>>456
ちょとちがう
今回は導入管閉めてリーク＞導入管閉めたままベーク＞ベーク後導入管開ける
ってやってみました

で、いつも狙ってる真空度に到達するまでの時間は少し短縮しました
ちなみに-5Pa台
で、バルブを開けていくと、当然ひとつあけるごとに真空度下がるので、一度ずつ下がるの待って開けていきました
したら、あるバルブ開けたら突然真空度がすごい勢いで下がったんで、そこがやばげな感じ
たぶんいきなり全開したら、最悪-2Pa台までさがるんじゃないかな？やらんかったけど
ちなみにそこは、気体導入の際の気体混合ユニットがあるとこっす