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真空待ちの人

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0714名も無きマテリアルさん

2007/06/13(水) 23:12:09

>>713
ソース－基板間距離を出来る限りのばし、膜厚センサーはソース近くにする。
あとはツーリングファクターで合わせればOK！
ってのはだめ？

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