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Cu配線&Low−k

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0001NGNG
Cu配線、Low−kについて熱く語ろう!
どの会社が進んでいるか?ベンチマークできたら面白いな。
0002NGNG
SiLKって名前は聞くんだけど、どんな構造なの?
0003名も無きマテリアルさんNGNG
ほぼ同じ内容スレあるのに新スレ立ててしまったのね。
まあ銅配線も含んでいるようだし良いか。

「誘電率」VS 「空孔」
http://mentai.2ch.net/test/read.cgi?bbs=material&key=982768386
0004NGNG
>3
Low-kだけですねぇ。
しかも、SiLKの内容について触れられてないし・・・
商標なのは知ってるけど。
0005名も無きマテリアルさんNGNG
構造って物理構造のこと?
化学構造のこと?

物理構造は>>3のリンク見れば大体判るよね。
化学構造式を知りたいの?
0006NGNG
化学構造ですね、興味があるのは。

物理構造も、いまいち分かってないっす。
空孔が存在するんですか?
高分子ならフリーボリュームが大きくなるような
分子構造にしてるのかな?って思ったのだけど・・・
フリーボリュームと空孔の違いにたいして理解度が低いので、
分かる人に解説してほしい。
0007名も無きマテリアルさんNGNG
アプライドのSiOCがいいって聞いたけど・・・
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