おはようございます．出勤一発目に厨房狩りをしてましたが

ECRでは主に2nd positive seriesの分子状励起窒素がでます．
まぁ周波数にですと300-420[nm]ぐらいでしょうか？

原子状の奴に比べ，lifetimeが短いような気がするんですね．ハイ
基板までの距離が稼げない ってのは結構辛いです．

ECRだとシビアにイオンによる衝突が効きます．Bias電圧を掛けたりするんですが
MBE装置を弄らなければならないので大変です．