真空待ちの人
■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています
0001名も無きマテリアルさん
NGNGオイルポンプだし。
0002名も無きマテリアルさん
NGNGそんでもって。
オイルを逆流させてしまいました。
さあ、研究室にいる奴全員集合。
「みんなで、拭こうね♪」
0003名も無きマテリアルさん
NGNG中のオイルは全部なくなってしまい、
気づいたときには手で触れないぐらいに熱くなってた。
オイルを入れたら直るだろうか？
分解掃除でなおるだろうか？
それとも修理に出すのか！？
せめてもの救いはターボ動かしてなくて良かったこと。
0004名も無きマテリアルさん
NGNG明日朝まで、何とかマイナス９乗Paまで真空下がらないと、
教授に怒られる♪（つぅか、まじどうしよう）
00053
NGNGそれは大変。
でも4のボスは結構怒ったりするのか？
俺のボスは結構凄い事しても、笑ってすませてくれる。
しかも、俺ら学生が使い物にならんので
自分で実験してたりします。ごめんボス。
でも今日も、程良くサボらせてもらってます。（甲子園見たり。。
こんな俺は逝って良しですか？
あ、ロータリー復活した。日頃の行いが良いから？？
0006名も無きマテリアルさん
NGNG明日の朝まで－９乗Ｐａは無理でしょう。
大気圧からだとベーキングして最低２～３はかかるのでは？
私はＲＰ、ターボ、イオンポンプつかってまーす。
メータ操作して見かけ上だけ－９乗にしておけばｗｗｗ
0007名も無きマテリアルさん
NGNG引きっぱなしにしてたんだけどこれってやばい？
配管油まみれ？
0008名も無きマテリアルさん
NGNG配管が密封されているとすれば、配管内が真空になるだけですよ。
この状態でＲＰ止め、ＲＰリーク弁開かないでいるとＲＰオイル
が上がってきて配管内が油で汚れます。
また、単純にＲＰが大気を排気し続けると、ＲＰの排気口からオイル
が噴出して、ＲＰ周辺が油まみれで汚れます。
まぁＲＰが大気引き続けると、ＲＰの音が収束せずうるさくて気づくものですが。。
0009名も無きマテリアルさん
NGNGピピッとー音が鳴ってー（なっちゃったー）
－９乗ってすごいなー 俺んとこなんか－７乗ぐらいで
「やっちゃえやっちゃえ」てなもんですわ
0010名も無きマテリアルさん
NGNGRPの後、ディフュージョンポンプ使ってたなぁ・・・。
液体窒素を１時間に１回冷却タンクに補充したっけなぁ・・・。
さあ、何年前の話でしょう！
0011名も無きマテリアルさん
NGNG私も昔は、いろいろ使って真空待ちしました。
0012名も無きマテリアルさん
NGNG窓の無いクリーンルームで
真空引いてました
さすがに鬱になりました
0014名も無きマテリアルさん
NGNGこのまえオイル飛び散って服にかかっちゃったよ・・・
0015172
NGNGかねぇ。同じようなポンプの名前ばかりだし。
0016名も無きマテリアルさん
NGNG0017名も無きマテリアルさん
NGNG失敗したら鬱死
0018名も無きマテリアルさん
NGNGみんなどれぐらいの時間でどれぐらいTorrまで引けてるの？
0019
NGNG0020名も無きマテリアルさん
NGNG0021名も無きマテリアルさん
NGNG0022名も無きマテリアルさん
NGNG学生さんが多いと思うけど、いまだにTorrなんですか？
それとも使ってる真空計が古く、表示がTorrだからですか？
0023名も無きマテリアルさん
NGNGつか壊れるまで更新できね。
真空計も買えないウチって･･･フフッ
わざと壊しちゃいたい（はぁと
ねよねよ･･･
明日には切れてた試料もきっと届くだろう･･･
0024名も無きマテリアルさん
NGNG一応真空計に、PaとTorrが一緒に表記してあるけど
先生がTorr、Torrうるさいので皆Torrを使ってます
0025まの字
NGNG先生の出身畑によってTorrを使っているかPaを使っているか決まる
様なことを昔聞いた気がする。
0026名も無きマテリアルさん
NGNG0027名も無きマテリアルさん
NGNGでも論文書くときはPaにしてる。
つーか、すべてPaで統一せいっちゅう話になってるハズなんだが。
0029名も無きマテリアルさん
NGNG0030名も無きマテリアルさん
NGNG＞２７ そうそう、論文だとなぜかみんなPa
0031名も無きマテリアルさん
NGNG0032名も無きマテリアルさん
NGNG俺もだ。つうかサンプル一個失敗した、透過パターンがキラキラ。
0033名も無きマテリアルさん
NGNGおいバリアン！
0034名も無きマテリアルさん
NGNGさ～て、今日も引いちゃうぞ
0035名も無きマテリアルさん
NGNGもちろんフラレタYo!
こんな地下実験室でなんか彼女一生できないYo!
何のためにいままで人生頑張ってきたんだろうと疑問に思う毎日。
最高学府なんて何の意味もないYo!
私大文系の奴らなんて、院いかずに出世して
かわいいOLと週末は遊んで気持ちいいことして
いいなーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー！
浪人のときに想像したのと違うよなー。
意味ねぇーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー！
こんな休日の夜中にうるさいロータリの音が身にしみるYo!
0036名も無きマテリアルさん
NGNGｶﾅｰﾘ頭良くなる。
とわかっていながら２ちゃんやってしまう駄目なオレ。。
0037名も無きマテリアルさん
NGNGＫ帝国の学生ﾊｹｰﾝ
0038名も無きマテリアルさん
NGNG朝6時30分。早く帰りたいけど
11時からMeetingだよ。（泣）
0039名も無きマテリアルさん
NGNG待ってる間、マガジンやサンデー読んで来ます
0040名も無きマテリアルさん
NGNG梅雨の時期はほんとに泣けるな。
0041
NGNGおいおいどんなポンプつかってンだ？
もっといいの買ってもらえ(ｗ
0042おXXこ
NGNG季節に影響してるようだから
バカ漏れしてんじゃないの？
それにしても
きゅ～～～インって音は気が狂うね
0043名も無きマテリアルさん
NGNG毎回ブレイク系じゃない？
004440
NGNG漏れているわけじゃないよ。
試料交換する時、チャソバー全開ですから。
0045
NGNGだからターボぐらい買ってもらえって(ｗ
0046名も無きマテリアルさん
NGNG0047名も無きマテリアルさん
NGNGまもなく焼きます。
0048名も無きマテリアルさん
NGNG困難になってきている。ああ 憧れのターボさま！！
0049名も無きマテリアルさん
NGNGんでも、教授が巡回に来るからさ、真空下げなきゃ行けなかったのね。
で、俺が取った行動は、チェンバーにエキチぶっかけ。
結果は聞かないでください。
0050名も無きマテリアルさん
NGNG水って重要じゃない？
ベーク時間にかなり効くと思うんだけど。
0051名も無きマテリアルさん
NGNGノイズを落としきれなくてたまに位相エラー起こすんですが。
0052名も無きマテリアルさん
NGNGそれ、かなり昔のターボだな。キンキンキンとか音がするだろ。
最近のはそんなエラーは起こさくなっているけどね。
アースをいっぱい取るんだね。電源ラインにノイズフィルターを
入れると効果あるかも。
005351
NGNG。。。これが結構大変なんですよね。要経験
やみくもにグランドとりまくってもループになるだけだし
、一点アースで敷きなおしてみるかのー
0054名も無きマテリアルさん
NGNGどっちが先に発明されたんですか？
0055名も無きマテリアルさん
NGNG0056名も無きマテリアルさん
NGNG0057名も無きマテリアルさん
NGNG0058名も無きマテリアルさん
NGNGどおかんっといかないか
いつも心配でしょうがなかった
0059名も無きマテリアルさん
NGNG今ごろどうなっているだろうか…
ベークすれば戻るかなぁ…
0060名も無きマテリアルさん
NGNG今までに使ったことがあるのは
バルザースとバリアンと三菱
でも信頼性からいうと
バルザースが一番と思うのですが
0061名も無きマテリアルさん
NGNGスパッタならアルゴンだろ。いくわけないじゃん
窓から眺めて綺麗なのは、シランのプラズマ発光色
ただし、漏れたひには、まじにドカーンといくが
わしゃシランとかいう、ありふれた駄洒落はナシ
0062名も無きマテリアルさん
NGNGセイコーの磁気浮上は使ったことある。
0063名も無きマテリアルさん
NGNGでも、セールスのYさんが亡くなってから、迫力なくなったなぁ。
セイコーはつい最近、真空ポンプ部門ごと、どこかに身売り
したんじゃなかったかな。
006458
NGNGその通りです。はい
３年程、RFで希ガスAr：酸素＝8:2でスパッタしてたんですが
リークばりばり出て、リングが安定してないのを見て
かけてる電圧が電圧なので、少しばかり不安になるんですよね
大丈夫だとは言うものの。。。
0065名も無きマテリアルさん
NGNGピラニよりさらに高真空度用らしいイオンゲージって
どんな原理なんです？
0066TiN ◆JJerJdf6
NGNGそのイオンをコレクタ電極で集める。
イオンゲージって電離真空計のことだよね？
0067親切な人
NGNG合法品の「コピーガードキャンセラー」を
手に入れました♪♪♪
下記のホームページから買いました↓
http://www.guruguru.net/auction/selleritem.php3?list=10&userid=17721
0068SCED
NGNGあんまり反射が大きいまま放電続けていると
電源をいためるから気をつけてね！
0069名も無きマテリアルさん
NGNG紙幣吸い付けとして銀行のATMに
ロータリーポンプが使われてるというのをやってました
そんなのにもロータリー使うんだと思いました。
0070名も無きマテリアルさん
NGNGそれ、俺も見た。
ロータリーで宇宙と同程度の真空が得られるとか言ってたな。
こちとら商売上がったりだわ。
0071名も無きマテリアルさん
NGNG2x10-6 Torrまでいくのに３時間以上かかる
ディフュージョンポンプ使ってるのって
ヤバイですか？
0072名も無きマテリアルさん
NGNG１時間くらいだったかなあ大学ん時
確かに３時間は遅いかなあ
油交換とか必要な時期なのかもしれませんね
どっかがリークというのは無しとして
0073794
NGNG／ .＼
／ζ 禿 ＼
／￣￣￣￣＼.＼
. ＿＿＿＿＿＿＿＿,/ ＼＼＿＿＿＿＿＿＿＿
＼ ／/＼ ＼ ／ |￣＼ ／
＼ 叩 ／ ||||||| (･) (･) ｜ ＼ 騙 ／
＼ ／ (6-------◯⌒つ ｜ ／￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣
＼／ ｜ ＿||||||||| ｜ ＜ カツヲめ、またワシを召還しおったな！
／＼ ＼ ／ ＼＿/ ／ ＼＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
／ ＼ （（ ＼＿＿＿_／ ）） .／ ＼
／ 逝 ＼ ／ 煽 ＼
／ ＼ ＿＿＿＿＿＿＿＿／ ＼
￣￣￣￣￣￣￣￣＼ ／￣￣￣￣￣￣￣￣
＼ 氏 .／
＼ ／
＼／
http://www.puchiwara.com/hacking/
0074名も無きマテリアルさん
NGNGいろいろあるじゃん？
0075くらいお社営業
NGNG今なら不景気でお安い、くらいおポンプはいかがっすか～
ドライポンプ、ターボポンプとの組み合わせで５０Ｌチャンバー６ｈ
でひきまっせ～
0076くらいお社営業
NGNG0077名も無きマテリアルさん
NGNGうちの研究室の最高は、3×10＾-9Torr
0078名も無きマテリアルさん
NGNGTMPをタンデムにしてます。
0079名も無きマテリアルさん
NGNG真空度だけ聞くと「ナニ、－９乗？ スゲェじゃん」って思うが、
チャンバの大きさはどれ位なの？
実際のところ。
電離のフィラメント切れる間際だったりして…(藁。
てか、－９乗オーダーの真空度を測れるかどうか忘れたが。
0080名も無きマテリアルさん
NGNGMBEですね、MBEでは当たり前の世界みたいです
-9乗なんて
3～5×10-10Torrというのもあるみたいです。検索してみそ
となり研究室はMBEでターボで引きつつ
チャンバー全体を液窒に浸して真空度上げてます
だから、一夜で人の背丈ある液窒タンク使い果たします。
知ってるとは思いますが、液窒でチャンバーに浸すのは
冷やしてガスを壁に吸着させて真空度を上げるためです
0081名も無きマテリアルさん
NGNGそんな手もあったか。
008278
NGNGSTMですわ。ゆえにパスカルで9乗。
008377
NGNGチャンバーは結構ちっちゃいです。
0.5立方メートルぐらいかな？
パスカルでも9乗いくのか・・・すごい
ちなみにチャンバーのまわりに水冷管を巻き付けて冷やしてます
0084名も無きマテリアルさん
NGNGPa表記だと分からんので濡れのための自己レス
わたしは６年前に引退したんですが、
Torr表記とPa表記どっちが多いでしょか？
使ってる真空計の表記によるんでしょうけど。。。
ちなみに私が使ってたのにはTorrメモリの下にPaメモリが書いてあったけど
圧倒的にTorrメモリばかり見てた。。。
0085名も無きマテリアルさん
NGNGという決まりが出来たんじゃなかったかな。
だからレポート類すべてPa表記。 毎回変換するのがめんどぉー
今使っているチャンバーで、3x10-6Pa て所で並かな。
チャンバー内径φ450 あるが。
いつの間に到達真空度自慢大会になったんだよ。 w)
008683
NGNGと言う担当助教授の勝手な言いぶんでTorrで表記です。
>>85
真空まちのスレの自慢は真空度ぐらいしかないので（w
0087名も無きマテリアルさん
NGNG0088名も無きマテリアルさん
NGNG0089名も無きマテリアルさん
NGNG0090名も無きマテリアルさん
NGNG0091名も無きマテリアルさん
NGNG発音記号がようわかりまへん。。。eの上に’が付いてる記号はエと発音？
MBEで光の超格子やってる、講義中「CuInSe略してCIS、ロシアの連合国家体もCISで
CISはロシア人が最初にやった」と言う教授がチャンバーじゃなくてチェンバー
なんだよ、でも日本人チェンバーっていいづらいからチャンバーって言ってしまう
んだよねって言ってた。
ベント。。。初めて聞いた言葉だ。。。
0092名も無きマテリアルさん
NGNG0093名も無きマテリアルさん
NGNGごかけのマイナスきゅうじょう の かけがわからん
0094名も無きマテリアルさん
NGNG遅レスで申し訳ないけど、
うちのぼろいIPリーダーは、
なんとIPの平面吸着にRP使ってるYO!
0095真空封入中
NGNGfive multiplied by ten to the minus ninth power Pa
でいいのか・・・・な？
0096名も無きマテリアルさん
NGNGポンプで引きながら、ガラス管をバーナーで封入？
なつかしいなあ、その後アニール炉ですか？
ものはなんですか？
0097名も無きマテリアルさん
NGNG5×10-10Torrにいくよ。
STM槽は2×10-10Torr。
っていうか、4年なのにSi(111)7×7にAgを蒸着して
STMで測定。卒論は助教授の論文のネタ。鬱．．．
0098名も無きマテリアルさん
NGNGIPリーダ？
IPって？
InternetProtocol？それともASICとかのIPマクロとかのIP？
IPってなんだ
009997
NGNG0100真空封入中
NGNGそのとーりです。
モノは、Ti-Niです。
1×10-6Torrまで上がるのを待ちながら、
ニュー速プラス見てます（ｗ
あ、LN2入れて来なきゃ。
0101真空封入中
NGNG>98
Imaging Plate。
電顕屋さんかX線屋さんじゃないと縁がないのかな？
0102100ゲット
NGNGIP イメージングプレート
現像のいらない直接読み取りできるX線フィルムみたいなもの
X線回折で使うみたいよ
0103100じゃなかった鬱だ
NGNG0104名も無きマテリアルさん
NGNG一番シェアを持っているＴＭＰメーカ・・・セイコープレシジョン ５割以上あるらしい。
一番水素の圧縮比が高いＴＭＰ・・・三菱 タンデムの２台目にお勧め。
一番うるさいＴＭＰ・・・大阪真空 だけど安いので仕方ありません。
ところでゲートバルブのランキングはどうよ？やっぱＶＡＴ？
010694
NGNG0107名も無きマテリアルさん
NGNG濡れのときは銅酸化物超伝導体で還元剤と一緒に封入して
アニール炉で酸素抜くためにやってた手法だったけど
けっこう物性ではいろんなとこでやってるんですね。
勉強になりますです
0108
NGNG結局、技術的にはどこも５０歩１００歩で、価格競争の世界になっている。
0109名も無きマテリアルさん
NGNG0110
NGNG0111名も無きマテリアルさん
NGNG確かに冷凍機の音とかすごそうなな感じがする。
見たことないけど。
ヘリウムなんてクライオスタット使用するとき意外お目にかかんないし
クライオスタットは水分引き損なってガラス面が霜に覆われ鬱になり
最悪、１００万するオーダーメイドのクライオスタットを割って鬱になる
後輩君はクライオ割って顔面蒼白の鬱になってた。。。
0112名も無きマテリアルさん
NGNGディフュージョンにLN2くべるのを忘れてないか
寝ちゃだめだぞ！定期的にくべるんだぞ！！
誰か全自動LN2くべる君発明してくんないかあ．．．
0113名も無きマテリアルさん
NGNGいろいろあるけど、口語でどれがもっとも頻繁に使われるのかは
知らないよ
five times ten to the minus 9th (power).
...to the minus 9.
0114名も無きマテリアルさん
NGNG0115さっぷ
NGNG0116名も無きマテリアルさん
NGNG室内の蛍光灯ついてたから、全然気づかなかった・・・。
チャンバーの中、油だらけ・・・。
0117さっぷ
NGNG0118名も無きマテリアルさん
NGNG鬱死。
0119名も無きマテリアルさん
NGNGしばらくベークもしていないからなぁ
0120名も無きマテリアルさん
NGNG0121さっぷ
NGNG0122名も無きマテリアルさん
NGNG油拡散だから激烈に遅いけど・・・（涙）。
0123名も無きマテリアルさん
NGNG0124名も無きマテリアルさん
NGNG0125名も無きマテリアルさん
NGNGだれだyo!こんなに給油したのは。
学科共有だから犯人も分からん。
0126名も無きマテリアルさん
NGNG真空悪いのはこいつのせいか？
0127宇多田ヒカルさんの将来の旦那ですヽ(`Д´)ﾉ ◆.rHIKARU
NGNG俺は・・・・
なんと おそろしい
。
0128名も無きマテリアルさん
NGNG0129名も無きマテリアルさん
NGNG真空を取り扱ってますので多少専門的な話でも理解できます。
大まかな理解はしていたつもりだったのですが、液Ｎ２を要するタイプを見て以来、ちょっと自分の考えに修正が必要と思えてきました。
0130検索くん
NGNGhttp://www.arios.co.jp/untiku.htm
0131名も無きマテリアルさん
NGNGでも、封入に失敗したり、石英管割ったりすること考えると
現実的には無理か・・・鬱
0132Ｙ本
NGNGぼくは、ＭＸでエロ動画をＤＬしてます。
0133
NGNG0134名も無きマテリアルさん
NGNG液体N2は蒸気となった油が、低圧側に侵入するのを防ぐためのものだから、
それ以外は液体N2を使用しないDPと同じ。
0135CVD屋
NGNGうちの会社じゃ1×10－1乗（Pa）いけば良い方だ
（容量110L、ドライポンプ＋メカブ）
0136名も無きマテリアルさん
NGNGCVDはガス導入するからだろ
それに真空度ある程度上げんと
物の質が悪くなる．．．
0137
NGNG0138Ｙ本
NGNGどうして誰も答えてくれないのですか？
一般的にいって、ぼくをいじめていると思います。
みなさん、冷たいですね。
0139名も無きマテリアルさん
NGNGY本って名前の奴身近にいるんだが君なのか？
0140Ｙ本
NGNGぼくのことを知っているんですか！？
人がどう見るかは分かりませんが、自分では美男子だと思っています。
ぼくの特徴を書いてもらえれば、本人か否か分かります。
0141名も無きマテリアルさん
NGNG一般に使用するにも、場合によっては火傷しますよ～。
0142【真性】ﾌﾗﾝｹｿｼｭﾀｲｿｽﾀｲﾙ【ｷ印】
NGNGｽｰﾂ装着時、絶妙な割合の横分けというｽﾃｷ仕様になりますが、何か？
0143Ｙ本
NGNGあなた誰ですか！？
あの”絶妙な割合の横分け”は学歴ない人には分からんのです。
もしかして、ぼくをヲチしているストーカーですか！？
0144Ｙ本
NGNG>【真性】ﾌﾗﾝｹｿｼｭﾀｲｿｽﾀｲﾙ【ｷ印】
ぼくが、”フランケンシュタイン？のような額”をしていると
言いたいのですか！？
0145139
NGNG最近見ないと思ったら、こんなとこで時間つぶしてたのね。
ちゃんと研究室に来なさいYO！！
0146名も無きマテリアルさん
NGNG気体は何故蒸気なのでしょうか？
0147名も無きマテリアルさん
NGNG蒸気圧性能のいい奴ってあるの？値段とか同じようなもん？
教えて君でごめん・・・いままでエドワーズとかアルカテルとか
アルバックとか適当に使ってたから
0148名も無きマテリアルさん
NGNG0149名も無きマテリアルさん
NGNG0150名も無きマテリアルさん
NGNGうちの会社のスパッタに付けようとして大失敗した。
液面センサーが問題で、熱電対とレーザーを試したが誤動作が多くて無人動作
なんて無理だった・・・
0151名も無きマテリアルさん
NGNG漏れも大学の研究室でいじってた。
エミッション実験用途なので-10乗Torr台必須。
スタートは常に大気圧からね。
漏れのところ粗引きはロータリ＋TMPのコンビネーションポンプ。
15分程度ロータリで引かせてからTMPオン。
んで定常回転しだしてからおもむろにイオンポンプ起動。
ようやくTMPが回り始めた程度の真空でイオンポンプ立ち上げるので
電流流れすぎ。すぐに電源落ちるが力強くon/off繰り返したら
そのうち安定しだす。
2時間位したら1x7乗Torrまで逝くので200℃でベーキング開始。
ここではTMPのみで引かせる。
あ、教授がいないときは250℃オーバーで(w
12時間程でベーク終了。後は2，3時間イオンポンプで引かせとくと-10乗台前半達成、実験開始。
あー、懐かしい。
何度9乗台で涙を呑んだことか・・・つД`) うえーん
0152高々 -7乗 でしたから。
NGNGチャンバの洗浄とかシール(銅パッキン?)とかも相当気を使ったんでしょうな。
0153名も無きマテリアルさん
NGNG0154名も無きマテリアルさん
NGNG0155名も無きマテリアルさん
NGNG0156名も無きマテリアルさん
NGNGあれまだ使ってんのかな?
0157名も無きマテリアルさん
NGNGうまくいけば-10Pa超えたなぁ。
0158名も無きマテリアルさん
NGNG漏れ無し高級機材しか使わんの？
0159名も無きマテリアルさん
NGNGフランジの継ぎ目に注射器でメタノールをチュ～ッと垂らす程度。
ウチの研究室の真空レベル：10^-6から10^-7Torr。
Heりーくでてくたは見たことなし。
Q-MASSがあったから、それでモニタリン具したことはあった。
0160名も無きマテリアルさん
NGNG-10Paってどうやって測るの？
確か電離真空計だと軟X線効果の影響で、測定限界はせいぜい9乗台だと記憶してたが・・・。
0161名も無きマテリアルさん
NGNG熱陰極電離真空計で『ヘルマー型』というのが辛うじて10^-10Paが
測れるそうだ。
そのヘルマー型って言うのがどういうのかはワカラン。
恐らくヌードゲージタイプ。
マグネトロン真空計は、超高真空向けだと 10^-11Pa!!
>157
校正してるか？
ガス種によっては相対感度が変わってくるぞ。
真空計の指示値もだ。
って常識だよなぁ。
0162名も無きマテリアルさん
NGNG10^-11Paだと極高真空だと思われ。
しかし、10^-11Paって用途はなんだろう？
0163161
NGNG全く意味無い。
用途は俺っちも気になる。
今の仕事辞めて真空屋になりたくなってきた。
0164名も無きマテリアルさん
NGNG関係するって聞いたんだけど・・・
油の温度変化によってポンプ内に気圧差を作るとか。
誰かこの話聞いたことある？
ただのデマ？
さ、真空ひけたか見てこよっと。
0165名も無きマテリアルさん
NGNGまてまて。
溶解して、そのあとどうなるのさ。
DPのオイルってそんなに頻繁に代えるものじゃないでしょ。
デマに変造500ウォン
0166名も無きマテリアルさん
NGNGﾒﾝﾃ部分で信頼できるんかな？
0167名も無きマテリアルさん
NGNG0168名も無きマテリアルさん
NGNGメンテナンスコストを一切考えずに、壊れたら交換という考え方で使用したら
かなり安上がりだと思うんですが、そういう需要ってあります？
0169名も無きマテリアルさん
NGNGすぐロックしてフィンがこなごなになるんでないの?
ベアリングもすぐ玉抜けそう (藁
0170 ◆n29mS/U2
NGNG0171 ◆.qhTrU9Y
NGNG0172名も無きマテリアルさん
NGNG壊れたら交換って簡単に言うけど、真空装置の交換はオオゴトでしょう
その前後はとても実験できないしさ
0173名も無きマテリアルさん
NGNGポンプ交換してもすぐ実験再開できるという罠。
0174名も無きマテリアルさん
NGNG４年の奴が手違えかなんか知らんが、排水バルブをとじやがってよ（怒
もう水祭りよ、水祭り。
ホースが破れて噴水状態。発見するまでの30分ほどで余裕で床上浸水。
ひざ下半分ぐらいまで水きてたよ。
もー最悪でしたわ。こんな体験ほかにもきぼんぬ。
0175名も無きマテリアルさん
NGNG４年の奴が手違えかなんか知らんが、空冷ファン回ってないのを気づかずに
ゲートバルブ開けやがってよ（怒
もう油祭りよ、油祭り。
ＤＰに直結しているチャンバーにはオイルがついててさ。
とりあえず、中身が焼け焦げてないかどうか、開けて確認することになってさ。
ネジひとつはずすのにも一苦労でしたよ。
まあ結局、油量とか大丈夫だったし、
ＤＰの中見るなんてもう一生ないだろうから、良しとしますよ。
もー心配でしたわ。こんな体験ほかにもきぼんぬ。
0176名も無きマテリアルさん
NGNGDP普通サーマルSWついてるじゃん
0178名も無きマテリアルさん
NGNG大学の研究室の学生さんが多そうだね。
漏れ駅弁国立大だったから、センター試験の日は当然入れない。
でも装置はRP+油拡散ポンプ+liq.N2トラップで真空引いたまんま。
受験者が帰る頃に大学行って、窒素入れたの思い出すな。
何もこんな日に学校来なくてもと思いつつ作業してた。
ちなみに某国内半導体装置メーカー勤務だけど、真空度は
ほとんどTorrを使ってるな。もちろん顧客の要求があれば
Paで資料作成するが国内では極僅か。
やっぱねえ、過去のデータの蓄積があるから、突然単位変更だー
つってPaにするとピンと来ないのよ。
0179名も無きマテリアルさん
NGNGメインバルブ
荒引きバルブ
ＲＰリークバルブ
0180172
NGNG>ちなみに某国内半導体装置メーカー勤務だけど、
仕事の方はどんな感じですか?
失礼かもしれませんが、「やっぱり就職はあっちにしとけば良かった」とか
そういうのあります? 当方DPお守り中のMです
0181名も無きマテリアルさん
NGNG>>180
仕事はねえ、エッチャー開発です。
就職で後悔はしていないし転職する気もないが、給料は低いな。
危険なガス使ってんだから危険手当くれってな感じなんだけど。
ｽﾚ違いなんでポンプの話など。
TMPは数百～2000L/min以上のもの、バックアップポンプは
ドライポンプでメカニカルブースター付きのものもある。
半導体製造用だから油使う奴なんかとんでもないなあ。
チャンバの圧力はエッチング工程だから、到達は10E-5Torr位、
プラズマONで数mTorr～1Torrだな。
だからCuガスケットなんか使わないよ。Cu汚染引き起こすしね。
大学の時は漏れも10E-10Torr台の表面分析装置使ってて、
ベーキングにアルミホイル使いまくりだったけど別世界になっちまった。
0182名も無きマテリアルさん
NGNG>>181
2000L/min以上→2000L/s以上
0183名も無きマテリアルさん
NGNGそろそろ引けたかな？
0184名も無きマテリアルさん
NGNG>だからCuガスケットなんか使わないよ。Cu汚染引き起こすしね。
ちょっと待って！
Cu汚染って何ですか？
思いっきり使っちゃってるよCuガスケット
あいたたたた
0185名も無きマテリアルさん
NGNG>>184
は「真空」を使って何やってんのさ。
0186もとSIMS使い
NGNGSIMSでもGDMSでもね。
SIMSでも銅のバックグランドはあまり気にしなかったな。
それよかGaにはまいったよ。
みなさん，どこの分析会社使っているのかな？
0187TTC ◆pC98/G8U
NGNG昨日、蒸着のために真空引きに行ったんです。真空引き。
そしたらなんか油がめちゃくちゃ逆流してて引けないんです。
で、よく見たらなんか張り紙してあって、ポンプ故障中、とか書いてあるんです。
もうね、アホかと。馬鹿かと。
お前らな、卒研如きで普段来てない真空引きに来てんじゃねーよ、ボケが。
卒研だよ、卒研。
なんか親子連れとかもいるし。一家４人で真空引きか。おめでてーな。
よーしパパ10^-7torrまで引いちゃうぞー、とか言ってるの。もう見てらんない。
お前らな、金魚のぶくぶくやるからからそこ空けろと。
真空引きってのはな、もっと殺伐としてるべきなんだよ。
（以下略）
0188名も無きマテリアルさん
NGNGロータリーポンプ
オイルの逆流が怖くて
ちゃんと引ききらないまま止めてしまう・・・
どこで止めたらいいんだあああ
0189名も無きマテリアルさん
NGNG第2弾きぼーん
0192
NGNG汚染？？まじですか？
ちなみにあれって一回使い捨てだよね
0193名も無きマテリアルさん
NGNG何階かは忘れましたが、特設コーナがあったんです。
機械部品をただバラしただけ(!)の金属部品が売ってたんですが、
タービンのブレードようなどこかで見かけたことのある部品も売りに出されていました。
材質は、、アルミ合金か。
大分痛んではいるが…。
う～ん、どこかで見たような…。
そうだ!!
ターボだ!!
ターボ分子ポンプだ(wa!!
周りのカバー(?)が見当たらないが、コレはターボだぞ。
サイズは、、この径だと6inch位か？
よし、裏側見てやれ!!
…モータも付いてるし～。
排気ポートは？
お、あんなところに…。
そうそう、KFフランジだったよ…。
あれ～？
こっちのコレってロータリーポンプの部品？
マグネトロンのキャビティみたいな部品も転がってるし…。
と、昔の友に突然出会ったような不思議な感覚を覚えましたとさ。
0194名も無きマテリアルさん
NGNG前回よりちょっと強く締める
で、２，３回使ってます。
0195192
NGNG一応使えるんだ！やってみます。
産休！
0196名も無きマテリアルさん
NGNG0197名も無きマテリアルさん
NGNGえー、Cuガスケットは使い捨てでしょう。安いんだし。
そんなもん節約しようとしてチャンバーオープン2度手間になったりしたら、
目も当てられん。
と思うヨ
0198名も無きマテリアルさん
NGNG一回目の使用で強く締めるのはガスケットが勿体無い
0199名も無きマテリアルさん
NGNG>>192
エッチャーのチャンバは常にプラズマに曝されます。
シリコン化合物を削る装置なんだから、チャンバを構成する
パーツも当然スパッタリングされて消耗します。つまりCu
ガスケットを使えばそれがスパッタされてウェハに運ばれます。
それは半導体で最も嫌われる物の1つ、重金属汚染を引き起
こします。だから使えません。
>>197
研究費、開発費がふんだんにあればその通り。
ﾋﾞﾝﾎﾞな大学の研究室では買う金すら困る所もあり。
話がちょっとそれるがある化学系研究室では年度末に
薬包紙を買う金にすら困り、ビーカー代を学生から徴収
した所がありました。ちなみに国立。
0200名も無きマテリアルさん
NGNGサンクス。コピペジェネレータ楽しめます！
187はText-to-Speech使ってFlash作ったら
さらに良いかも
0201192
NGNGオージェの結果を洗ってみます。
後日報告って事で
0202名も無きマテリアルさん
NGNG0203名も無きマテリアルさん
NGNG0204名も無きマテリアルさん
NGNG筋肉痛で震えの止まらぬ手で電離真空計のスイッチを押したらフィラメント
が切れますた。
そしてQMASSが死亡。
もうだめぽ
0205名も無きマテリアルさん
NGNG漏れも1500リッタのターボ欲しい
0206名も無きマテリアルさん
NGNG結構いい感じ。やっぱオイルフリーでしょ。さよならRP。
さよならオイルだらけのコールドトラップ。
http://www.varianinc.com/image/vimage/docs/vacuum/products/shared/sh100/sh100_brochure.pdf
0207名も無きマテリアルさん
NGNGシリコンリングオンリーですが何か？
0208名も無きマテリアルさん
NGNG0209名も無きマテリアルさん
NGNG(,,ﾟДﾟ) http://www.cosmani.tv/gallery/gallery_frame.html
0210名も無きマテリアルさん
NGNGベークしたＣｕガスケットは再利用すると鈍ってるから、
閉めてもとまんないことがあるけど、とまることもある。
理屈はしらんが閉めてるときの手応えで結構わかる
0211名も無きマテリアルさん
NGNG締めるトルクを調節できるペンチがあるのでオススメ
0212MBE
NGNG0213名も無きマテリアルさん
NGNGよって、ロードロックでは2軍ターボが活躍中。
-8乗Torrまで5時間。。。
よって、みんなでいっせいに基板出し入れ。
そろそろソース枯れる時期だし。。。
てことは、また成長室ベーキングだし。。。
あぁ、修論間に合うかな。。。
蒸着機をデシケータ代わりに使ってやるぅ。
0214名も無きマテリアルさん
NGNG0215名も無きマテリアルさん
NGNGうちでは「ティムーソ」と呼んでるよ
0216名も無きマテリアルさん
NGNGああ、リボンヒーターのイルミネーションが眩しい…
鬱
0217名も無きマテリアルさん
NGNGそのナイスなネーミングの由来は？？
0218215
NGNG「ティッソ（ちっそ）」と「ティムーポ」が混ざって
ティムーソになっちゃいました。
0219217
NGNGあはは。
なんでその二つが混ざるかは突っ込まないとして
俺もそれ使お。
誰もわからねーだろ－な。。
0220名も無きマテリアルさん
NGNGサイフォンしか
ないだろが！！！！！
くだらんことぬかすな
ボケ！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！
0221名も無きマテリアルさん
NGNG0222bloom
NGNGhttp://www.agemasukudasai.com/bloom/
0223名も無きマテリアルさん
NGNG0224215
NGNGクリスマス成長敢行しますたが何か?
0225山崎渉
NGNG0226名も無きマテリアルさん
NGNG0227名も無きマテリアルさん
NGNGちょっと見てきます。
0228名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://www6.ocn.ne.jp/~endou/ten.html
0229名も無きマテリアルさん
NGNGターボ壊れる前兆?
0230名も無きマテリアルさん
NGNGもちろん今夜もきゅーぽんゆーぽん。冬場はつらひ。
0231名も無きマテリアルさん
NGNGこんどはイオンポンプを焼く。
0232名も無きマテリアルさん
NGNGちなみに漏れは装置焼き前の「真空待ちの人」。
卒論前なのでこんな時間に。
早く引けないかにゃー。
0233ぼけなす ◆BOKE..htys
NGNG0234●
NGNG-9..9乗Pa？ -11mBar!
私等の所では，マルチゲージにエラーが出ますが…
（真空度が-10mBar付近までしか取れない）
何のchamberですか? MBE?
0235●
NGNG-10mBarは-10乗mBar...
ｳﾂﾀﾞ
0236名も無きマテリアルさん
NGNG(ｍ´∀`)ｍ＜･･･
-10Torrｷﾀ━━━(･∀･)━━━!!!
と思いきやQ-MASS死亡
(σ´･ω･`)σしょぼぼん
0237名も無きマテリアルさん
NGNGウチも今焼いてます
0238名も無きマテリアルさん
NGNG0239名も無きマテリアルさん
NGNG本日23：00時より祭りを開催いたします。
是非、参加下さいます様、お願いします。
携帯ＰＨＳ
迷惑メールサイト一斉訪問お祭り開催
http://jbbs.shitaraba.com/news/bbs/read.cgi?BBS=853&KEY=1043335260
-------------------------------------------
0240231
NGNG汎用表面観測用です。製膜ではあまり手の込んだこと
ができないけれど、仕事関数を測ったり～。
その後Varianのイオンポンプをアルミ箔でグルグル撒い
て焼入れ中。焼き上がりが楽しみだわさ♪
0241vvv
NGNG★お気に入りに追加してしまったアドレス★
0242●
NGNG0243●
NGNG材料温度の降温中…
0244名も無きマテリアルさん
NGNG02451
NGNG0246えと
NGNGhttp://www.hi-net.zaq.ne.jp/bubbs207
0247名も無きマテリアルさん
NGNG出来るだけ速く。
0248名も無きマテリアルさん
NGNG0250244
NGNG0252244
NGNGってかウチのとこは下げるのにストップウォッチ持って、デジタルの
温度調節の表示をボタン押して手動で下げるんですが(Al下げる時とか
は1時間以上そこに貼り付いていなくちゃいけない)、他のトコもこん
なもんなのでしょうか
0254790
NGNGコギャルから熟女まで
素敵な出会い
ゲイ、レズビアンなどコンテンツ豊富
http://kgy999.net/
0255世直し一揆（コピペ推奨）
NGNGるな！！）
●とにかく気が小さい(神経質、臆病、二言目には「世間」、了見が狭い）
●他人に異常に干渉し、しかも好戦的・ファイト満々（キモイ、自己中心）
●自尊心が異常に強く、自分が馬鹿にされると怒るくせに平気で他人を馬鹿にしようと
する（ただし、相手を表面的・形式的にしか判断できず(早合点・誤解の名人)、実際に
はたいてい、内面的・実質的に負けている）
●本音は、ものすごく幼稚で倫理意識が異常に低い（人にばれさえしなければＯＫ！）
●「常識、常識」と口うるさいが、実はA型の常識はピントがズレまくっている（日本
の常識は世界の非常識）
●権力、強者（警察、暴走族…ｅｔｃ）に弱く、弱者には威張り散らす（強い者にはへつらい、弱い者に対してはいじめる）
●あら探しだけは名人級でウザイ（例え10の長所があってもほめることをせず、たった１つの短所を見つけてはけなす）
●基本的に悲観主義でマイナス思考に支配されているため性格がうっとうしい（根暗）
●単独では何もできない（群れでしか行動できないヘタレ）
●少数派の異質、異文化を排斥する(差別主義者、狭量）
●集団によるいじめのパイオニア＆天才(陰湿＆陰険）
●悪口、陰口が大好き（Ａ型が３人寄れば他人の悪口、裏表が激しい）
●他人からどう見られているか、人の目を異常に気にする（「～みたい」とよく言う、
世間体命）
●自分の感情をうまく表現できず、コミュニケーション能力に乏しい（同じことを何度
も言ってキモイ）
●表面上協調・意気投合しているようでも、腹は各自バラバラで融通が利かず、頑固(本当は個性・アク強い）
●人を信じられず、疑い深い（自分自身裏表が激しいため、他人に対してもそう思う）
●自ら好んでストイックな生活をしストレスを溜めておきながら、他人に猛烈に嫉妬
する（不合理な馬鹿）
●執念深く、粘着でしつこい（「一生恨みます」タイプ）
●自分に甘く他人に厳しい（自分のことは棚に上げてまず他人を責める。しかも冷酷）
●男は、女々しいあるいは女の腐ったみたいな考えのやつが多い(例：「俺のほうが男
前やのに、なんでや！（あの野郎の足を引っ張ってやる！！）」）
0256名も無きマテリアルさん
NGNGウチはPIDコントローラで5℃/min（融点前後100度）に設定して
報知プレイかな
550℃切ったら、10℃/minで完全ほったらかし(笑)
0257244
NGNGウチのもPID制御したいYO
0258986
NGNGコギャルから熟女まで
素敵な出会い
ゲイ、レズビアンなどコンテンツ豊富
http://www.geocities.jp/kgy919/deai.html
0259名も無きマテリアルさん
NGNG| ﾟ∀ﾟ)-
| ' l `
|∧∧
| ﾟ∀ﾟ) MBEｵﾌﾟｰﾝ
|ｏ旦ｏ
|∧∧
| ﾟ∀ﾟ) ｼﾃﾓｲｲﾃﾞｰｶｰ?
| ow○
￣￣￣￣￣￣￣￣
0260名も無きマテリアルさん
NGNGリークバルブ開け
俺にやらせて・・・
あの快感なんともいえない・・・
0261●
NGNG0262名も無きマテリアルさん
NGNG昔、某半導体メーカーにいた頃、Alのセル（というかルツボ）は使い捨てだった。
無理やり再利用してもろくなモンできなかったし。ありゃ割れるモンです。
ちんたらやるより、早く温度下げてお掃除お掃除。
0263252
NGNGルツボを使い捨て?! すげーカルチャーショックです
うちの研究室でそんなことしたら教授が頭から火を噴きます
0264名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://homepage3.nifty.com/digikei/ten.html
0265262
NGNG年に何百回も本物の高速デバイスのエピすりゃ（デバイスとして様々な
特性を評価すれば）、その差は明白。一旦アルミの温度下げたら二度と
使えません。SEM/TEMで観察してホール測定してるだけなら差は分から
んかも？
ルツボ高いと言っても、１枚のウエハからデバイスのチップがいくつ
取れるか、１つのルツボで何回エピできるか、何枚処理できるか、で、
それが製品でいくらになるか計算してみりゃ、大した金額じゃないよ。
0267山崎渉
NGNG0268名も無きマテリアルさん
NGNG0269山崎渉
NGNG0270名も無きマテリアルさん
NGNG最近まだ引きが悪くなってきた
漏れ探ししてるけど、原因がわからん
0271名も無きマテリアルさん
NGNGまだひけないし･･･鬱
0272出会いNO1
NGNG18歳未満禁止です！
ヌキヌキ部屋に直行
ぽっちゃりさん掲示板
http://asamade.net/web/
無料WEB代理店募集
http://asamade.net/asaasa/fff16.html
メルマガ無料投書受付中
http://asamade.net/asaasa/fff26.html
ちょっぴりHな出会いランキング
0273川崎歩
NGNGhttp://www10.plala.or.jp/the-vsop1985/
0274名も無きマテリアルさん
NGNG-7乗入った
0275山崎渉
NGNG0276名も無きマテリアルさん
NGNGttp://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20030516-00000002-cnc-l20
ttp://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20030516-00000005-nkn-ind
これがあれば，いちいちチャンバー開けなくてもサンプルの交換とか出来るんだろうか。
潤滑とかどうやってるんだろう。
0277((≡゜♀゜≡))
NGNGhttp://homepage3.nifty.com/coco-nut/
0278名も無きマテリアルさん
NGNGすげえな、お前のとこのポンプ
0279名も無きマテリアルさん
NGNG悲惨です･･。
0280_
NGNG（ ・∀・）/＜ コんなの有ったっち♪
http://togoshi.ginza.st/mona/mona02.html
http://www.togoshi.ginza.st/mona/mona07.html
http://togoshi.ginza.st/mona/mona05.html
http://www.togoshi.ginza.st/mona/monaz08.html
http://togoshi.ginza.st/mona/mona06.html
http://www.togoshi.ginza.st/mona/mona10.html
http://togoshi.ginza.st/mona/mona04.html
http://www.togoshi.ginza.st/mona/mona03.html
http://togoshi.ginza.st/mona/mona01.html
http://www.togoshi.ginza.st/mona/mona09.html
0281紺野あさみ
NGNG川o・-・）ノ ＜先生！下記のページがありました！
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei01.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei09.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei05.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei08.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei06.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei10.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei04.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei03.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei02.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei07.html
0282_
NGNG（ ・∀・）/＜ こんなモノ見つけたっち♪
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch01.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch09.html
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch05.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2chz08.html
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch06.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch10.html
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch04.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch03.html
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch02.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch07.html
0283名も無きマテリアルさん
NGNGポンプがしにかかってる
0284名も無きマテリアルさん
NGNG0285あぼーん
NGNG0286山崎渉
NGNG0287山崎渉
NGNG0288名も無きマテリアルさん
NGNGなんとかもちこたえている
煙をあげたりするけど
0289名も無きマテリアルさん
NGNG煙が上がる状態は持ちこたえたとは言わない。
うまくいくといいですね。
0290_
NGNG（ ・∀・）/＜ こんなの有ったっち♪
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku07.html
http://muryou.gasuki.com/zenkaku/index.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku08.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku10.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku01.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku03.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku02.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku09.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku06.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku04.html
http://muryou.gasuki.com/zenkaku/index.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku05.html
0291名も無きマテリアルさん
NGNGありがとう。
けれどもとうとう逝ってしまいました
0292_
NGNG0293名も無きマテリアルさん
NGNG0294289
NGNGひーん，うちのRPのモータも焼けた(>_<)
0295bloom
NGNG0297！
NGNGなんでもあり？
http://www.hi-net.zaq.ne.jp/bubbs207/
0298名も無きマテリアルさん
NGNGRPのベルトが切れかけてた…。
みんなも確認汁。
消耗品だぞ。
0299名無し募集中。。。
NGNGてかこんな時間に実験でつか？
0300山崎渉
NGNGﾋﾟｭ.ｰ ( ＾＾ ） ＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
＝〔~∪￣￣〕
＝ ◎――◎ 山崎渉
0301名も無きマテリアルさん
NGNG0302名も無きマテリアルさん
NGNG0303名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://yahooo.s2.x-beat.com/linkvp/linkvp.html
0304名も無きマテリアルさん
NGNGてか、宣伝ウザ過ぎ。
0305名無し募集中。。。
NGNG妙にレス番が飛んでいる・・・
0306名も無き学生さん
NGNG午後はＴＥＭのビームがどっか逝っちゃって・・・もうだめぽ
0307名も無きマテリアルさん
NGNG0308名も無きマテリアルさん
NGNG大ボスにに2時間説教されました。
今、掃除して焼きまくってるところです。
0309●
NGNGむかしな、ブースターのロータリーの油を逆流させMBEを逝かせた奴
がいてな…（以下略
0310山崎 渉
NGNG__∧＿∧_
|（ ＾＾ ）| ＜寝るぽ（＾＾）
|＼⌒⌒⌒＼
＼ |⌒⌒⌒~| 山崎渉
~￣￣￣￣
0311名も無きマテリアルさん
NGNG0312山崎 渉
NGNG│ ＾ ＾ │＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
⊂| |つ
（＿）（＿） 山崎パン
0313名も無きマテリアルさん
NGNG0314名も無きマテリアルさん
NGNGこんな時間に！
0315名も無きマテリアルさん
NGNG0316名も無きマテリアルさん
NGNG夏なのにカノジョがいなくてこまってるそこのアナタ！
同じくカレシのいないなつきちゃんに会いにこないっ？
一週間の間、１０分間はカクジツにさんごはあなたのもの♪
え？それ以上？それはぁ・・・えへっ(≧▽≦)~~*
アナタがなつきにもっと会いたくなってくれたら、かな☆
ここで待ってるから、必ず来てね！来てくれないなら…おしかけちゃうぞ♪
´*:;,. ★ ～☆・:.,;* http://www.gals-cafe.tv ´*:;,. ★ ～☆・:.,;*
0317燃える名無し画像
NGNG0318●
NGNG0319真空のエネルギー
NGNG(球と下の金属板は，近めに設定されている．球の上部には広い空間が設けられている)．
球に及ぼすあらゆる力(引力，電気的な力など，現在知られている力)をすべて差し引く．
従ってこの状態では球はまったく動かないはず．
ところが実際には球が金属板がある方向に動く．
金属板のある空間よりも反対側の空間の方が広いため
そこに発生した何らかの力で押されるため球が下方に動いたのである．
0320名も無きマテリアルさん
NGNG0321名も無きマテリアルさん
NGNG0322名も無きマテリアルさん
NGNG50℃から７０℃！
チェキラッ！！真空計！！AH！
注）ベケナッ＝ベーキング アップ
0323装置屋
NGNG0324名も無きマテリアルさん
NGNG0325名も無きマテリアルさん
NGNG0326名も無きマテリアルさん
NGNG基板入ってないときはイオンポンプ止めてるから10^-8Torr台のことも多いがね
0327●
NGNGGas source MBEだと成長中10^ -3 [Pa]ぐらいです.
正直 ``蒸着''というのは如何な物かと思いますが, conventional MBEの真空度は
>>323さんの仰る通りです.
0328名も無きマテリアルさん
NGNG0329名も無きマテリアルさん
NGNGSTM欲しいの？
0330名も無きマテリアルさん
NGNG真空度良すぎだw。
0331名も無きマテリアルさん
NGNG拡散ポンプの液体窒素補給はダルいっす
0332名も無きマテリアルさん
NGNGその液チの容器，問題あるんじゃない？
0333名も無きマテリアルさん
NGNG問題あるというか、10年以上も前のものなので寿命かと思われます。
でも、新しいの買ってもらえるお金なんて無いので、使い続けざるを得ない、
これでも宮廷大の研究所なのですが、日本の科学は大丈夫かいな
0334名も無きマテリアルさん
NGNG今まで-8乗代までしか行かなかったのでうれしいです。
明日は初めての成長実験なのでがんばります。
0335名も無きマテリアルさん
NGNGCPて何ですか？
0336●
NGNG0337334
NGNG気体を吸着するポンプです。
0338●
NGNGBake outで比較的高温にして引かす時にもTMPつかうんですか？
そんな高温にTMPって耐えられましたっけ ion pumpを併用したのでは
ないのでしょうか
0339334
NGNGその後何の問題も無いので大丈夫だと思います。
0340名も無きマテリアルさん
NGNG実験したら10の-8乗torrまでしか行かなくなってしまいました。
次のベーキングはいつごろしたらいいですかね？
初心者なのですいません。
0341●
NGNGナイフエッジが酸化してしまうケースもあるらしいです。
TMPのスペック表もご確認になられた方が良いと思います。
TMPって排気量にもよりますが、結構な額がしますので。
0342名も無きマテリアルさん
NGNGどの気圧での体積を基準にしてるんですかね？
0343名も無きマテリアルさん
NGNG0344名も無きマテリアルさん
NGNG0345名も無きマテリアルさん
NGNG速いねw
うちなんか4時間くらい待つのが常態化してしまったよ．無駄すぎ．
LN2足すのウザイし．
0346名も無きマテリアルさん
NGNGオイル交換～だりー
0348名も無きマテリアルさん
NGNG12時間おきでいいならうらやましい。
うちのは4時間おきですぞ。常時稼働でないからまだいいけどさぁ。
0349名も無きマテリアルさん
NGNG何で常時稼動でDP使うの？ってのは禁句ですか？
0350331
NGNG成膜チャンバに付いていた良いTMPが壊れてて、普段の真空維持もDPだけ
なのです。だからDPが常時稼働
金無いから新しいTMP買えない。(正確には、買ってくれない、か)
窒素当番な休日出勤の学生にも人件費は払わなくていいから、大学だから
こそ出来る技やね。せめて祝休日の当番には弁当代と交通費くらい出して
欲しいよ
っつーか、手動LN2補充式の液体窒素トラップDPを常時稼働させている所
なんて、やっぱりウチくらいなのでしょうかね? ('A`)ﾏﾝﾄﾞｸｾ
0351名も無きマテリアルさん
NGNG休みをベーキングの日にして、DPだけで引き続けて、
実験前にLN2を入れれば、真空度はかなりよくなる、と思うが。
0352名も無きマテリアルさん
NGNGDPはLN2を入れないと油がチャンバーに行き続けるような気がするんだけど，
ベーキングしてれば問題ないのか？
0353名も無きマテリアルさん
NGNG0354331
NGNG入れてますYO
あと、以前に水が凍ってコールドリークを起こしたことがあるから、LN2
補充する管の回りの氷が溶けて水浸しになるのが恐い。だからLN2入れ続
けてる。
……んだと思う。
実験前にだけLN2を入れると聞いて、かなりカルチャーショックを受けまし
た、私。そーゆーもんなのか……
0355名も無きマテリアルさん
NGNG0356名も無きマテリアルさん
NGNG0357名も無きマテリアルさん
NGNG0358名も無きマテリアルさん
NGNG10^-6torr程度までならいらないでしょ。
0359名も無きマテリアルさん
NGNG時に装置を分解修理するんですが、メインバルブなんかはかなりDPオイルがついてました。
気になったので、バルブのかわりにビューポートをつけてDPを稼動していると、
しばらくすると、油で曇っていく様子がみえました...。まあ、うちのは8万くらいの安DPだからなぁ。
それで、さらに調べてみると、オイルの種類とヒータ電圧の調整でかなりましになることも
わかりました。
とか、なんとか、いいつつも、LN2いれてないです。
LN2自動供給装置もあるらしいですが。
ただ、さすがにDP&冷却水つけっ放しはしてません。
水切れでボヤ一回(断水リレーが死んでた)、
冷却パイプの水漏れ(銅製なので水道水で腐食する)もあって、朝行ったら、教授が一人で
バケツ・雑巾で始末してたので真っ青になったよ。(今はチラーにしてる)
0360名も無きマテリアルさん
NGNGLN2 の容器は時期がきたら真空が悪くなって持ちが悪くなるので、
真空引きしてもらって、復活させてもらってます。
ただ、私がふだん使っているのは20--40Lのやつなので、
10Lの小さいやつとか、(通称 たまねぎ っていってました)
100Lのあちこちバルブ付のやつ(通称 ロボコン)
では、どうするのか知りませんけど。
ただ、新入生のころ、無知だったんで、容器の口に密封のためにビニ手をかぶせてから
フタをしてたのですが、半日ほどするとフタが氷結してて、「ピーー」とか音がするので、
あわててフタを力任せに抜きとったところ、口から どばーっ とLN2がふきだして、
天井にぶちあたったLN2がわさわさ降りそそいできたので、逝くかと思った。(馬鹿だ)
長文スマソ
0361名も無きマテリアルさん
NGNG液体ヘリウムのトランスファーチューブも，たまに2重管の真空を引き直しますね。ロータリーで十分ですが。
でも容器（液体ヘリウムも液体窒素も）の真空引き直しは，うちではやる話は聞かないです。
ボスの話によると，ヘリウム容器に関してですが，まず持ちが気になるほど真空が悪くなるようなことはないそうです。
真空が悪くなった時は容器の寿命が来た時だ，だそうで。確かにヘリウム容器は特殊な断熱材も入ってますしね。
窒素容器に関しては，持ちを気にするほど長い時間放置することがない所為かな・・・
＞液チわさわさ
液チが怖くて低温実験やってられるか，なんてな。
もう液チ遊びは通過儀礼，慣れると日常の一部ですな，液チのある生活は。
0362名も無きマテリアルさん
NGNG0363名も無きマテリアルさん
NGNG0364名も無きマテリアルさん
NGNG>>363は無事焼けたのだろうか、と考えつつbake。
0365名も無きマテリアルさん
NGNG0366名も無きマテリアルさん
NGNG漏れの方が先に燃え尽きそうだよﾏﾏﾝ
0367名も無きマテリアルさん
NGNG0368名も無きマテリアルさん
NGNGクライオの音よりまし。
0369名も無きマテリアルさん
NGNGえ？あのヴイイイイイィィィって音がいいんだろ？>>all
というわけでBake age
0370名も無きマテリアルさん
NGNGシビれるよね
0371名も無きマテリアルさん
NGNG同意
というか，加速時の音が最強．
0372名も無きマテリアルさん
NGNG10^-5Torr
まだだ・・・まだまだ・・・
0373名も無きマテリアルさん
NGNG0374名も無きマテリアルさん
NGNG0375名も無きマテリアルさん
NGNG0376名も無きマテリアルさん
NGNG待ってる間に２ちゃんしながら世界の車窓からを見てまつ
0377名も無きマテリアルさん
NGNGCLでつ
0378名も無きマテリアルさん
NGNG0379名も無きマテリアルさん
NGNG0380名も無きマテリアルさん
NGNG量産している人はおらんのか？
0381名も無きマテリアルさん
NGNGSTMでつ。
入ったB4が大気リークさせました…。
俺の-9乗Torr返せよ、
面出しした金属ｻﾝﾌﾟﾙかえせよ… ｳﾜｰﾝ
0382名も無きマテリアルさん
NGNG毎年新しく入ってきたＢ４にリークされてオイルを酸化されてしまう…
最初に厳しく注意はしてるんだけどなあ。
0383名も無きマテリアルさん
NGNG> 俺の-9乗Torr返せよ、
> 面出しした金属ｻﾝﾌﾟﾙかえせよ… ｳﾜｰﾝ
うわぁ、9乗よりこっちの方が衝撃でかいな。
0384名も無きマテリアルさん
NGNGチャンバー内にモノ落っことした俺も人のこと言えないけど
ＴＭＰの上の金網の上にサンプルばらまいちゃった ﾃﾍｯ
0385名も無きマテリアルさん
NGNG漏れだったらそんなことした後輩は逆さ磔にしてやるところだ（ｗ
0386名も無きマテリアルさん
NGNGそうなんですよ。
一ヶ月かけて条件見つけてじっくりと
みがいたmyサンプルが…
ぐおぉぉらあｑｗせｄｆｒｔｇひゅｊきラッシャー！
0387名も無きマテリアルさん
NGNG逆さ磔でも済まされないだろうw
10年ほど前ですが、10inchのTMPは一台で
数百万円するんだぞ、と研究室の先輩に毎日
のように言われたことを思い出しました。
0388名も無きマテリアルさん
NGNGいや、それがＴＭＰ自体は奇跡的に助かりまして。
日頃の行いが良かったからでしょうか、
チャンバーの分解掃除だけで済みましたです、ハイ。
0389名も無きマテリアルさん
NGNGノーマル回転から一気に大気が入っても羽が飛ばない。
悲鳴のような音はするけど。
0390名も無きマテリアルさん
NGNGマジっすか?
もしかして、運転しながら大気突入を実際にやったことあるの？
こえぇぇぇぇ((((;゜д゜)))
0391名も無きマテリアルさん
NGNG実験データが上手くとれなかったから、ちょっと忘れ物とかいって勝手に使ったらこのざま。
鬱って言うか何て言うか、もうね・・・。
0392名も無きマテリアルさん
NGNG突入やってもうたことがある。
なんか魂吸い取られるような音と、やや香ばしい臭いがしたなぁ～。
幸い再起動するも何事もなかったように正常に立ち上がった。
しかし数ヶ月後、定常回転まで達っしなくなり壊れてもうてポンプ一式交換。
客の装置のメンテ中の出来事。
ええ、大気突入のことは一切話しておりませぬｗｗｗ
もち有償でつｗｗｗ
0393名も無きマテリアルさん
NGNGMAX回転から-2乗Torrくらいに突っ込んじゃったことがあるけど、それでもかなり
すごい音がしたですなぁ
大気突入したらどんな音するんだろう
0394名も無きマテリアルさん
NGNG想像したくもありません…。
あー、ｺﾜｺﾜ。
0395名も無きマテリアルさん
NGNG＞魂吸い取られるような音
って想像つかないけど、加速時の「ｷｲｲｲｲｲｲｨｨｨｨｨｨｨﾝﾝﾝ」って音の延長線上?
それとも、全然違う音色？
0396名も無きマテリアルさん
NGNG音が聞こえてきた時、頭の中に明かりがみえてくる…
0397名も無きマテリアルさん
NGNG0398名も無きマテリアルさん
NGNG0399名も無きマテリアルさん
NGNGｷｰ…ﾝ ｷｰ…ﾝ
（なんか今日はターボの音がうるさいな…）
キーーン キーーン キーーン キーーン
ギ
ギ ガガ ガシャ バリバリバババ ガッ ガシャッ！！
ぷしゅー…んん…ん ん… （静寂）
0400名も無きマテリアルさん
NGNG0401名も無きマテリアルさん
NGNG南無
0402名も無きマテリアルさん
NGNG軸ｽﾞﾚからケーシング擦り始めて羽ちぎれてあとは中身はミンチ。
音もすごいが中身もビックリ。焼けた感じの匂いが残ってて・・・
ばら肉想像してもらえば桶。
0403名も無きマテリアルさん
NGNGクラッシュって何が原因？
そんな爆音聞いてみたいなぁ
あ、漏れの愛用MOCVDのTMPではやらないでね♥
0404名も無きマテリアルさん
NGNG余程急じゃない限りはクラッシュしないと思うん
ですが、異物を落としたら即あぼーんではない
でしょうか。
0405名も無きマテリアルさん
NGNGだれも保障してくれなかったよママン。
0406名も無きマテリアルさん
NGNGメーカ解析では軸ｽﾞﾚらしい。ケーシング擦ると音がでかくなる。
そこまでいくとTMPとしては、修理するよか買う方がいい。
でも異物混入（TMP部品自体の破損もありえる）はクラッシュする
可能性が高い。おれはこっちだと思ってる。
>>405磁気浮上で助からなかったの？ｵｲﾗ使ってるのは停電でも
平気だけど。
0407名も無きマテリアルさん
NGNG･ﾟ･(つД｀)･ﾟ･ TMPお大事に
0408名も無きマテリアルさん
NGNGもう慣れたけど。
同じような境遇の人います？
0409名も無きマテリアルさん
NGNGﾉｼ
超高真空扱ってるんだけど、
その圧力レベルの研究ならポンプは常に稼動中なんじゃん？？
0410名も無きマテリアルさん
NGNGロードロック型ならメインチャンバーは引きっぱなしにするだろ。
この刷れの住人は、ポンプが普通に鳴っていなかったら、orz
0411名も無きマテリアルさん
NGNGこれがうまいこといけば応物
0412名も無きマテリアルさん
NGNG問題は真空装置のある部屋が日ごろいる部屋かということじゃないのか？
普通に過ごす部屋までいつもうるさかったらかなわん．
0413名も無きマテリアルさん
NGNG実験室と居住部屋が同じってことか。
それはいやだな。
0414名も無きマテリアルさん
NGNG応物は発表日までになんとかいきゃいいのよ
0415名も無きマテリアルさん
NGNG0416名も無きマテリアルさん
NGNG0417名も無きマテリアルさん
NGNGなるべく窒素で・・・
0418名も無きマテリアルさん
NGNG0419名も無きマテリアルさん
NGNG0420名も無きマテリアルさん
NGNGあれは絶対身体に悪いにおいだよな・・・
最近排気ラインを作って換気扇に吸い込ませてみた。
快適♪
0421名も無きマテリアルさん
NGNG俺はロータリー引き始めのあの音と匂いが心地よかったりする訳だが。
ヘンかな？
0422名も無きマテリアルさん
NGNG大丈夫だ、俺もそうだw
0423名も無きマテリアルさん
NGNG0424名も無きマテリアルさん
NGNGRPオイルを正規の給油口ではなく、真空引くポートから追加。
んでもって、ポートを塞がずに試運転しやがった。
スイッチ入れた途端にオイルがポートから噴出し、ポンプの周囲
1mと天井がオイルまみれに。
近くにいたご本人も全身オイルまみれになりますた…。
0425名も無きマテリアルさん
NGNG友人が干されない事を祈る…
0426名も無きマテリアルさん
NGNGなんとビックリ問題なく真空上がりますた。。。
0428名も無きマテリアルさん
NGNG0429名も無きマテリアルさん
NGNGSEMの真空引き待ち・・・
現在13時間目・・・
もう暇つぶしも無くなった・・・
寝るか・・・
0430名も無きマテリアルさん
NGNGオイル噴上げショー、うちの教授もやってた。ｗ
0431名も無きマテリアルさん
NGNG0432名も無きマテリアルさん
NGNGリークしてませんか？
0433429
NGNG80年代前半もの・・・
一回真空落ちると、真空上がるまでかなり掛かる
0434名も無きマテリアルさん
NGNGDPかTMPか知らんが、DPならそっちのオイルもじゃね。
RPのベルトも交換した方がｲｲかも。
0435名も無きマテリアルさん
NGNGthx
てっきりメンテ入ってるから、問題ないかと思ったら・・・
RPのオイルがぁぁぁぁぁ
交換したらあっという間に・・・
メンテスタッフはいったい何をやっているんだか・・・
0436名も無きマテリアルさん
NGNG只今終わって冷え待ち。真空待ちage
0437名も無きマテリアルさん
NGNGまぁｶﾞﾝｶﾞｯﾃｸﾀﾞｼｬｲ
0438名も無きマテリアルさん
NGNG欲しい倍率で撮れる！
が・・・
肝心なXRDの制御側であるUNIXが、丸ごと御亡くなりに・・・
学会に間に合わない・・・＿|￣|○ orz...
0439名も無きマテリアルさん
NGNG0440名も無きマテリアルさん
NGNGRP2台＋TMP仕様でー7乗Paくらいまでもってくんだけど
0441名も無きマテリアルさん
NGNG0442名も無きマテリアルさん
NGNG0443名も無きマテリアルさん
NGNG横に2mくらいで、直径は15cmくらい。
真ん中と後端にそれぞれ10inchのTMP(+RP)をぶら下げてた。
O-ﾘﾝｸﾞ仕様だからベーク出来なかったけど。
前端はt15mmくらいの板を丸くくりぬいたモノを10枚くらい重ねて組付け。
間にO-ﾘﾝｸﾞ挟み込むのが面倒だった…。
0444名も無きマテリアルさん
NGNGｴﾀﾉｰﾙを注射器に入れて継ぎ目にﾁｭｰﾁｭｰかけれ。
ﾘｰｸ探ししる。
Q-Massとかあったらさらにﾖｼ。
0445440
NGNGちなみに装置はスパッタで、反応スパッタするために気体導入用の管がごちゃごちゃついてて、これがリークの原因と思われ
セルフ後付で増やしまくったせいで配管に継ぎ手だらけでリークはある程度しかたないかな、とorz
とりあえずやるべきことはベーク前の引きを長くしてベーク時間を極力抑えるのが装置のためか
ちなみに120度でベークです
0446名も無きマテリアルさん
NGNGリークなくても時間掛かる…。
0447名も無きマテリアルさん
NGNG脱ガスしたのがそこに着いちゃうから、結局そこの放出率減少が律速に
なっちゃうよ。5 日かかるってのはその辺のような気がするけど…
0448名も無きマテリアルさん
NGNGリークのせいならベークを長くしてもしゃぁないかと。
>>444が言うようにmassが付いてるなら一度水ピーク
の経時変化を見てみては？
0449４４０
NGNG続報は来月以降で
0450名も無きマテリアルさん
NGNG0451名も無きマテリアルさん
NGNGMBEチャンバーリークさせました。
容器の内側が霜まみれに。。。ｳﾜｰﾝ
0452名も無きマテリアルさん
NGNGよく考えりゃここって教官の人たちも見てるんだよな…
0453名も無きマテリアルさん
NGNG0454440
NGNGリークは無かった模様
Q-massは諸事情によりスルー
ちなみに過去に試したときはC-H系がでてきたそうです・・・（汗
引きながらバルブをあっちこっち開けたり閉めたりしたところ、やっぱり気体導入管が真空度を下げている模様
このあたりはベーキングしたいんだけど、ちょっと熱かけたくないんでむぅり、と
引き方を工夫する方向で考えていきます
0455名も無きマテリアルさん
NGNG0456名も無きマテリアルさん
NGNG律儀にどうも。
気体導入管が真空度を下げているぽいってのは
「ベーク後にバルブを閉めたら圧力が下がった」
ということであってる？
あと参考としてその導入管のバルブの開閉前後
で圧力はどれぐらい変化した？
0457440
NGNGちょとちがう
今回は導入管閉めてリーク＞導入管閉めたままベーク＞ベーク後導入管開ける
ってやってみました
で、いつも狙ってる真空度に到達するまでの時間は少し短縮しました
ちなみに-5Pa台
で、バルブを開けていくと、当然ひとつあけるごとに真空度下がるので、一度ずつ下がるの待って開けていきました
したら、あるバルブ開けたら突然真空度がすごい勢いで下がったんで、そこがやばげな感じ
たぶんいきなり全開したら、最悪-2Pa台までさがるんじゃないかな？やらんかったけど
ちなみにそこは、気体導入の際の気体混合ユニットがあるとこっす
0458名も無きマテリアルさん
NGNGはポンプで引き切ってやる必要はないの？
チャンバと導入管のバルブの位置関係を見てみたい希ガス。
0459440
NGNGで、当然他がベークされてるときその辺の温度低いんで、いっそベーク中はガス管閉めとこうかな、と
ちなみに今回はベーク後丸二日くらい使わずに引いてます
っていうか、まだ真空待ちDEATH
0461440
NGNGただ、バルブの漏れからくる多少の気体の進入は否定できません
ただし、どちらかというと向こう側の気体ボンベからの侵入のほうがありそうなので、そっちを疑ってます
・・・Q-massやればよかった・・・
0462456
NGNG実は俺のチェンバーにもガス導入口があるんだけど、
常に単一ガスが充填されてる状態になってる。バルブ
さえ閉じていればリークと排気を繰り返しても問題なし。
そちらはガス混合用の機材がついてるみたいだから
大変そうだけど、ガンがって下さい。
0463名も無きマテリアルさん
NGNG0464名も無きマテリアルさん
NGNGttp://eiwa.excite.co.jp/sounds/NEW_EJJE/000957570730.wav
”チェｲンバー”に聞こえる。
日本語では、チャンバー派が多いような。
でも、MBEの人はチェンバーって言っているイメージがある。
0465名も無きマテリアルさん
NGNG0466名も無きマテリアルさん
NGNG回転中のTMP（チャンバ下部に設置）にチャンバ内からボルト（？）が落ちたらしいとです・・・。
金網もつけてなかったとです・・・。
アルミの羽がめちゃくちゃになったとです・・・。
0467名も無きマテリアルさん
NGNGTMPって排気量にもよるけど100万円クラスの装置らしいから、、、
0468名も無きマテリアルさん
NGNGケーシングが回り出すということは…
ｶﾞｸﾌﾞﾙ
0469名も無きマテリアルさん
NGNG圧縮比を1台よりも上げるため？
排気面積を多くとった方がいいような気がするのですが．．．
0470名も無きマテリアルさん
NGNG一文抜けてた2行目
うちの装置は500と150のTMPタンデムなんですが、タンデムの効果がいまいちわかりません
0471名も無きマテリアルさん
NGNGただしタンデムの場合は一発目 (チェンバ側) のポンプからの
脱ガスを充分低くする工夫が必要で、これはそれほど簡単ではない
気がするけれど。
0472名も無きマテリアルさん
NGNGありがとうございます。
一発目のTMPは空冷ピボット型ですが立ち上げ時に吸気側をベーキングしてます。
チャンバベーク後の到達は～1×10^-7Paくらいです。
もっと下げたいなら水冷磁気浮上型とかなんですかね？
0473名も無きマテリアルさん
NGNG標準的にベークした真空システムで単発のターボで 10^-7 Pa ってのは
まあそんなもんかなあ、という感じですが。
「もっと下げたい」への戦略は、チャンバの利用のされ方、チャンバ容積・
表面積、ベーク温度、残留ガスの様子などに左右されるので、ターボの置換
が最適解かどうかは難しいと思います。役に立たないコメントですみませんが。
0474名も無きマテリアルさん
NGNGかつＴＭＰのみで高真空排気するような
超高真空チャンバであればタンデムにせざるを得ないでしょう。
ＴＭＰは質量が軽い気体の圧縮比が小さいのが欠点といえば欠点でしょう。
0475名も無きマテリアルさん
NGNG0476名も無きマテリアルさん
NGNG0477６２６
NGNGこれだと10^2Pa程度までしかひけません。到達圧力は10^(-1)Paとかいてあります。
やはりちゃんとした蓋を作ってもらった方がいいでしょうか？
0478名も無きマテリアルさん
NGNG(要するに弾性変形する気密性ゴム) を挟むと
だいぶ良くなると思いますよ。
0479名も無きマテリアルさん
NGNG0480名も無きマテリアルさん
NGNG本体内にO-リングが吸い込まれないような引っかかり
が必要になりますよ。
0481名も無きマテリアルさん
NGNG0482名も無きマテリアルさん
NGNG0483477
NGNG蓋の側にもプラ板の側にも溝はないのでoリングがつけれません。
接着剤で固めてみたのですが大して変化はありません。やはり空気がもれているのでしょうか。
0484名も無きマテリアルさん
NGNG0485名も無きマテリアルさん
NGNGうちだとオイル逆流防止のためにデシケーター引き終わったらホースはリーク
することになってます。
0486名も無きマテリアルさん
NGNGガスソースMBEなんで。クライオは使えないと思います。
それも考えたんですが。
ただ基板ヒーター昇温中のデガスが多くて困ってます。
液窒トラップも使えないんで．．．
やっぱり基板ヒーター周り水冷した方がいいのかな。
みなさんどうしてるんですかね？
0487名も無きマテリアルさん
NGNG0488名も無きマテリアルさん
NGNGこんな年の瀬までお疲れさまです。。。
うちは28日にクリーンルームから追い出されました。。。(施設冬休みのため)
0489名も無きマテリアルさん
NGNG只今１２０℃一日目で5×10-6 Torr
ウイイイイィィ・・・
早く７乗に入らないかな～
0490名も無きマテリアルさん
NGNGもし吸引したらどうなっちゃうのかな。
単に毒性ガスだから、っていうこと以外に理由があるのかな？
誰か知ってる？
0492名も無きマテリアルさん
NGNG0494名も無きマテリアルさん
05/01/30 10:37:430495名も無きマテリアルさん
05/02/23 16:59:270496名も無きマテリアルさん
05/03/17 09:57:19みんなありがとう
0497名も無きマテリアルさん
2005/03/24(木) 09:34:46お疲れｻﾝﾄｽ ﾉｼ
0498名も無きマテリアルさん
2005/03/30(水) 02:27:54私からもお疲れｻﾝﾄｽ ﾉｼ
0499名も無きマテリアルさん
2005/04/19(火) 15:47:430500名も無きマテリアルさん
2005/04/19(火) 16:48:00>>499
ﾌﾟﾁﾜﾛｽw
0501、、、
2005/04/19(火) 20:36:330502名も無きマテリアルさん
2005/04/19(火) 22:09:420503名も無きマテリアルさん
2005/04/20(水) 00:29:39ttp://science3.2ch.net/test/read.cgi/material/961414804/221-223
0504名も無きマテリアルさん
2005/04/21(木) 00:39:14やってらんねぇ
0505名も無きマテリアルさん
2005/04/21(木) 01:17:050506名も無きマテリアルさん
2005/04/24(日) 10:14:320507名も無きマテリアルさん
2005/04/24(日) 22:03:42があるけど、そういうことじゃないの？
0508名も無きマテリアルさん
2005/04/28(木) 01:39:44ロータリーポンプなんだけど、すごい音とともにふたが吹っ飛んで中のオイルがありえないくらい飛び散ったのさ。
0509名も無きマテリアルさん
2005/04/28(木) 09:36:530510名も無きマテリアルさん
2005/04/28(木) 22:20:02実際大爆発を起こし人命が失われた事故もありました。
（CVDの実験でしたが）
皆さん、面倒くさがらずロータリーオイルは小まめに変えましょう！
常時運転の水や爆発性ガスでなければ3ヶ月～半年に一度の交換をお勧めします。
0511名も無きマテリアルさん
2005/04/29(金) 00:12:390512名も無きマテリアルさん
2005/04/30(土) 02:18:400513名も無きマテリアルさん
2005/04/30(土) 04:34:47アルバックの人に凄い勢いで怒られますた。
0514名も無きマテリアルさん
2005/04/30(土) 05:27:11∠二ミ::::::// ...::::::ヽヽ、
r'r'´..::::::::ヽr‐､'､..::::::::::::::/ rl]
|| ...::::::::::/ | l::ヽ､`ー‐'´ノ:ヽ
r' ヽ､___／ ∧::ヽ;::::::i「:l「::ヽ::::',
|iTｰ--r‐'´ ヽ:､ヽヽ:::l|::|ヽ:::ヽ:::!
|::}:::/|:|:| ヽ ヽ!| ! ヾ;:::|::| 馬鹿かお前ら、ここはVIPだ！
|.:.!/:|::|l:! -彡-;､ﾘヽ:|
|.:.||:::l::|ﾘ''テ=ﾐ ﾍ:;;;ﾉ |:::|:!
|!.:|:::::l::|ハ::;;:ﾉ ::::::: |:::|:!
.!|.||;:::l::|､:::￣ , /川| __ , -''´i￣￣｀ﾞヽ､
|!ヾ!:l:Lヽ _..., ／ﾘ:/!| /／へ|ﾚ^ﾚ彡 ｀ヽ,--､
! lﾊ::! ｀''ｰ- ､.`´ イ _ //// | | ヽ ヾﾐ ヽ
, ---､ __ﾉ l⌒Y| V/ // ヽ! | ! ﾊ| ||
/ ､ / |＼ || ! / ヽ l| |彡/ | ||
| ＿＿、 ￣ / /ヽ(.)! | | ＞=､ -＜! | |/ //| || 甘く見るなよ！！
/: : : : : ヽ / / /|| | | ! |::::'! /::Lミ||ﾚ// l| ||
{: : :r'´--ヽ=:/ / /７|| |.|ﾞ! L::ﾉ L;;ノ ||ﾘｸヽ.l| || .l⌒!
|: : :／: :__／ ､ ' /-r'┴､!||:::: , :::::::: | |!).ノ|| || / /
ト|: : : /:ノ ヽ､ ﾚ'′ /ハ|'､ //'´ ||Ll／ /
|: :Y: : / ＼ ! /l/: :|| ｀ﾞ - ﾟ..＿_,.ィ´//＿,--'´ ､,/
L; :|: : } ＼ l | !: : ∧ ,. --| ／/〃:r'´ ､ ＼ ヽ
ト|: :.| ＼ レ' /: :: : {〃⌒l Lr'￣｀ヽ |:::| ､ ヽ 〉ﾉ
|:ヽ: | | / ,ｨし!: : : ||...::::/r､| ....:::::/ ﾊ::| ｀Lヽ ﾚ‐<
ヽ ヽ|ヽ、 .し'r<ハ!: : : : :|トニノ ヽニニ人ヾヽ､ ￣ >'′
∧ ヽ::::`ー‐': : 人: : : : : :| |/::::::::::::::::::::::::::｀ﾞ´:::::r`ｰ'´
0515名も無きマテリアルさん
2005/07/06(水) 05:20:330516名も無きマテリアルさん
2005/07/07(木) 19:35:41絶対真空計壊れてるって思うんですが、先輩方は全然気にして無くて、
報告の蒸着条件にも平気で10-8乗Torrって書いてます。たいした蒸着はしてませんが…
0517名も無きマテリアルさん
2005/07/12(火) 16:44:42電離でしょ？
0518名も無きマテリアルさん
2005/07/12(火) 17:37:37立てた当時は、まさか４年後に自分がポンプ屋になるとは
夢にも思ってなかったな・・・・
05191
2005/07/12(火) 17:38:380520名も無きマテリアルさん
2005/07/14(木) 15:29:570521名も無きマテリアルさん
2005/07/17(日) 11:37:47ただ、ゲージポートが液体窒素溜めに対向してたりすると、
見掛け上すごく低い圧力に見えることはあるけど。
0522名も無きマテリアルさん
2005/07/25(月) 22:37:43ホント心臓止まるかと思ったよ。
0523名も無きマテリアルさん
2005/07/28(木) 21:03:20メインバルブ(管の中に円盤が入ってて、直結してるバルブを回すと円盤が
管に対して平行/直交と変わって開放/閉塞状態になるタイプ)に塗っている
真空グリスを塗り替えたいのですが、どう塗ったらいいですか？
いつもは上から覗いて、管の中の円盤のフチの部分(円盤は管に直交(閉塞)状態のまま)に
塗っているのですが、これで正しいのでしょうか？
それとも開放状態にしてからフチに塗るものなんでしょうか？
よろしくおねがいします。
拡散ポンプ内を回転ポンプで引いているのですが、
40[Pa]から下がらないです。で、
拡散ポンプ-M.V.-ベルジャー、と、つながってるM.V.を閉じているのに、
ベルジャーの圧力が微妙に下がっているんです。
M.V.漏れかとは思うので塗り替えようかと…
0524名も無きマテリアルさん
2005/07/29(金) 01:19:53メインバルブに真空グリスなんて塗るもんなの?
0525名も無きマテリアルさん
2005/07/29(金) 01:42:02えっ、塗らないんですか？(M.V.かはともかく、開閉弁みたいなののスキマに)
正式名称知らないんですけど、うちはフタが90度回って管路が開閉するタイプなので、
閉塞した時のスキマを埋めて気密性を上げるために塗ってるんですが…
指導教官が塗り塗りしてるのを見学して、「こうやって塗るんだよー」
ってのを見たことはあるんですけど、詳細がよくわからなくてorz
0526523=525
2005/07/29(金) 01:43:570527名も無きマテリアルさん
2005/07/29(金) 22:13:48グリス塗るのもありだろう。ただ 40Pa っつーのは漏れすぎ。
グリスだけでは解決しないと思う。ゴミとかが挟まってんじゃないかな。
漏れなら分解して清掃してからグリスアップするだろうが、慣れないと
作業の段階でキズつけてバルブをおシャカにしたりする可能性も
なきにしもあらずだから、経験のある人と一緒でないとお勧めしない。
いずれにしても指導教官がいるなら、その先生に相談するのが
一番だと思うぞ (いまは独法化したから教官ってのはいないんじゃ、
というのはさておき)。
0528523=525
2005/07/29(金) 23:05:49ありがとうございます。とりあえずグリース塗って調子よくなったので、
とりあえずヨシということにしました。＆指導教員にも報告して、ヨシと。
拡散P荒引きで到達目標10[Pa]で、調子イイと0.x[Pa](ピラニの一番下)まで
スッと落ちるんですが、調子悪いと20-40[Pa]でフラフラ…(ベルジャ大気圧のままで)
昨年度に拡散ポンプ大気圧開放でィヤッほーした件(犯人は僕じゃない)もあって、
「いつか全部掃除したいんだけどなぁ…」と言っています。
その際に、指導教官と一緒にバルブ他あわせて掃除の勉強しよう思います。
そうそう、教"官"じゃないんですよね。まったくメンドクサイ。
スレ違いネタですけど、大学院の願書の出身校を
□国立 □私立 □その他 まるまる 大学
…迷うことなく「レ その他」にしますた。
0529名も無きマテリアルさん
2005/08/20(土) 12:02:05んで、其処がリークしてたらどんな反応があるわけ？
真空計の表示が揺れ動くとか？
0530名も無きマテリアルさん
2005/08/20(土) 21:36:54リークの大きさにもよるけど、普通は真空計が振り切れるから分かる。
すごく大きいリークの場合は、ガイスラーの色が変る。
-6 Torrまで排気できているような微小リークの場合、
穴が埋まって逆に真空度が良くなる場合もある。
0531529
2005/08/21(日) 04:52:48レスどうも♪
なんか夏になるとNIG(ヌードイオンゲージ)の表示が揺れ動くモンだから、
ウチのボスがリークじゃねぇかって疑ってて。
メタをどばどばぶっかけても変化無いから、
なんか見当違いの事してるんじゃないかって思ってたｗ
0532名も無きマテリアルさん
2005/08/21(日) 09:36:50SIがなんと言おうと、このｽﾚでは圧力表記はTorrで統一しる!!
Paじゃ実感わかなくてｲﾔﾝﾇ。
ｲﾁｲﾁ変換するのもﾏﾝﾄﾞｸｾだし…。
orz
0533名も無きマテリアルさん
2005/08/21(日) 20:35:58100で割ればいいじゃん
0534名も無きマテリアルさん
2005/08/21(日) 21:01:23「今どこまで引けた？」
「4乗に入ったところ」
ってPaで言われても実感わかないし、
100で割るのはﾏﾝﾄﾞｸｾ････
0535名も無きマテリアルさん
2005/08/23(火) 20:51:48100 で割っただけだと微妙に圧力が悪い気がするんだよなｗ
でもやっぱまあ慣れないとだめだよこれからは。
0536名も無きマテリアルさん
2005/08/25(木) 21:25:34単に好みかな．
うちは物理系で，Pa表現が一般的です．
でも古い先生だとTorrよく使うな．
0537名も無きマテリアルさん
2005/08/26(金) 01:45:170538名も無きマテリアルさん
2005/08/26(金) 20:22:03オマイ、Torrが使いこなせなくて悔しいんだな。
0539名も無きマテリアルさん
2005/08/28(日) 14:12:27せめてどっちかにいい加減統一してくれんもんかね。
うちは装置が何台か有ってTorr表記のとPa表記のが
混在してて面倒。
B4なんてこんがらがってるし。
0540名も無きマテリアルさん
2005/09/04(日) 21:28:40Pa Torr mbarなんざ気にしない俺は少数派ですか？
0541名も無きマテリアルさん
2005/09/15(木) 01:19:49そんなあなたにはバキュームデシケータで十分です
0542名も無きマテリアルさん
2005/09/16(金) 22:57:03いや、それじゃ上等すぎる。
これがいい。
http://www.google.co.jp/search?num=50&hl=ja&inlang=ja&ie=Shift_JIS&oe=Shift_JIS&c2coff=1&q=%95z%92c%88%B3%8Fk%91%DC&btnG=Google+%8C%9F%8D%F5&lr=lang_ja
0543名も無きマテリアルさん
2005/09/18(日) 23:37:35それは真空に分類していいのか・・・？
0544名も無きマテリアルさん
2005/10/03(月) 13:15:000545名も無きマテリアルさん
2005/10/04(火) 01:24:28基準に取った方向と逆向きに圧力がかかればマイナスになる
0546516
2005/10/20(木) 20:50:04情報サンクスです。やはり、真空計壊れてました。
後輩がバルブ操作を間違えて、粗引きのみの状態で蒸着しようとして、
アルミが真っ黒になりました。でも、真空計は－８乗torrでした。
その後、常圧でも－８乗を表示することが判明。
0547名も無きマテリアルさん
2005/10/22(土) 23:00:43DPってもう時代遅れ？
0548名も無きマテリアルさん
2005/10/23(日) 19:34:22うちの研究室にもあるけどｗ
0549名も無きマテリアルさん
2005/10/27(木) 00:32:310551名も無きマテリアルさん
2005/10/29(土) 01:41:140552名も無きマテリアルさん
2005/10/29(土) 02:06:480553名も無きマテリアルさん
2005/10/29(土) 17:26:510554名も無きマテリアルさん
2005/10/29(土) 21:34:250555名も無きマテリアルさん
2005/10/30(日) 15:04:50ど素人に使わせることを考えて，研究室とかだと最低１台はDPがあったほうがいいと思う．
うちはメインの装置はたいていTMPだが，そういう用途用に１台DPの蒸着器が残してある．
0556名も無きマテリアルさん
2005/10/30(日) 15:24:10それとも粗引き必要だっけか。
0557名も無きマテリアルさん
2005/10/30(日) 17:10:30粗引き必須ですお。ロータリポンプでポンポンポンポン…
0558名も無きマテリアルさん
2005/10/30(日) 18:46:57ターボもDPも原理さえわかっていれば、操作に関しては大差ないと思うが
0559名も無きマテリアルさん
2005/10/30(日) 20:21:40大気導入してもたかが知れている。
TMPは…。
TMPをぶら下げてる実験装置が 架 台 ご と 歪 む という話を聞いたことがあるぞ。
TMPの大きさにも依るとは思うけれども。
0560名も無きマテリアルさん
2005/10/30(日) 20:40:35爆発？
ｶﾞｸｶﾞｸﾌﾞﾙﾌﾞﾙ
0561名も無きマテリアルさん
2005/10/30(日) 22:59:14ロータリーが繋がっているならば、油が装置全体の回る。
0562名も無きマテリアルさん
2005/10/30(日) 23:24:31工場なんかのでかいターボだと、ケーシングから飛び出してそのへんの
ブツを薙ぎ倒しながらすっ飛んでいったとかいう話もあるらしい
(都市伝説の類かもしれんが)。
0563名も無きマテリアルさん
2005/10/31(月) 21:45:45飛んだところを見たことがあるのかとw
実際のところは、大気導入したときにﾛｰﾀがｹｰｼﾝｸﾞにぶち当たる
のを言いあらわしている訳だが。
0564名も無きマテリアルさん
2005/11/10(木) 22:51:01けっこー高いのね．知らなかった．
0565名も無きマテリアルさん
2005/11/10(木) 23:04:00会社に入って知ったけど、互換とは明記しないまでも
組み合わせても使えるっていう製品は4,5社を下らない。
中にはマユツバなメーカもあったりするけど。
0566名も無きマテリアルさん
2005/11/15(火) 02:34:550567564
2005/11/19(土) 12:05:31thx
安く手に入るように
さがしてみます
0568名も無きマテリアルさん
2005/12/09(金) 21:42:14窒素圧かけてもちっとも動かん！
卒論前に大気リーク決定だよ…
デコピン一発で直りそうなもんだが、誰か同じ事経験した香具師いるけ？
0569名も無きマテリアルさん
2005/12/10(土) 01:00:39ぶっ壊した俺様が来ましたよ。
（TMP自体は奇跡的になんともなかった）
0570名も無きマテリアルさん
2005/12/10(土) 20:43:57どなたか教えて頂けますか？
0571名も無きマテリアルさん
2005/12/10(土) 22:53:06在るのは「圧力」の単位だけだﾎﾞｹ。
0572名も無きマテリアルさん
2005/12/11(日) 00:06:35子供っぽいよ。
0573名も無きマテリアルさん
2005/12/11(日) 01:36:250574名も無きマテリアルさん
2005/12/11(日) 10:20:16極高真空 > 超高真空 > 高真空 > 中真空 > 低真空 > 大気
>>570さん
以下の解説はどうでしょうか？
ttp://www.ulvac.co.jp/firstvisit/index2.html
0575名も無きマテリアルさん
2005/12/11(日) 19:57:16チラシの裏すまそ。
0576568
2005/12/16(金) 17:25:02そのTMPｸｵﾘﾃｨﾀｶｽwwwwwwww
そして膜厚計の導入部からのリークがここ一週間止まらない件。
あー逃げてぇ
0577名も無きマテリアルさん
2005/12/16(金) 17:33:280578名も無きマテリアルさん
2005/12/17(土) 11:53:18ベークもできそうにないし・・
0579名も無きマテリアルさん
2005/12/21(水) 02:49:460580名も無きマテリアルさん
2005/12/28(水) 18:56:16・ターボがｷﾝｷﾝ言い出すのって壊れる前兆なんですか？あと、この音は
どっから聞こえてくるんですか？
・ターボの寿命って(あるとすれば)何ｈくらいですか？
詳しい方教えてくださいお願いします。
0581名も無きマテリアルさん
2005/12/29(木) 01:42:15本体でしてるとすると、熱膨張とかで接触があるのかも。
あとグリス式のやつだったら、定期メンテは必須。
数万時間以上持っているターボが身の回りにはたくさん
ありますが、製品によっては 2 年くらいで壊れてしまう
こともあるそうです。あと、ON/OFF を頻繁に行ったり、
ガスの負荷をかけたりするともちろん寿命は短くなります。
0582名も無きマテリアルさん
2006/01/05(木) 12:23:21はないと思うんですけどねえ。
70000ｈ近く稼動しているのは頑張っているほうですか？
0583名も無きマテリアルさん
2006/01/06(金) 18:04:35さすがに 7万h 経過後の不調は、自分なら寿命と思って
あきらめると思いますｗ 連続運転で 7 年以上だもんなあ。
0584名も無きマテリアルさん
2006/01/28(土) 16:23:32ざっと8年になる罠
新しいの買っても怒られないと思われ
0585名も無きマテリアルさん
2006/02/05(日) 23:50:27鬱。
0586名も無きマテリアルさん
2006/02/14(火) 12:03:30リークしていて、基板加熱版が真っ黒になった。
0587名も無きマテリアルさん
2006/02/17(金) 01:26:09RPからの油の逆流を防ぐためにやったほうがいいって聞いたことが
あるんですけど。
あと、電力投入していないフリーラン状態(つまり、中の動翼が惰性だけで
回り続けている状態)ってターボにとって良くないんですか？
0588名も無きマテリアルさん
2006/02/17(金) 08:12:31どんな世界の住人ですか？
RPを使う限り，油の逆流を防ぐためにポンプ側のリークバルブは
つかった後は開けておく必要がある．
これは先に何がつながってるかにかかわらず同じ．
ちなみに，油逆流はDPだとギャグになってもTMPだとシャレにならないので注意．
あと，システムにもよるけどTMPは使用していない時も真空中に
保持するのが普通．それと，TMPのフリーラン状態はいいも悪いもないと思われ．
ただ，何かトラブルがないと通常運転時からフリーランに落ちることはないので
そういう意味で縁起が良くない．
0589名も無きマテリアルさん
2006/02/18(土) 02:26:30RF Sputteringです。
この前ターボを止めたとき、電力投入が０になっているのを確認した
あとベントバルブをゆっくり開けてみたら
「ｷﾞｭｩｩｩｩｩｩｩｩｩｩｩｳｳｳｳｳｳｳﾝﾝﾝﾝ」
という結構大きい音が聞こえてきて(多分、動翼がトルクを受けて減速して
いる音だと思うけれども)、気になったんで投稿した次第です。
0590名も無きマテリアルさん
2006/02/18(土) 08:03:420591名も無きマテリアルさん
2006/02/18(土) 09:22:00スパッタに使ってるTMPならたぶん大気導入大丈夫だろうから死なないだろうが，
回転停止まで待たない理由がわからない．
まあ，相当運が悪くない限り何もおきていないと思われ．
0592名も無きマテリアルさん
2006/02/20(月) 16:56:28でチャンバー内を掃除すると黒いすすが全体的
に付着しているのですがこれは金そのものなの
でしょうか？
また数回蒸着していると金は掃除しても
取れなくなるものなのでしょうか？
誰かご教授をお願いします。
0593名も無きマテリアルさん
2006/02/21(火) 01:00:530594名も無きマテリアルさん
2006/02/21(火) 13:12:510595名も無きマテリアルさん
2006/02/21(火) 19:31:31厚みが増して、ポロリとハゲるらしい。
0596名も無きマテリアルさん
2006/03/07(火) 00:41:45万一ぶっ壊れたとき凄そうで・・・。あの羽根ってえげつない速度で
回ってるし、殻ぶち破ってきそうで怖い（ｗ
0597名も無きマテリアルさん
2006/03/07(火) 01:30:24多分w
0598名も無きマテリアルさん
2006/04/15(土) 11:39:500599名も無きマテリアルさん
2006/04/17(月) 20:59:21('(ﾟ∀ﾟ∩_ おいらをどこかのスレに送って！
／ヽ 〈／＼ お別れの時にはお土産を持たせてね！
／|￣￣￣|.＼／
| .ﾓﾂ煮..|／
￣￣￣
現在の所持品：たばこ・ライター・コーヒー・ブラックブラック・枕・ケータイ電話
睡眠薬・聖教新聞 ・ダッチワイフ・外付けSCSI340MHDD・地図帳・EGF・粉石鹸
0600助けて
2006/04/29(土) 06:54:13蒸着して、すべての工程を終えて、電源をきったら、最後に
ロータリーリークバルブをあけますよね？
一度開けたら、閉めても大丈夫ですよね？
油は上がってこないですよね？
0601名も無きマテリアルさん
2006/04/29(土) 17:42:39俺が学生だった頃は特にそんなことは言われなかったが、
TMPの電源を切ってもまだしばらくは惰性でタービンが回ってるから、
リークバルブを閉めた段階でまだタービンが回っていると(音がしない程度でも)、
タービンの内外で圧力差が発生して最悪油が上がってくる可能性はある。
リークバルブを開けておけばその部分は大気圧だから逆流することはまず無い。
だから、どっちかと問われたらリークバルブは開けておいた方が無難だと思う。
0602名も無きマテリアルさん
2006/04/29(土) 23:10:44リークが終わっても開けておいた方が無難だと思う．
0603助けて
2006/04/30(日) 00:39:29昨日実験をしたんですが、今日の朝に、リークバルブをどうしたか気になって
かなりあせりましたからね。
0604名も無きマテリアルさん
2006/05/01(月) 15:59:450605名も無きマテリアルさん
2006/05/02(火) 17:52:090606名も無きマテリアルさん
2006/05/02(火) 23:35:03DP使うならRPも当然使うんでないの？
フリーズドライ作りたい、ので連休中にMyポンプで鮭の切り身を引いてみよう。
楽しみ。
0607名も無きマテリアルさん
2006/05/03(水) 17:59:00チャンバーを真空に保ったままなのだから、
荒引バルブを開けなければ
ロータリーポンプ内のリークバルブ操作のみなのだから
関係ないでしょ？
0608名も無きマテリアルさん
2006/05/03(水) 20:51:07TMPのタービンよりチャンバ側までには油が来ちゃう可能性が残るからね
チャンバが汚れる危険はできるだけ避けたい
0609名も無きマテリアルさん
2006/05/03(水) 23:11:330610名も無きマテリアルさん
2006/05/04(木) 00:45:37うちにはターボとロータリーの間はトラップだけでラフバルブなかったからなー
ラフバルブあるなら油の件はいいのかもしらんけど
>>602みたいなこともあるからやっぱ開けておいた方がいいかも
0611名も無きマテリアルさん
2006/05/04(木) 02:45:03自分の経験だとバルブがTMPとRPの間にあってもポンプをリークしないと，
TMPがおじゃんになる．
バルブで1回は止まるんだけど，その後何回か運転してるうちに上に上がって来るのか，
TMPが油まみれになって洗浄に出す羽目になった．
0612名も無きマテリアルさん
2006/05/08(月) 00:45:26久々に活気のようなものを見たｗ
0613名も無きマテリアルさん
2006/05/08(月) 19:28:160614名も無きマテリアルさん
2006/05/09(火) 20:50:580615名も無きマテリアルさん
2006/05/10(水) 23:42:280616名も無きマテリアルさん
2006/05/13(土) 19:03:010617名も無きマテリアルさん
2006/05/13(土) 23:33:440618名も無きマテリアルさん
2006/05/14(日) 14:18:410619↑
2006/05/14(日) 14:19:290620名も無きマテリアルさん
2006/05/16(火) 02:41:35ロータリーは心の友のはず。
0621名も無きマテリアルさん
2006/05/18(木) 21:01:390622名も無きマテリアルさん
2006/05/19(金) 01:16:47ファイナルどれくらい？
0623名も無きマテリアルさん
2006/05/19(金) 19:37:060624名も無きマテリアルさん
2006/05/24(水) 14:48:100625名も無きマテリアルさん
2006/05/24(水) 16:40:00汚れかたによる
どれぐらいよごれたか、かいてみれ
0626名も無きマテリアルさん
2006/05/24(水) 17:36:55いまはもうトリクレン使わなくなってるからなあ。イソプロパノールとか？
0627名も無きマテリアルさん
2006/05/27(土) 03:14:060628名も無きマテリアルさん
2006/05/27(土) 08:24:34槽内洗浄。
べべべ別にしょっちゅうおおおオイル逆流させてるワケじゃないっすよ。
ししし真空チャンバ積んだ装置つつつ造ってるんですってば。
0629名も無きマテリアルさん
2006/05/27(土) 08:58:23IPAってイソプロパノールアルコール？
アセはアセトンでオーケー？
0630627
2006/05/27(土) 10:12:37無視かよ ハゲ！
0631名も無きマテリアルさん
2006/05/27(土) 12:06:41とかいうなら、
一度、パーツをばらして
スコッチブライトあたりで磨いて
中性洗剤で洗って、純水につけて、
アセトンで超音波かければOK
チャンバー自体も、磨いて
丁寧にアセトンで拭けばOK
どう考えても、体に悪いので、
若い連中にやらせる方向で
0632名も無きマテリアルさん
2006/05/27(土) 16:15:12VIPA：磯プロピル有るコール (磯プロパノール)
0633名も無きマテリアルさん
2006/05/27(土) 18:57:17アセトンって使うと目が痛くならない？
スパッタの話をしているんだよな？
0634名も無きマテリアルさん
2006/05/27(土) 19:19:02馬鹿？
0635名も無きマテリアルさん
2006/05/27(土) 23:44:33昨日アセトンでやってみて、今ベーキングしているところです。
0636名も無きマテリアルさん
2006/05/27(土) 23:58:000637名も無きマテリアルさん
2006/05/28(日) 13:30:35アセトンは揮発性の溶剤で人体に余り良くないよ
俺はアセトン拭きする時は必ずマスクを装着していたが
0638名も無きマテリアルさん
2006/05/28(日) 19:03:05マスクは吸収缶タイプじゃないと意味ないよ。
布マスクとかだと。
0639名も無きマテリアルさん
2006/06/03(土) 10:47:030640名も無きマテリアルさん
2006/06/18(日) 20:26:24グリッドにタングステンの酸化物がびっしり付いてる状態じゃもうダメなのかな…
0641名も無きマテリアルさん
2006/06/22(木) 12:37:42まぁ俺は吸いまくってるけど
0642名も無きマテリアルさん
2006/07/02(日) 13:25:22それは本当でしょうか？
0643名も無きマテリアルさん
2006/07/02(日) 14:52:350644名も無きマテリアルさん
2006/07/09(日) 13:24:100645名も無きマテリアルさん
2006/07/09(日) 23:09:13バックポンプがＲＰだったらあんまし変わらんと思う
0646名も無きマテリアルさん
2006/07/12(水) 23:35:410647名も無きマテリアルさん
2006/07/18(火) 09:24:49で検索すると
真空とび膝蹴り・・という本が最初に出てくるんだよ
絶対、洒落で入荷してるよ
0648ご冗談でしょう？名無しさん
2006/07/18(火) 23:20:090649名も無きマテリアルさん
2006/07/19(水) 18:49:24グラム数チェックするし。
0650名も無きマテリアルさん
2006/07/25(火) 21:37:14沢村忠ナメんな
0651名も無きマテリアルさん
2006/07/26(水) 20:50:43誰か使ってる人いる？
0652名も無きマテリアルさん
2006/08/20(日) 19:43:27これってやばい？やばくない？
0653名も無きマテリアルさん
2006/08/20(日) 20:39:37大昔の RP は回転を止めると油が真空側に吸い出されるので、
停止したらリークしましょうね、ということになっていた。
TP-RP の系なんかだと RP リークはしないことも多いしね。
0654名も無きマテリアルさん
2006/08/20(日) 20:57:03それぞれにつながってるバルブは全部閉じたのは覚えがあるんだけど・・・
0655名も無きマテリアルさん
2006/08/20(日) 23:14:53逆流防止弁がついていてもポンプはリークするものだと思うんだけど…
TMP-RPの系でRPリークしないというのも聞いたことがないし．ほんと？
まあ，RP-DPの系なら最悪自分でお掃除すればいいだけなんで，
気にすることは何もないんだけど．
0656名も無きマテリアルさん
2006/08/21(月) 12:41:46どうしよ・・・
0657名も無きマテリアルさん
2006/08/22(火) 01:26:32つポット洗浄中
0658名も無きマテリアルさん
2006/08/26(土) 21:46:300659名も無きマテリアルさん
2006/08/27(日) 12:32:07今度の新型ＳＥＭはすげぇぜ！・・・って何がだよ
0660名も無きマテリアルさん
2006/09/05(火) 21:26:38昔の研究室はリボンヒーター巻いて
その周りをアルミホイルの２重にした奴で上手く密封してた
→ 3x10-11 torr
今の研究室は断熱の板で箱作ってチャンバーを密封して
中にコイルのヒーターを置く
→ 良くて10-10 torr
ぶっちゃけめんどい、密封するだけで半日仕事
チャンバーを包むのに良い板や布などないかなぁ
0661名も無きマテリアルさん
2006/09/05(火) 22:00:45うちはリボンヒーターを適当に巻き付けるだけで何もしない．
真空度は下と同じくらいだが，有機物用のチャンバーだから
そんなもんかなと思ってる．
周りに燃えるものがなければ，温度にもよるのだろうが包む必要があるのか疑問．
0662名も無きマテリアルさん
2006/09/05(火) 23:17:04サンクス、先生は「リボンヒーター使うと部屋が熱くなるので止めた」と言ってた
あと密封して、暖まった空気で暖めると温度ムラが出ないとか
でも、リボン巻き付けるだけが楽で良いんだろうなぁ
ちなみに今日、暖まりにくい部分のために、低ワット数のリボンヒーター買ったのだが
リボンヒーターって初回は空焚きして煙り出すんだったよな、忘れてた
0663名も無きマテリアルさん
2006/09/06(水) 00:28:08世の中にはベーキング機構組み込んだチャンバーっつう代物も存在するらしいが
0664名も無きマテリアルさん
2006/09/06(水) 10:13:09さてどこまで下がるかな♪
このひとときの楽しみの為、
アルミホイル巻きも苦にならないw
0665名も無きマテリアルさん
2006/09/07(木) 03:49:12ゲートバルブ交換で改善されてっかなー
0666名も無きマテリアルさん
2006/09/11(月) 22:26:25もう一度真空待ちのという一時を味わいたい。
0667名も無きマテリアルさん
2006/09/12(火) 00:43:24もうそろそろ古いので買い替えの話が上がってて
オイルフリーのターボ分子P・クライオPの組み合わせで考え中。
メンテナンスってオイル交換ないから楽かな？
0668名も無きマテリアルさん
2006/09/13(水) 01:22:47結局必要最低限で一番安いポンプ買うことになるのさ｡･ﾟ･(ﾉД`)･ﾟ･｡
0669名も無きマテリアルさん
2006/09/14(木) 15:23:34せっかく10^-7 Paいってるチャンバーを開けたくないなー
作業する間、部屋全体を真空にしたい (・ω・｀)
0670ぼるぼん
2006/09/14(木) 20:41:07もう絶対開けるな、もったいない。
0671名も無きマテリアル
2006/09/17(日) 09:56:12低真空？中真空？まったくど素人なので、お願いします。
0672名も無きマテリアルさん
2006/09/17(日) 16:04:51あー真空あがんね…
0673名も無きマテリアルさん
2006/09/17(日) 21:17:47真空度どれくらいが目標なんでしょう？
0674名も無きマテリアルさん
2006/09/17(日) 22:10:20まぁ、ほとんど初焼きに近いんで、厳しいかもしれないです。
ただいま7E-6Pa＠120℃。
台風も来てるしそろそろ降温始めるか。
0675名も無きマテリアルさん
2006/09/17(日) 22:23:01訂正。
目標は-8乗Pa前半です。
0676ご冗談でしょう？名無しさん
2006/09/28(木) 23:08:34漏れが、卒研の時の奴だよな。
0677名も無きマテリアルさん
2006/10/04(水) 20:17:22アルミのフランジに傷を付けてしまい、リークが直りません・・・・
スコッチブライトで磨いてもダメ、微小にリークするのです。
何使ったら綺麗さっぱりなおりますか？
0678名も無きマテリアルさん
2006/10/05(木) 00:51:42エッジを使わずにシールするIPDガスケットとかいうものがあったりします
（私も使ったことは無いのですが・・・）
http://www.sev-vacuum.com/j_contents/products/cf_g/ipd.html
ちなみにアルミフランジ（アルミチャンバー）をどういった装置に
使ってらっしゃるのか興味があるんでもし差し支えなければ教えてください
（ULVACはアルミフランジの製造終了したらしいですね・・・）
0679677
2006/10/05(木) 20:22:49レスありがとうございます。
搬送室がアルミで、ふたのシール面を傷つけてしまったんです。
リンク先のガスケットは使ったことがありませんが、今使っている物と交換って訳には
いかないですよね？
それに、シールする面の傷をなおさないと、どのみち使えないでしょうから・・・
0680名も無きマテリアルさん
2006/10/06(金) 11:31:52#400→#800→＃1200→#2000→仕上に金属研磨剤
0681677
2006/10/07(土) 12:14:17れすありがとうございます。
結局研磨剤で鏡面仕上げにしてやらんとダメですか、でもコンパウンド使っちゃうと
なかなかデガスが止まないので、出来るだけ使いたく無かったんですよね。
で、結局研磨剤入りのゴム（細目）でO-リングに当たる面にそって磨いて終了しちゃいました。
アルミは難しいです。
みなさんありがとうございました<(_ _)>
0682名も無きマテリアルさん
2006/11/10(金) 20:30:25強い電磁波で。
他にも。
0683名も無きマテリアルさん
2006/12/19(火) 21:51:0919:51:処理室のSIPを切る
19:52:イオンガンのデガス開始
20:00:ArスパッタのためArガスを暴露開始
20:03:TMPの回転が急に落ちる，NIG異常停止（４乗代より悪い）
20:10:TMP復活
20:15:NIG７乗代へ
20:20:Qマスに水のピークが…。しかもArのピークの比じゃなく多い
20:25:NIG８乗代へ
21:30:NLG ９乗代前半へ
21:40:イオンポンプ再生
21:45:９乗代後半まで真空度が悪くなるもイオンポンプの
ゲージは安定→ゲートバルブ閉鎖←今ここ
0684名も無きマテリアルさん
2006/12/19(火) 23:17:24なにはともあれ復活おめ？（まだか）
0685名も無きマテリアルさん
2006/12/19(火) 23:39:26論文（プロシー）締め切り１ヶ月前の追い込みの時期にショックだよ。
油逆流とかしてないとうれしいんだが…。
ちなみに現在2.93×10^-11[torr]TMPの回転が急に落ちた原因は
TMPのリークバルブに足があたったことによるみたい。
TMPは罵詈案製、しかも新品の３５０。TMPをLS（３６KRPM）にして空気を入れて止める直前に
TMPのリークバルブを指で押してみると、TMPの回転数が落ちだすし…。
こんなことは初めてだ。（トランスファーロッド操作時に足が近くにくるので
前々から危険とは思っていたんだが）
>なにはともあれ復活おめ？（まだか）
TMPだけで1×10^-9までいったんで、SIPのみで引いた状態で
このくらいまではいくだろうが、問題は3×10^-11まで引くかどうかだ。
9乗代でSIP動かしてるからゲージもけっこうヤバソウだしもう泣きそう。
素直にベイクというのが王道っぽいんだが、いったん大気開放するといろいろな
パラメータが変わるからやりたくないし。（４乗まで悪くしたらいろんなもんデガスせんと
不味い気もするが）
0686名も無きマテリアルさん
2006/12/20(水) 00:08:49まあ，自分は -9乗までしか知らない人間なのであとはよくわかりませんが，
単純ミスする時は寝たほうが良いよとだけ言っとく．
0687名も無きマテリアルさん
2006/12/20(水) 01:11:29TMP←→ロータリー
と接続してるので、TMPの回転が止まると超高真空側とロータリー
側が直繋ぎに近い状態になり、ロータリー側から超高真空側に油が
入り込むのではないかと…。最近ロータリーの引き悪いし。
一応フォアラインとラップはかましているが…。
＞単純ミスする時は寝たほうが良いよとだけ言っとく．
確かに。
というか、ロータリーにフォアライントラップを接続する部分の
ネジも緩んでいて、フォアライントラップが勝手に動き出すし…。
どういう管理のしかたをしてたんだ管理者は…。
って俺か。
0688名も無きマテリアルさん
2006/12/20(水) 01:30:07TMPが停止した原因がリークバルブからの気体の進入なら
TMPの側の方がロータリー直後よりも真空度が低いはずだから
油は上がってこないかなあと．
なんか自分の認識の甘さを晒してる気がしてきたので退散．
0689名も無きマテリアルさん
2006/12/20(水) 01:56:06確かに。俺がどうかしていた。
というかまじ泣きそう。
今1.73×10-9トル
>>685の値はミスで
2.93×10-9トル
したがって１時間で1×10^-9トルぐらい引いてる。
イオンポンプでorz。
0690名も無きマテリアルさん
2006/12/20(水) 18:46:05強い電磁波で。
他にも。
0691通りがかり
2006/12/25(月) 13:34:36Q-Massの値で、かなり現状が分かるはず、水や酸素や窒素や二酸化炭素などが入っているはず。
クラッキングパターンを考慮すれば、オイルが入っているかどうかも判断できると思う。オイルが
入っていたら泣くだろうが、私だったら時間が無いときに水が入った段階で泣きそうになる。
しかし、９乗まで引けているのなら、大して汚れていないような気がする。私だったら素直に、
真空引きをしたまま注意深くあちこちをメンテして（くれぐれも事故のないように）、その後
１日くらいベーキングするが、いかが。検討を祈る
というか、もしかしてQ増すの性能が悪いとか？？？
0692天ノ川 創
2006/12/25(月) 15:41:170693名も無きマテリアルさん
2007/01/03(水) 19:15:440694名も無きマテリアルさん
2007/03/14(水) 23:07:39もう超高真空装置なんか扱わないモンねー！！！！！
0695名も無きマテリアルさん
2007/03/24(土) 23:18:44俺も卒業してもうすぐ2年たつが
ちっとも真空度あがらんしちょっと蒸着するとすぐ真空度悪化するし、
厄介な装置だったなぁ
・・・てかこのスレ息長いな。
俺が研究室入った時にはもうあったし、Ｍ出て2年たってもまだ残ってる。
0696名も無きマテリアルさん
2007/03/26(月) 02:08:07そのうちまた無性にベーキングしたくなる時が来ますよ
0697名も無きマテリアルさん
2007/03/26(月) 23:40:27ははは…おっしゃるとおりです。
真空装置とか液体窒素とかが懐かしいなー。
TMPの起動音とかさ。
0698名も無きマテリアルさん
2007/03/28(水) 20:39:560699名も無きマテリアルさん
2007/05/10(木) 01:14:03あーーーーーーーーーーーーーーーーーーー！！「ｒｔｆｇｙふいｊこｌｐ；「
0700名も無きマテリアルさん
2007/05/10(木) 01:22:200701名も無きマテリアルさん
2007/05/21(月) 03:03:0030年ぐらい前のEBEなんだけどTMP使って10^-3[Pa]位で蒸着してますｗｗｗ
0702通りすがり
2007/06/07(木) 15:03:29真空断熱容器とか、チャンバーとか。。
ウチのを使った事あるヤツいるかもね。
0703701
2007/06/08(金) 02:18:27大阪真空？
0704名も無きマテリアルさん
2007/06/08(金) 18:42:14いまどき日電とは言わないですが、その社名になれていると言うことは
真空待ち歴が長いのですね。
0705701
2007/06/10(日) 09:44:580706名も無きマテリアルさん
2007/06/11(月) 01:55:510707名も無きマテリアルさん
2007/06/11(月) 18:58:34「めくらフランジ」とか普通に使ってるね
ちょっとビックリした
0708名も無きマテリアルさん
2007/06/11(月) 23:10:20ところで、高真空にして蒸発源とかつかって成膜している方いますか？
低レートでどこまで低くレートを抑えて飛ばしたことあります？
今せいぜい０．０５Å／SECぐらいが限度なんですよ。この１０分の１とかやるには
どうしたらいいんでしょうか？
0709名も無きマテリアルさん
2007/06/12(火) 00:25:260710名も無きマテリアルさん
2007/06/12(火) 20:50:32まぁ、普通は高レートで低真空とかでガンガン成膜っていうのが主流なんでしょうけれど、
私のやってるのは常にコレばっかりなんですよね。
でも、割と最近のデバイスのつもりですよ。
0711名も無きマテリアルさん
2007/06/12(火) 23:28:230712名も無きマテリアルさん
2007/06/13(水) 01:34:120713名も無きマテリアルさん
2007/06/13(水) 22:34:15レスありがとうございます。
はい、確かに蒸発源からの距離を伸ばすのも手なのですが、膜厚センサーの位置も
基板の位置も変えられず、殆どセンサーのノイズを減らすだとか、その手の地味な事を
延々やらないとダメなのかなって感じています。
手っ取り早いのは、レートコントロールしている側で、ノイズフィルターを強力にかけてしまう
事だろうけれど、それをやりすぎると、材料が飛んでいるのか、ノイズを拾っているだけなのか
よーわからん、ってことになってしまいそうなので、出来ればその他の工夫で何とかしたいのですよね。
なかなかこの手のノウハウは、教えてもらえないので困っていますが、地道に見つけていくしか
ないのかな・・・・・
0714名も無きマテリアルさん
2007/06/13(水) 23:12:09ソース－基板間距離を出来る限りのばし、膜厚センサーはソース近くにする。
あとはツーリングファクターで合わせればOK！
ってのはだめ？
0715名も無きマテリアルさん
2007/06/14(木) 07:50:13レスありがとうございます。
＞ソース－基板間距離を出来る限りのばし、膜厚センサーはソース近くにする。
その辺は基本ですね。基板間距離のだいたい３分の１程度にしてあります。
ただあんまり近いと、分子線セルなんかだと熱すぎて熱の影響か、ノイズっぽくレートが
見えてることもあります。と言うことはもっと冷やせって事なのかな。
Toolingであわせる、というのは表示値が実際の１０倍で見えるようにしてコントロールするって
いう奴を既にやっています。
それじゃ１００倍にすれば目的達成できるかっていうと、ノイズも増幅されるのでちょっと
一筋縄ではいかないのですよね。
メーカー取説を読んでも、あまりつっこんで書いていないのですよね。
色々いじってみたいと思います。
0716名も無きマテリアルさん
2007/06/14(木) 19:03:38もしや膜厚計はU社？
0717名も無きマテリアルさん
2007/06/14(木) 23:14:02いいえ、その会社じゃありません。
オシレーターがちょっと・・・・・あと、会社そのものが好きじゃないので。
これを言い出すとキリがないので止めますが。
といっても、他社も性能的に似たようなモノだと思っています。
でも、膜厚計を用いた蒸発源なんて、結構昔からあると思うんですけど、それでも
未だにきちんと解決していないことがあるって言うのも変だなって思いますｗ
0718名も無きマテリアルさん
2007/06/21(木) 00:19:050719名も無きマテリアルさん
2007/06/26(火) 18:57:350720名も無きマテリアルさん
2007/06/26(火) 21:41:510721名も無きマテリアルさん
2007/06/26(火) 22:24:34いやいや、以外と再生できるんですよ。
それに、１０枚セット１万円ぐらいするじゃないですか。消耗品扱いではありますが、
大事に使えば結構使い回せますよ。
0722名も無きマテリアルさん
2007/06/27(水) 01:27:21基板自体を傾けるとか。89度傾ければ成長レートは約100分の1に ・・・理想的には
0723名も無きマテリアルさん
2007/06/27(水) 14:27:58うちのバカはもう４枚割ってますｗｗ
0724名も無きマテリアルさん
2007/06/27(水) 22:12:59というか，どんな状況で割るんだろ．取り出す時？
0725名も無きマテリアルさん
2007/06/28(木) 23:24:13あぁ、そんなこともやれそうですね。
ただ膜厚分布は捨てられないし、Host材は普通に１Å／SEC程度で飛ばしたいし。
傾けて基板回転とかしたら分布取れるかもしれないなぁ、色々聞いてみるモノです。
ありがとうございました。
0726名も無きマテリアルさん
2007/06/30(土) 14:47:30どこまで真空に引けた？
0727名も無きマテリアルさん
2007/07/04(水) 00:03:50拭くときと、振動子を固定するキャップぎっちり締めすぎて粉々にしてたｗｗｗ
0728名も無きマテリアルさん
2007/07/26(木) 14:35:480729名も無きマテリアルさん
2007/08/04(土) 11:31:35ある大きさの容器内、この場合１立方メートルとする、
この容器を水に付け底に穴を開けたら、水が半分入ってきたとすると、水が入る前は、何Paなのでしょうか。
できれば、式もお願いしたいのですが。
よろしくお願いします。
0730名も無きマテリアルさん
2007/08/04(土) 12:25:370731名も無きマテリアルさん
2007/08/04(土) 12:56:080732名も無きマテリアルさん
2007/08/05(日) 00:28:30これでいいかは分からないけど・・・・
水が半分入ってきたと言うことは、半分入ってきた所が大気圧と釣り合ったって事でいいのかな。
あとは状態方程式に数字入れたら終わり。
あとは適当にググればwikのリンクが出てくるだろうから、それ見てね。
0733名も無きマテリアルさん
2007/08/05(日) 10:30:03検索してみます。
0734名も無きマテリアルさん
2007/08/06(月) 23:07:510735名も無きマテリアルさん
2007/11/23(金) 19:25:05学生時代の自分の書き込みが残ってるｗｗｗ
0736名も無きマテリアルさん
2007/12/01(土) 05:05:20試料落としちゃったんで大気開放して
いまベーキング中orz
0737名も無きマテリアルさん
2007/12/24(月) 06:55:310738名も無きマテリアルさん
2007/12/24(月) 10:42:39交換室の中にプレゼントが入っていなかったかい？
きっと忙しいサンタが開けっぱなしにして、次の家に行ってしまったんだよ。
プレゼント、水の壁面吸着だけど。
0739名も無きマテリアルさん
2007/12/26(水) 07:38:09おかげで、年末年始・・・終わったな。
0740名も無きマテリアルさん
2007/12/30(日) 06:34:380741名も無きマテリアルさん
2008/02/10(日) 17:38:23どうしたらいいですかね？
0742名も無きマテリアルさん
2008/02/10(日) 18:39:31チャンバー排気したてなら、油煙は普通。
暫くしても油煙がでまくりなら、リークしてるんじゃないのかな。
焦げたにおいとか、そういうのありますか？
0743741
2008/02/10(日) 18:56:50ありがとうございます．
焦げたにおいとかはしないと思います．とにかく油くさい
装置を一度バラして組み上げた後だからリークかも・・・
0744名も無きマテリアルさん
2008/02/10(日) 19:05:40油くさいですか。油入れ過ぎじゃないですよね？
とにかくリークしているのなら、リークしている箇所を特定しないとですよ。
ディテクター繋いで検知できる領域まで排気できますか？ダメなら音と
アルコール（かけて良いところのみ）で探しましょう。
案外ガスケット入れ忘れとか、そんなモンだと思いますよ。
0745431
2008/02/11(月) 14:08:28それにしても卒論が終わらない・・・
0746名も無きマテリアルさん
2008/02/11(月) 20:40:49実験終わってないんならひたすら実験あるのみ～
最近の学生は徹夜をしなくなったそうな。
0747名も無きマテリアルさん
2008/02/11(月) 21:02:03なおってよかったですね。
でも、増し締めして治ると言うことは、その箇所にも寄りますけど、リークの原因を
取り除いたことにならないかも知れません。
落ち着いた後でいいですから、ちゃんとシール面を見ておきましょう。
0748名も無きマテリアルさん
2008/02/16(土) 02:38:53無理・無駄・ムラをなくすよう、マネジメントできるのが生産性を上げる秘訣。
できてないのに最後に徹夜もしないやつはアレだが。
0749名も無きマテリアルさん
2008/02/16(土) 21:13:44徹夜は美徳じゃない。健康に良くないし、さくっと終わらせて変えるのがベスト。
ただ、どうしても間に合わなくて、渋々徹夜はあるな。ここんところ１週間に１回のペースで
徹夜だ・・・・そのうち死ぬだろなｗ
世の中にはもっとしんどい仕事をしている人がいるのを知っているけど、それでも自分には
コレがいっぱいいっぱい。真空の仕事はこんなんばっかり。
0750名も無きマテリアルさん
2008/02/16(土) 21:37:49私の立ち上げ装置、なんとか頑張って７乗Pa・ｍ３/SECがやっとです。
0751名も無きマテリアルさん
2008/03/20(木) 09:40:42掲載・更新：3/19(水)
新製品の装置保全のしくみをイチからつくるキヤノンの新会社「SED」の募集です。
キヤノンが独自開発した薄型ディスプレイ「SEDパネル」。
ブラウン管と同じ原理を用いた「SED」は、これまでにない高画質を実現した、まさに次世代のディスプレイです。
キヤノンは2004年にSEDを専門に開発・生産を行うSED株式会社を設立、本格的な量産化に向けた準備が進められています。
新製品の装置メンテナンスのしくみを立ち上げる大仕事に携わっているのが、
SED株式会社・開発生産本部のメンバー。
24時間稼動し続ける製造装置のメンテナンスを担う装置保全課では、
量産化に向けて組織体制を強化すべく、新たに人材を迎えることになりました。
世の中にない、新しいデバイスの誕生に関わりたい方をお待ちしています。
仕事の内容 ディスプレイ製造装置(含むＦＡ)トラブル対応・メンテナンス
【具体的には】
ディスプレイ量産ラインで使用される、製造装置のトラブル対応、メンテナンスをご担当いただきます。
・特にPDP・LCD・半導体製造工程に関する経験者を歓迎しております。
・製品問わず、量産ラインにて製造装置のメンテナンス業務の経験をお持ちの方を歓迎します。
・現在、ＳＥＤパネルは試作フェーズの段階にあります。
マシンコンディションをどれだけ安定・向上させられるかが重要なカギです。
キヤノン株式会社の転職・求人情報／リクナビＮＥＸＴ[転職サイト]
http://rikunabi-next.yahoo.co.jp/rnc/docs/cp_s01800.jsp?rqmt_id=0005580709
ついにSEDの本格的な量産体制が整ってきたようだな。
55インチのSEDが発売されれば、有機ELテレビの出る幕がなくなる。
0752名も無きマテリアルさん
2008/05/28(水) 00:49:160753名も無きマテリアルさん
2008/05/31(土) 17:49:01たぶん直らないと思う
0754名も無きマテリアルさん
2008/06/06(金) 15:11:27何年前にレスしてんだよ
0755名も無きマテリアルさん
2008/06/15(日) 21:07:40５年前の俺今晩は
では、また５年後に
0756名も無きマテリアルさん
2008/07/03(木) 19:05:08ベークしたときに焼き付いたのかな～？とおもってなんとか力ずくでフランジを開けたが、、、
止めたターボは隣のチェンバーのだった(・∀・)ｱﾋｬ!
ターボがんがんに回したまま大気開放したわけ(・∀・)ｱﾋｬ!
いや笑い事じゃないんだが・・・
とりあえず慌ててターボ止めてコーヒー飲んでタバコすってここにカキコして気分を落ち着けてた
0757名も無きマテリアルさん
2008/07/03(木) 21:37:270758名も無きマテリアルさん
2008/07/03(木) 22:12:4110inchのターボを大気突入させたときはｷﾞｭｲｰいわせたが
音の大きさはそうでもなかった。
0759名も無きマテリアルさん
2008/07/03(木) 22:20:30逃げ込むくらいの音がしたらしいが，
まあ，>>756は一人で作業してる時点で50L/sとか150L/sくらいなんだろうけど
0760758
2008/07/03(木) 22:26:350761名も無きマテリアルさん
2008/07/05(土) 12:05:10落ちると音は小さくなるよ。
やりすぎに注意ね。大気突入すると、ちゃんとコントローラーでやっちゃった回数記録してるから。
0762名も無きマテリアルさん
2008/08/17(日) 13:39:467年前
今2008年だよ
そんなこともわからんのか？
0763名も無きマテリアルさん
2008/08/23(土) 17:34:25アークは腕が疲れるからやだな
0764名も無きマテリアルさん
2008/08/31(日) 16:25:35何もかも装置ぶっ壊して
しにたくなる
0765名も無きマテリアルさん
2008/09/01(月) 01:42:160766名も無きマテリアルさん
2008/09/10(水) 03:04:30ポンプもヤバいかも…
0767名も無きマテリアルさん
2008/09/10(水) 10:17:190768名も無きマテリアルさん
2008/09/11(木) 02:12:14おつ・・・でもじっとしてても鬱になって装置ぶっこわしたくなるんなら
丁度よかったじゃん？ｗって764=766ではないか
0769名も無きマテリアルさん
2008/09/11(木) 02:43:57回転数の落ちる音にドキッ。すぐにバルブを閉めたけど…。
明日もいつも通りに動いてくれますよーに！
0770名も無きマテリアルさん
2008/09/12(金) 22:44:110771名も無きマテリアルさん
2008/10/18(土) 02:22:310772名も無きマテリアルさん
2008/10/18(土) 23:54:24やっちゃったか、で、復旧した？
デフュージョンポンプなら油変えないと、TMPなら壊れてないか見ないと。
0773名も無きマテリアルさん
2008/10/19(日) 00:30:31ディフュージョンで大気突入→オイル交換は初耳だ。
0774名も無きマテリアルさん
2008/10/19(日) 02:13:48ターボは羽が割れてパリパリ聞こえるんだっけ
0775名も無きマテリアルさん
2008/10/20(月) 02:21:39TMPだから修理だわ。
ああ欝だ…
0776名も無きマテリアルさん
2008/10/20(月) 05:15:400777名も無きマテリアルさん
2008/10/21(火) 02:57:000778名も無きマテリアルさん
2008/10/21(火) 08:44:14TMPでもとりあえず再立ち上げしてみたら？
最近のは丈夫だから、回ってる最中にケーブル断線とかなかったら、大概大丈夫だよ。
0779名も無きマテリアルさん
2008/10/21(火) 17:44:02回答書をメーカからもらった俺が来ましたよ。
ただし、その数値はメーカの保証値ではないという但し書き
有り。
ポンプの大きさや軸受の種類にも大きく依存すると思われ。
0780名も無きマテリアルさん
2008/10/22(水) 21:26:220781名も無きマテリアルさん
2008/10/22(水) 21:49:09回答もらったってことは，一回大気突入やったってこと？
そのときポンプどーなった？
0782名も無きマテリアルさん
2008/10/23(木) 11:36:48上流側で小さいO-リングが熱でお逝きになられて大気突入～でした。
4inchのターボでは大した音もせず、気付いたらフリーラン状態。
どちらの場合も、次に動かした時は普通に起動したし、真空も問題なく引けた。
で、実際にはどうなんだろうwwwと思って問い合わせた次第です。
今までオレンジ色に光っていたプラズマ(Neガス)が急に白っぽくなって
あるぇ(ﾟд。)?
と思った瞬間に…。
ターボが高価だとは聞いていたのて、そん時はﾏｼﾞ焦った焦ったw
何せ4inchのサイズのチャンバを10inch2本パラレルで引く装置でしたから…。
0783名も無きマテリアルさん
2008/10/28(火) 23:31:23なるほどｗｗ
わざわざ答えてくれてありがと，勉強になりました！
0784名も無きマテリアルさん
2008/10/30(木) 23:38:060785名も無きマテリアルさん
2008/12/12(金) 13:02:320786名も無きマテリアルさん
2008/12/12(金) 21:48:030787名も無きマテリアルさん
2008/12/13(土) 21:48:22真空破壊できなくなると、なぜTMP逝ったことになるの？
0788名も無きマテリアルさん
2009/01/31(土) 18:42:14腕が落ちた気がするぜ
0789名も無きマテリアルさん
2009/02/01(日) 12:07:520790sage
2009/04/22(水) 22:47:23パネル上にエミッション電流の設定を変更する箇所（12と1.2）があるのですが、
12と1.2の使い分け方を御教授頂けないでしょうか。
当方、意味も分からず1.2に設定して使用していました・・・
取り説読んでも、よく分かりません。
どうぞ、おねがい致します。
0791名も無きマテリアルさん
2009/04/24(金) 01:25:440792名も無きマテリアルさん
2009/04/28(火) 00:26:45NI-10D な。ゲージ球によるんだが、UGD-1S なら 1mA で使うのが普通なので、
ツマミは 1.2mA、目盛を 10 に合わせるのが一番普通。
特殊な用途でエミッション電流を変えたいときに使うこともあるんだが、
圧力示度がそれに応じて変わるので要注意。実は単にエミッションに比例する
わけでもないっつーところもあって、結構いろいろ難しい。普通はあまり
悩まずに 1mA で使っていればよろしい。
0793名も無きマテリアルさん
2009/05/18(月) 15:34:200794名も無きマテリアルさん
2009/05/18(月) 20:43:25デフュージョンポンプから買い換えたのですね、わかります。
0795名も無きマテリアルさん
2009/05/26(火) 01:30:300796名も無きマテリアルさん
2009/05/28(木) 23:21:470797名も無きマテリアルさん
2009/05/30(土) 01:30:010798名も無きマテリアルさん
2009/05/30(土) 19:00:04１年はもつよ。
それ以上はしらん。デガスを暇つぶしに連発すると切れやすいかも。
チャンバーベントの際にちゃんとフィラメント切ること、メインバルブ開けてから
一呼吸開けてフィラメントオンするのを守れば、早々切れませんよ。
0799797
2009/05/31(日) 22:43:02ありがとうございます。
「一呼吸」ってのが難しいですね。
0800名も無きマテリアルさん
2009/07/26(日) 06:45:42真空待ちなんてしたこと無いけどシミュレーションの計算終了待ちみたいなもんなのかな
0801名も無きマテリアルさん
2009/07/26(日) 10:26:48実験屋は、真空引けてからが実験本番！
0802名も無きマテリアルさん
2009/07/28(火) 16:10:020804名も無きマテリアルさん
2009/07/28(火) 23:04:15ちゃんと取説読みましょう、貴方の安全のためにもね。
TMPがオンできるのは、２次側排気が大体10paとかぐらいじゃないかな？
広域型だともっと上でもOKだけれど、起動するときは排気がちゃんと終わってからの
方が安全ですよ。
８０３みたいにやると、壊れるかアラーム出して止まります。
壊れ方によっては、生死に関わるのでまねしないでね。
0805名も無きマテリアルさん
2009/07/28(火) 23:27:18兼ねているポンプ構成も無くはない(4inくらいのサイズ)。
そういう時は10^3PaオーダからTMPを回し始めても問題無い。
0806名も無きマテリアルさん
2009/08/17(月) 22:56:210807名も無きマテリアルさん
2009/08/18(火) 00:08:58先生にバレたらメッチャ怒られるな。
0808名も無きマテリアルさん
2009/08/18(火) 00:30:500810名も無きマテリアルさん
2009/08/30(日) 21:14:44２時間くらいかな。めんどいなぁ。
0811名も無きマテリアルさん
2009/09/02(水) 11:57:56１００Pa圧力違う部屋をつなげてもいい？
装置によるかな・・。
0812名も無きマテリアルさん
2009/09/02(水) 21:47:50yes
0813名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 21:16:35メインポンプの排気能力が違えば逆流してくることもある。
100paの圧力差で開閉できるバルブでチャンバー間を仕切っているか、確認しよう。
0814名も無きマテリアルさん
2009/09/20(日) 14:48:120815名も無きマテリアルさん
2010/01/22(金) 23:21:020816名も無きマテリアルさん
2010/01/23(土) 22:18:02毎回微妙にレスがついてるこのスレが好き。
さて、ベーキングもうすぐ１５時間目。。。
0817名も無きマテリアルさん
2010/02/16(火) 19:47:34http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0620100216hhaf.html
【京都】
コーデンシ（京都府宇治市、中嶋郭和社長、０７７４・２３・７１１１）は、微小空間の真空度を測定できる０・８ミリメートル角チップ素子「マイクロ真空計」を開発した。
測定対象となる空間内部の気圧を計測し、気圧が低ければ真空度が高いと判断する。真空封止が必要なジャイロセンサー類の真空度評価に利用を見込む。
すでにサンプル出荷を始めており、需要拡大が見込めれば本格生産も検討する。
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）技術を使って、小型化した。
低い真空度を示す高気圧下の場合に熱が逃げやすくなる関係を測定原理に応用。
素子に内蔵した超小型ヒーターで測定空気を加熱し、真空度が下がると温度維持に必要な電力が大きくなるなどの性質を利用して気圧を割り出す。
測定下限は０・１パスカル付近まで対応できる。
0818名も無きマテリアルさん
2010/02/16(火) 23:51:38>>817
0.1Paか。CVDに使うには中途半端な圧力だが…。
電離真空計と併用してバラトロンの代替として使うんだったら…精度次第だな。
まぁ、バラトロンも決して精度がいいとは言えないが。
ペニングよりはマシだろうか？
0819名も無きマテリアルさん
2010/02/24(水) 02:40:02３０分またなければいかん。これが深夜だから早く帰りたいのにめんどくさい。
0820名も無きマテリアルさん
2010/02/24(水) 20:43:490821名も無きマテリアルさん
2010/02/24(水) 22:55:01ＤＰって拡散ポンプの事？
クライオうちで買ってください、取り替え工事もやらしてください。
■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています