>211
失礼しました。単位はTorrです。

>212
とりあえず、今使っているICFガスケットで2*10^-6まで到達できたので、
しばらくはこのままやってみようと思います。ありがとうございました。

いろいろ調べてみましたが、グリスもバカにできない金額しますね・・・。


>213
締め付けトルクの管理は全くしていません。常に力の限り締めていました。
締め付けトルクの管理というものは、トルクレンチでしかできないものなのでしょうか。
そんなに大きなチャンバではないので、ホームセンターで売っているような大きな
トルクレンチは使えないと思うのですが・・・