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結局フッ素プラズマに一番強い素材

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0001名も無きマテリアルさんNGNG
って何よ？
0002名も無きマテリアルさんNGNG
とりあえずサファイヤ
0003名も無きマテリアルさんNGNG
レジストのこときいてるんとちがうの？
0004名も無きマテリアルさんNGNG
遅レススマソ。

質問の意味が良くわからんが、単純に文字通り捉え
ると、熱力学的に考えて、フッ素プラズマ耐性が強
いのはフッ化物に決まっておろうが。

MgF2, CaF2, NiF2, AlF3 ....
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