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対象のデータ件数が60万件とかあるからです。
現在のうちの環境では22万件までいったところで
OutOfMemoryException が出てしまいます。

しかも、でる位置がたとえば

private static readonly byte[] buffer = new byte[1024];

private static int func(FileStream target) {
　int readsize = 0;
　readsize = target.Read(buffer, 0, 1024); <-- ここでOutOfMemoryException
　target.Position -= readsize;
　
　・・・
}

みたいな位置で出てしまうのでどう対処していいのやらなのです。
なのでメモリじゃなくてファイルに保存したらどうかなと考えました。

こんな感じでもDataSetとかで良いのでしょうか？