>>61
その通りです。はい
３年程、RFで希ガスAr：酸素＝8:2でスパッタしてたんですが
リークばりばり出て、リングが安定してないのを見て
かけてる電圧が電圧なので、少しばかり不安になるんですよね
大丈夫だとは言うものの。。。