返事が遅れまして申し訳ありません。

>201, 203
ガスケットが当たる方向に対して研磨するとはどういうことでしょうか。
円周状に研磨するということでしょうか。また、放射状にということでしょうか。

モリブデングリスはもう古いトレンドなのですね。他のグリスも検討してみます。

真空度が悪かったので、リークの可能性のありうる全ての箇所を締め直し、
エタノール検査をしてみたのですが、効果ありませんでした。
それで、問題はガスケット自体ににあるのではと思い、質問させて頂きました。

チャンバーベークもしているのですが、改善は認められないので原因は
反応炉内の付着物ではなさそうです。

Q-MASSは用いていませんが、フォトマルチカウンティングにて観測を
行ったところ、N2の反応が非常に高かったのでリークを疑っておりました。


>202
ありがとうございます。
チャンバ内部のグリスについて検討してみたいと思います。


ご回答頂いた皆様、ありがとうございました。
もう少し試行錯誤して原因究明に向けて努力したいと思います。