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真空待ちの人
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0607
名も無きマテリアルさん
2006/05/03(水) 17:59:00
>>600
チャンバーを真空に保ったままなのだから、
荒引バルブを開けなければ
ロータリーポンプ内のリークバルブ操作のみなのだから
関係ないでしょ?
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