>>181です。あ-このｽﾚまだあったんだ。

>>192
エッチャーのチャンバは常にプラズマに曝されます。
シリコン化合物を削る装置なんだから、チャンバを構成する
パーツも当然スパッタリングされて消耗します。つまりCu
ガスケットを使えばそれがスパッタされてウェハに運ばれます。
それは半導体で最も嫌われる物の1つ、重金属汚染を引き起
こします。だから使えません。

>>197
研究費、開発費がふんだんにあればその通り。
ﾋﾞﾝﾎﾞな大学の研究室では買う金すら困る所もあり。
話がちょっとそれるがある化学系研究室では年度末に
薬包紙を買う金にすら困り、ビーカー代を学生から徴収
した所がありました。ちなみに国立。