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金属SOI基板とは？

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0001名無しさん＠１周年

NGNG

下のスレッド理系板に立てたんですが、
結局わからなかったのでこの板で聞いてみたいと思います。
金属SOI基板とはどんなものか教えていただけませんか？

1 名前：Nanashi_et_al. 投稿日：2001/07/09(月) 11:32
トランジスタの高速動作に金属SOI基板が有効だと
言われてますが、金属SOI基板がどのようなものなのか
詳しい方教えていただけませんか？
何のために金属基板上にSOIを作ってるんでしょうか？

2 名前：Nanashi_et_al. 投稿日：2001/07/09(月) 16:59
専門外でよく分からないけど確か、酸素を加速して基板に当てて
その基板の中に酸化膜層を作るんじゃなかったっけ？
そんで能動領域を狭めることによって低消費電力に
できる（ものだったような気がする）
でもこれはただのSOIか、、、
金属って何だろ？普通半導体基板じゃないの？

3 名前：1 投稿日：2001/07/09(月) 17:17
SOIがどんなものかは、知っているんですが、
このURLのページの下の方にでてくる
金属SOI基板って一体どんなものなんでしょう？
http://ne.nikkeibp.co.jp/NE/2000/000131/kouza.html

4 名前：1 投稿日：2001/07/09(月) 17:18
金属が何に使われてるか謎なんです。

5 名前：２投稿日：2001/07/09(月) 17:47
どうでもいいけどこの研究室ドクター多いね、、
ごめん、確かに何に使われてるかわかんない。
MMICでのground planeとして使ってんのかなぁ？
金属SOI基板の構造が分からないからね、、、

6 名前：Nanashi_et_al. 投稿日：2001/07/09(月) 17:59
パワーデバイスでは放熱対策で使われる事あるけど、
普通のデバイスじゃ必要ないしねー。なんだろ。

7 名前：Nanashi_et_al. 投稿日：2001/07/10(火) 07:02
大見先生に訊いてみれば？　（...って俺も知らん）
つうか、この板に立てること自体間違ってない？
俺だったら材料・物性板か機械・工学板に立てるけど。

0002Nanashi_et_al.

NGNG

　埋め込み酸化膜の下が通常のＳＯＩ基板では、Ｓｉ基板なところを金属に
したものが金属ＳＯＩ基板といっているもののはず。Ｓｉ基板だと容量が見
えてしまうので、金属にすれば高速化できるといった話だったと思ったので
すが・・・。

0003名も無きマテリアルさん

NGNG

放熱って効果もあるのかな？
容量って寄生容量とかそういう話しかと思うんだけど
俺はよく理解してないが、その金属の（電気的？）特性
としてはどういうのが求められるんだろう。その他、
熱膨張も重要になってくるよね。

もっと具体的には、金属として何を使えばいいんだろう？

0004名も無きマテリアルさん

NGNG

ありがとうございました。
やはり、土台が金属基板なんですね。

0005名も無きマテリアルさん

NGNG

究極がそうなんだろうけど、つくるの難しそうだね。
回路の方の空気絶縁層も然り。

0006名も無きマテリアルさん

NGNG

インテルとかが研究してて、金属基板酸化絶縁膜上の薄いSi膜(SOI)だと高速なトランジスタを作れるらしい。

0007名も無きマテリアルさん

NGNG

「ｓｉｌｉｃｏｎ　ｏｎ　ｉｎｓｕｌａｔｏｒ」のことだろ？

0008名も無きマテリアルさん

NGNG

＞７
もうちょっと勉強してから、また書きこみに来てね。

0009名も無きマテリアルさん

NGNG

＞6
Intelのは所謂「Depleted substrate transistor」って
奴だと思うけど、基板、絶縁層ってそれぞれ材料は何なの？
おまけに一体どうやって造るの？知ってたら教えてちょんまげ。

0010名も無きマテリアルさん

NGNG

＞６
９だけど付けたし。
Intelのって本当に基板は金属？

0011名も無き電顕屋

NGNG

SOIっていえば、スマートカットはどうなったのかな？

0012名も無きマテリアルさん

NGNG

人工ダイヤモンドを基板にしても、高速化は可能だろ。

0013名も無きマテリアルさん

NGNG

>>9-10
Intelのって金属じゃないっぽいよ。

>>6
もし良かったら金属だって判断した理由を教えて。

0014名も無きマテリアルさん

NGNG

＞９
基板はもちろんシリコンさ。
絶縁層は知らん。

0015名も無きマテリアルさん

NGNG

↑
９だけど、「もちろんシリコン」だったらスレ違いじゃん。
あなたは６さんではないのかな？

001614だが

NGNG

Inteで扱っているSOIのことを言ってるのさ。
すれ違いならスマソ。

0017名も無きマテリアルさん

NGNG

>>12
インテルのは、Si基板上で酸化絶縁膜、Si膜、ZrO2ゲート絶縁膜で、
各社Si膜上下の酸化絶縁材料の、さらに高速で、低漏れ電流、
つまり低発熱で低消費電力な材料を研究してて、ゲート長16nm程度で
スイッチング時間が0.5ps以下程度と非常に高速。
ダイヤモンド基板では、それほどの高速は無理では。

0018名も無きマテリアルさん

NGNG

絶縁層の部分がSiO2でなくAlO3のものがあるからそれなのかも？
もしくはソース・ドレイン部分が金属のショットキートランジスターを作り込んでるのか？
気になるなぁ。

0019名も無きマテリアルさん

NGNG

>>18
絶縁層が酸化膜・Al2O3・サファイヤ・窒化膜であるもの総てひっくるめてSOI。
頭に金属をつけるくらいだからもっと別のものだろ。

0020名も無きマテリアルさん

NGNG

どうでもいいけど、シリコン並みに安くて大量に作れるものでないと
やっても意味ないと思われる。

0021Nanashi_et_al.

NGNG

久しぶりにのぞいてみたら、まだこのスレ生きているのですね。
ttp://ne.nikkeibp.co.jp/NE/2000/000131/kouza.html
に書いてあるのが、金属SOI基板でしょ。

0022名も無きマテリアルさん

NGNG

金属基板にすると半導体基板と比べて抵抗値が劇的に下がるので、
時定数が短くなるのです。SOIのばあい、活性層と支持基盤は容量
結合しており、支持基板はGNDに落とすので、結果として回路の帯
域を広げることができます。

が、この基板が使われるのは性能最優先のごく一部の製品だけに
なるでしょうな。

0023名も無きマテリアルさん

NGNG

何が痛くてしょうがないヤツだ。
いちいちいちいち荒れそうなレスをするんじゃあねーぞクズが！
こっちはなぁ、クズな厨房とクズな削除人のせいでイラついてんだよ。
ヲチスレで叩きやって怒りを治めて何が悪いと言うのだ？
目糞鼻糞だろうが、荒れないよう配慮してる分お前より上等なんだよクズが！！！
氏ね！クズが！
お前のような低脳がいるから荒らしは収まらないんだよ！
つーかな、おまえは荒らしか？　バカか？
あああああああああああ　とにかくイラつく！！！！！！！！

全部氏ねや！！！　いちいち頭の悪いまま生き延びてんじゃあないッ！！

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