今の最先端FESEMは、dual beam FESEMです。FIBとFESEMの混合機になっていて、
EBSDをつければ（テクニックが必要ですが）組織の３次元化が可能です。ただ、高額です（二億ぐらい）
通常のFESEMだと、JSM7000Fが最近の名機ですね。ビーム電流が大きくとれ、
ビームも安定しています。