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半導体プロセスの基礎を知りたいなら､少し古いが､
VLSI Technology, S.M. Sze (編集)
ペーパーバック,出版社: McGraw-Hill; ISBN: 0071003479 ; (1988/12/31)
あたりが、値段も手ごろなのでは､Siの精製からVLSIの分析評価まで一通り書いてある。