最近落ちてるのでageついで

>>119
金属塩溶媒に溶かして基板に塗ったくって、
乾燥させた時にゾルーゲル相転移してるのかなぁ。
MOD（MetalOrganicDecomposition)というのも今一ですが。

117,119>>
プリカーサーフィルムに対する処理としては
UV、電子線の他にエキシマレーザー照射、ってのもあります。
産総研（旧物質研）のグループ。
サファイヤ基板上に酸化物薄膜がエピ成長するとのこと。
こういう溶液塗布タイプでエピ、という点ではチト面白い。