THX
ちなみに装置はスパッタで、反応スパッタするために気体導入用の管がごちゃごちゃついてて、これがリークの原因と思われ
セルフ後付で増やしまくったせいで配管に継ぎ手だらけでリークはある程度しかたないかな、とorz
とりあえずやるべきことはベーク前の引きを長くしてベーク時間を極力抑えるのが装置のためか
ちなみに120度でベークです