>>224
>>225

1)最表面の組成、回折コントラストを捉えるTop検出器を標準搭載
Top検出器により、低加速電圧で試料最表面の組成、回折コントラストが取得可能。
Upper検出器、Lower検出器とあわせて、試料から発生する信号（二次電子、低角度散乱反射電子、高角度散乱反射電子）
のコントラストを的確に捉えます。

2)極表面観察時の信号検出能力を強化
リターディング機能を標準搭載し、従来のUpper検出器による二次電子＋反射電子情報のコントラストだけでなく、
Top検出器による極表面情報を持った二次電子コントラストを取得できます。

http://www.hitachi-hitec.com/news_events/product/2008/nr20080723.html