GaNの人、来てください。
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0175●
NGNGJ.R. Mileham, et al, "Patterning of AlN, InN and GaN in KOH-based solutions",
J. Vac. Sci. Technol. A, 14, 836(1998).
とか
D.A. Stocker, et al, "Crystallographic wet chemical etching of GaN",
Appl. Phys. Lett, 73, 2654(1998).
とか
J.R. Mileham, et al, "Wet chemical etching of AlN",
Appl. Phys. Lett, 67, 1119(1995).
あたりを抑えておくと宜しいかと思います．私の所では AlがOver richで析出した場合
硝酸を使っとりますです．
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