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PZT誘電体のエッチングについて

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0001takeoneNGNG
PZTのエッチングに有効な方法はないでしょうか？
ウェットエッチングに限ってなんですが・・・。
（フッ化水素、硝酸、王水、水酸化アルカリ試したんですがまるでだめ・・）
0002名も無きマテリアルさんNGNG

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0003元セラミック家NGNG
>1（フッ化水素、硝酸、王水、水酸化アルカリ試したんですがまるでだめ・・）
まるでダメって全然エッチングされないってことかい?
PZTのエッチングにフッ素系の酸使ってたことあるけど、１分くらいで
やめとかないと表面ボロボロになっちまったぜー。
詳しく知りたかったらメッキ屋に聞いてみたらどうかな?
0004SCEDNGNG
>1 （フッ化水素、硝酸、王水、水酸化アルカリ試したんですがまるでだめ・・）

フッ酸に少しばかり硝酸をたらして（フッ硝酸ですね）、試してみてください。
バルクで試したことはありませんが薄膜ではきれいに溶けていきます。
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