>205
プラズマCVDなので、到達真空度は1*10^-5以上欲しいと思っています。

>208
真空グリスの紹介ありがとうございました。検討してみたいと思います。

>209
IPDガスケットを用いることで、何かデメリットはありますでしょうか。


また質問だらけになってしまいましたが、どうぞよろしくお願い致します。