RIEして再成長した試料やっぱ光らね〜、どうしたらいいんだぁ〜？
成長前に基板をアニールしたら効果あるかな？
その前にSiCl4ガスやから基板に保護膜ついてる気が．．．
これってどうしたら取れるんかな？