.Web;
using System.Web.Services;
using System.Xml;
namespace websvrtest
{
　　[WebService(Namespace = "http://tempuri.org/")]
　　[WebServiceBinding(ConformsTo = WsiProfiles.BasicProfile1_1)]
　　[System.ComponentModel.ToolboxItem(false)]
　　public class Hoge : System.Web.Services.WebService
　　{
　　　　[WebMethod]
　　　　public XmlDocument HelloWorld()
　　　　{
　　　　　　XmlDocument dom = new XmlDocument();
　　　　　　dom.LoadXml("<?xml version=\"1.0\"?><aa></aa>");
　　　　　　XmlElement el = dom.CreateElement("hoge");
　　　　　　el.SetAttribute("aaa", "bbb");
　　　　　　dom.DocumentElement.AppendChild(el);
　　　　　　return dom;
　　　　}
　　}
}