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「真空」について教えて下さい
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0033
shinku-
NG
NG
油拡散ポンプでメインバルブを開けたままで、チャンバーをリークしてしまいました。
これって、油拡散ポンプに非常に悪いのかな?
一応、その後も動いてくれているけど・・・大丈夫かな?
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