>77,78
真空度だけ聞くと「ナニ、−９乗？ スゲェじゃん」って思うが、
チャンバの大きさはどれ位なの？
実際のところ。

電離のフィラメント切れる間際だったりして…(藁。
てか、−９乗オーダーの真空度を測れるかどうか忘れたが。