「真空」について教えて下さい
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0001taira
NGNGまた近年の動向等も教えて下さい。よろしくお願いします。
0153名も無きマテリアルさん
2006/12/06(水) 00:28:19保存状態に依存するとは思うけど…。
普通は缶で保存されてるだろうから、水やらガスやらの
吸収もたかが知れてるんじゃなかろうか。
0154名も無きマテリアルさん
2006/12/20(水) 00:12:14リークディテクターに出てくるPa・ｍ３/SECって何ですか？って先輩に来たら
Heの流量だって答えてくれたんですけど、どうしてこれで流量ってことになるんでしょうか？
ｐｖ＝nrtの左側の事を言ってるってことだったら、ディテクターはHeの個数をカウントしている、って
ことでいいんですか？
0155名も無きマテリアルさん
2006/12/20(水) 11:26:38１秒当たりの個数だから、流量でいいんじゃない？？
0156154
2006/12/20(水) 20:22:08レスありがとうございます。
自分、頭わるいんで確認しないと気がすまんのです。
１秒あたりの個数ってことは、１秒あたりにディテクターの検知する所に飛び込んできた
Heの個数ですよ、ということですね。
さらに質問なんですけど、この値からチャンバー内の、１秒間あたりのＨｅの全個数って
どうやったら分かるんでしょうか？
ディテクターにでているＰａ・ｍ３／ＳＥＣって、１秒間あたりにディテクターに飛び込んできた
個数なのだから、それは全てのHe個数って事じゃないですよね？
どうやって求めたらいいんでしょうか・・・・
もしかして、ディテクターの検知している所の容積のHe個数が分かれば、チャンバー容積
で検知部の容積を割ったのでHe個数をかければいいのかな？
ほんとすみません、あたまわるくてごめんなさい。
0157156
2007/04/25(水) 21:43:32答えを出すのに２，３ヶ月かかるって、やっぱり頭悪いなぁ・・・orz
0158名も無きマテリアルさん
2007/04/25(水) 22:02:59って高エネルギー物理屋さんは言わない？
0159名も無きマテリアルさん
2007/04/26(木) 07:37:580160名も無きマテリアルさん
2007/06/22(金) 18:21:060161名も無きマテリアルさん
2008/01/02(水) 00:12:59真空では常にエネルギーや物質が生成と消滅を繰り返している
と聞いたことがあるなあ。
例えだけど、プラスの粒が生まれたら同じ量のマイナスの粒が生まれて
全体の和みたいなものは０を保ってるとかなんとか。
素人の発想だけどプラスとマイナスに分けるのには
エネルギーはいらないのかなあ・・・？
0162名も無きマテリアルさん
2008/01/02(水) 00:39:47ここに答えが含まれているジャマイカ。
実際問題としては、本来的な生成エネルギー(E=mc^2)＋運動エネルギーを
見かけ上の生成エネルギーと考えればｲｲ。
さすれば、生成した粒子はその運動エネルギーを得て別々の途を歩むさー。
0163名も無きマテリアルさん
2009/01/22(木) 00:43:18材料とかあるの？
0164名も無きマテリアルさん
2009/01/22(木) 00:43:540165名も無きマテリアルさん
2009/01/22(木) 00:53:26今試料でNiOを使ってるんだが、ふと超音波洗浄をしてみたくなってさ
超音波洗浄をしたらOが脱離してしまうんじゃないかと思ってさ
0166名も無きマテリアルさん
2009/01/22(木) 16:27:100167名も無きマテリアルさん
2009/05/27(水) 09:33:54例えば美味しいラーメンが食べたい「ラーメンが美味しい店」なんてワードでググらない
「ラーメン レビュー ○○（所在地）近郊」とかで検索する事で精度と速度を上げる
ラーメンだけじゃなくトレンドやニュースでもそのスキルを応用可能
はっきり言ってブラウザとネット回線があれば知識的には最強状態になれる
俺の才能・・・先を見通したり物事の本質を見抜く事
情報操作されたテレビや新聞のニュースをいち早く２ちゃん等で検証して議論
タッチタイプも速い方だと思うしビールと何か食い物が傍にあれば
３時間くらいぶっ続けで同じスレッドで戦う事も出来る
ニュースだけじゃなくネットで話題になってる事件とかにも精通している
ヲチ用にSNSの捨てIDも所持しているからその気になればログインも可能
23歳
そういう力を生かせる仕事をしたい
0168名も無きマテリアルさん
2009/06/26(金) 15:45:39P1が表示されない
A4基盤やイオンゲージ交換したがまったく変化なし
業者対応だ
0169名も無きマテリアルさん
2009/06/26(金) 16:52:47どこのメーカーですか？
ｐ１とは？
0170名も無きマテリアルさん
2009/06/26(金) 21:29:31ｐ１はポンプ１〜３まであってポンプ１のこと。
ポンプの真空度（Ｔｏｒｒ）
0171名も無きマテリアルさん
2009/06/26(金) 21:30:56装置はNOV●だった
0172名も無きマテリアルさん
2009/06/27(土) 00:22:57ホントはポンプが動いていないというオチじゃ？
0173名も無きマテリアルさん
2009/07/17(金) 01:31:080174名も無きマテリアルさん
2009/09/02(水) 11:54:090175名も無きマテリアルさん
2009/09/02(水) 22:01:09ﾏﾙﾁ死ねや
0176名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 02:37:440177名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 11:24:11TMPつけたままサブのロータリを止めてしまったんだがどうすればいい？
0178名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 16:36:180179名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 16:39:110180名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 21:18:21普通にTMP止めればいいよ。
くれぐれも、ロータリー停止している状態でＦＶ開けて、ＴＭＰにＲＰからの雰囲気を逆流
させないように。どうせＲＰは油逆流しないようにベントされているんでしょ？その状態で
開けたら壊れるよ。
0181名も無きマテリアルさん
2009/09/04(金) 04:43:15ありがとうございました。
真空装置って無知だとかなり怖い物だと改めて知りました。
0182名も無きマテリアルさん
2009/09/06(日) 12:29:350183名も無きマテリアルさん
2009/09/08(火) 03:08:07そんなに怖がらなくても死にはしないよｗ
真空装置は取り扱いを間違えると、二度と使えない装置になる可能性があるので
管理者の意向に沿って使うのがベターです。
根拠と自信がないうちは勝手なことをしないように。
0184名も無きマテリアルさん
2009/09/08(火) 22:59:01チャンバが加圧されるタイプの装置が事故ったときはﾄﾞｶﾝと爆発するけど、
チャンバが真空槽の場合は、窓材が"内向き"に圧壊してくれるから、その
意味では危険性は少ないかもね。
ただ、TMPに5mmのビスでも落とし込んじゃった日には…。
ポンプのダメージだけでは済まなくなるからご注意を。
0185名も無きマテリアルさん
2009/09/12(土) 01:37:39それと、たいていのTMPには物が入らないようにネットが張ってあるでしょう。
コンダクタンスを稼ぐために俺は取るけどさｗ
0186名も無きマテリアルさん
2009/09/13(日) 19:20:17実際どんくらい変わるもんすか？
0187名も無きマテリアルさん
2009/09/14(月) 00:17:36だいたいメッシュの開口率掛ければいいんじゃない？
0188名も無きマテリアルさん
2009/11/15(日) 11:26:56真空容器の設計はｻｯﾊﾟﾘだ。
枝管はおろか、チャンバで一番サイズが大きいフランジの溶接も
内側点付・外側全周溶接じゃない。
アホか。
0189名も無きマテリアルさん
2009/11/15(日) 12:19:47超高真空といえども所詮は1気圧。
もちろんリークがあってはだめだが．．．．
0190名も無きマテリアルさん
2009/11/15(日) 16:55:16チャンバー酸洗い＆電解研磨→すすぎきれずに長時間かけてじわじわと・・・
一番やってはいけないパターン。客に見つかれば装置引き取り。
0192名も無きマテリアルさん
2009/11/22(日) 13:04:15オレの経験では、技術が必要な順に
超高圧>超高真空>高真空>高圧>低真空だな。
低真空なんて、それこそ１気圧の圧力差に耐えることだけ考えていればＯＫ。
0193名も無きマテリアルさん
2009/11/23(月) 21:10:52ただ耐えればいいなら、なんだけどね。
最近の真空装置は、真空装置内で色々ややこしいことをやりたいがために、
チャンバーをゴニョゴニョしなきゃいけなくって大変なんだよ。
事情を知らない装置屋が設計すると、産廃を納めることになる。
物事を突き詰めると、もうそれ以外はやらない方が結果としてよい。
ついていけないから。大手でもそんな感じ。
0194名も無きマテリアルさん
2009/11/23(月) 23:12:15外側から溶接指示ってﾏｼﾞあり得んと思うわ。
圧力容器が8割、真空容器が2割くらいの割合で受注してるが、真空容器
内にあるタップが完全にメクラ穴状態で、ビスも普通のナベビス指定とか
それで10^-4Pa狙って真空度到達しないからポンプの排気量増やしますとか…。
考え方間違ってる、っつか真空ハンドブックでｲｲから再読してくれ。
0195名も無きマテリアルさん
2009/11/24(火) 00:04:33そーいうことはハンドブックにゃ載ってないのよね。
真空工業会？だったか、失敗事例集があったとおもったけど、そーいうの見せればどうかな。
むかし、内面溶接してなかったからポート全部そぎ落として再溶接しろって言ったら、
どうしても無理なので両側から溶接して、外側に穴あけた。あほかと。
設計指導するのは大変ですけど、やらないとダメなの垂れ流してくるから自分でやってみたら？
俺はやってる、もうやらなきゃいけない部署がありながらすっとばしてやってる。
やらなきゃいけない部署は俺のいいなりｗ でも全然平気。お客さん喜んでるから。
0196名も無きマテリアルさん
2009/11/28(土) 08:33:05お前の事だ
脳味噌のレベルが低いって事
0197名も無きマテリアルさん
2009/11/29(日) 17:49:07でもね、あからさまにコピペで図面書いているのがわかるのよ。
大気側に使うポートの図面を、そのまま真空側にも同じ絵で描いてしまうから、失敗するとか。
理由があって線を引くということを、もっと大切にしてもらいたい。
前にいた会社、そんなことやあんなことを色々やって、装置引き取りになってたよ。
もう２度とその客からは買ってもらえなくなった。こんな事もあると分かってもらいたい。
0198名も無きマテリアルさん
2010/03/17(水) 20:59:000199名も無きマテリアルさん
2010/04/26(月) 20:09:59http://science6.2ch.net/test/read.cgi/denki/1267108759/689-
0200名も無きマテリアルさん
2010/05/21(金) 01:05:53今はフランジに銅ガスケットを用いてシールしているんですが、
Oリング＋グリスの方が真空度は良くなるのでしょうか？
また、真空機器に用いるグリスは何がいいのでしょうか。
今まではモリブデンを使っていましたが、モリブデングリスは
ある程度真空度が高くなると窒素を出すと小耳にはさみました。
本当にそんなことがあるのでしょうか。
どなたかご存じの方、ご回答頂けると幸いです。
0201名も無きマテリアルさん
2010/05/21(金) 06:42:49銅ガスケットを使い続けてください。
シール面を磨き直し、ガスケットが当たる方向に沿って丁寧に磨いてください。
出来ればコンフラットとかＩＣＦとか言われている、ガスケットに食い込むフランジなら
良いのですが。
O-RINGは仕様書をみれば分かるけど、ヘリウムの透過について書いてあります。
最も性能がよいと思うバイトンも、フランジ周囲を袋で覆ってヘリウム充填すれば、
O-RINGの太さによりますが１分程度でリークと間違うほどのリーク値を示します。
樹脂である以上、仕方のないことなのです。
それに、そもそも余計なモノを入れたくない真空装置なのですから、デガスが必ず
あるグリスは使わないに越したことはないです。
残念ながらモリブデングリスは使ったことがありません。真空に使えるグリスと言えば
フッ素系、シリコン系の２つしか知りません。でもフッ素系しか使いませんが。
しかし、どのようなグリスでもN2が出てくる以前に練り込まれた大気がデガスする
ことでしょう。
他にもグリスは種類がありますから、一度メーカーに問い合わせて用途を聞いた方が
良いですよ。
0202名も無きマテリアルさん
2010/05/21(金) 06:56:41真空内部には確かに使わない．
0203名も無きマテリアルさん
2010/05/22(土) 02:40:21すみません書き忘れていました。
そもそもリークがあるのか否かで、シール面を修正するしないが決まります。
リークしていないのならいじる必要はありません。余計なことをしてリークさせてしまい、
治らないことがあります。直すのは馴れていないと難しいのです。
全然リークが検知できない状態ならば、そのまま現状の銅ガスケットを使い続けてください。
バイトンO-RING＋フッ素系グリスに変えたところで良い方に変化はありません。
恐らく現状ベストなグリスはフッ素系でしょうが、それでもデガスに悩むことでしょう。
真空度をよくしたいのならチャンバーベークしてください。
チャンバーの構成物の中で一番耐熱温度が低い物を調べ、それ以下の温度でベークを
１日以上長く続け、ベークＯＦＦしてそのまま排気し続けてください。
使い続けている装置であれば、極端に効果はないかもしれません。求める圧力によって
この辺は変わります。
出来れば、Q-MASSを用いて、チャンバー内で何が出ているかを調べ、それによって
対策を練ればある程度は到達圧力が下がることでしょうが、計算上の到達圧力よりも
下がることはありません。よって装置メーカーの仕様を読み直してください。
0204名も無きマテリアルさん
2010/06/10(木) 21:58:00どういうことなの・・・
0205名も無きマテリアルさん
2010/06/12(土) 17:26:10可能性として
０．配線が外れている
１．校正が狂っている
２．壊れている
>>200
取り扱い真空度を記述しましょう。
既に解決しているのならよいけど．．．．
0206名も無きマテリアルさん
2010/06/12(土) 18:50:57ありがとうございます。
修理されて校正されたばかりだから壊れたのですね・・・
故障の原因はなんだろう・・・。
落としたりしてないし気がついたら表示される値の範囲がおかしなことに
0207200
2010/06/14(月) 19:24:27>201, 203
ガスケットが当たる方向に対して研磨するとはどういうことでしょうか。
円周状に研磨するということでしょうか。また、放射状にということでしょうか。
モリブデングリスはもう古いトレンドなのですね。他のグリスも検討してみます。
真空度が悪かったので、リークの可能性のありうる全ての箇所を締め直し、
エタノール検査をしてみたのですが、効果ありませんでした。
それで、問題はガスケット自体ににあるのではと思い、質問させて頂きました。
チャンバーベークもしているのですが、改善は認められないので原因は
反応炉内の付着物ではなさそうです。
Q-MASSは用いていませんが、フォトマルチカウンティングにて観測を
行ったところ、N2の反応が非常に高かったのでリークを疑っておりました。
>202
ありがとうございます。
チャンバ内部のグリスについて検討してみたいと思います。
ご回答頂いた皆様、ありがとうございました。
もう少し試行錯誤して原因究明に向けて努力したいと思います。
0208名も無きマテリアルさん
2010/06/15(火) 02:02:30円周方向に研磨する。
直径方向に研磨するってことは、パッキン面を横断する形で研磨跡が付くじゃん。
その時にもし直径方向に傷付けちゃったらどうよ、っていうこと。
円周方向に磨いてるときに傷付けちゃったとしても、傷はパッキン面だけで完結
してるからリークの恐れは無いわなぁ。
うちの会社で使ってる真空グリスはコレ↓
http://www.orange-book.com/product_msts/index/BARRIERTASUPERISV%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%202276
真空対応だけど、使いすぎは禁物。
何を使うにしてもデガスは必ず付き物だから。
0209名も無きマテリアルさん
2010/06/15(火) 03:12:300210200
2010/06/16(水) 20:50:50プラズマCVDなので、到達真空度は1*10^-5以上欲しいと思っています。
>208
真空グリスの紹介ありがとうございました。検討してみたいと思います。
>209
IPDガスケットを用いることで、何かデメリットはありますでしょうか。
また質問だらけになってしまいましたが、どうぞよろしくお願い致します。
0211名も無きマテリアルさん
2010/06/16(水) 23:07:40> 1*10^-5
単位単位！
0212名も無きマテリアルさん
2010/06/16(水) 23:53:06IPDガスケットのデメリットはICFガスケットよりも高価なこと。
特にこれといってデメリットはないような気がするけど．．．
使い回しがしにくいとか、大きなフランジの時には不安だとか
細いので曲げないように保存しておく必要があるとか．．．．そんなところかなぁ〜
あと、グリースだけどフッ素コンタミが気になるようであれば、アピエゾンというてもある。
高いけどｗ
10^-5torrであれば、信越シリコーンでも十分な気がする。手に入りやすいし。
0213名も無きマテリアルさん
2010/06/17(木) 01:13:31絶対に状況を悪化させるw
締めつけのトルク管理してるかとか，そういうベーシックなところから
教えないといけないんじゃなかろうか．
ところで，IPDガスケットって使い回し効かないの？
普通の銅ガスケットより再利用しやすいってのが
メリットだと思ってたんだけど．
0214200
2010/06/17(木) 23:14:05失礼しました。単位はTorrです。
>212
とりあえず、今使っているICFガスケットで2*10^-6まで到達できたので、
しばらくはこのままやってみようと思います。ありがとうございました。
いろいろ調べてみましたが、グリスもバカにできない金額しますね・・・。
>213
締め付けトルクの管理は全くしていません。常に力の限り締めていました。
締め付けトルクの管理というものは、トルクレンチでしかできないものなのでしょうか。
そんなに大きなチャンバではないので、ホームセンターで売っているような大きな
トルクレンチは使えないと思うのですが・・・
0215名も無きマテリアルさん
2010/06/18(金) 00:03:29>>212だけど、俺の経験の差かもしれない。
ICFだったら４，５回は使えるけど、IPDでそこまで使ったことはない。
なんか、つぶす面積が広いからボルトや頭に負担をかけそうであまり使いまわしはしたくない。
>>214
トルクレンチは高価で場所を選ぶので、フィラーゲージで十分です。
同じガスケットを何度も使いまわしたいのであれば、トルクレンチ＋フィラーゲージがベストですが．．．
0216名も無きマテリアルさん
2010/06/21(月) 00:01:20ICFの銅ガスケット、基本的に潰し切る（ICFフランジ同士が密着するまで締める）ものではありません。
ICFフランジ同士の間には僅かに隙間が残っていて、なおかつICFのナイフエッジは全周およそ均等にCuガスケットに食い込んでいる状態で使うものです。
その状態を（よほどの素人でなければ）誰でも作れるようにメーカーが教えてくれているのが、締め付け手順であり、規定締め付けトルクです。
逆に言えば、１行目で書いた「潰し切り」の状態になるまではCuガスケットは再使用できます（ちょっとテクは必要だし、当然リークテストはしなきゃいけません）。
でもあまりガスケットの再使用をされると真空業界の儲けが減るので、ほどほどにして下さいね☆み
0217200
2010/06/24(木) 01:12:07なるほど、フィラーゲージですか。次から使ってみようと思います。
>216
研究費と相談しつつ、Cuガスケットの再使用のスキルを少しずつ身に付けていきたいと思います。
ご回答頂いてありがとうございました。また疑問にあたったら相談しに来たいと思います。
そのときはどうぞよろしくお願いします。
0218名も無きマテリアルさん
2010/06/26(土) 23:14:35>>204
電源入れてから、バラトロンのフルスケール以下まで排気して４，５時間放置して
暖めきったらゼロ点合わせする、とか、やってますか？
毎回取説見ながらやっているので記憶が曖昧ですけど、まずはゼロ点から。
0219名も無きマテリアルさん
2010/06/26(土) 23:17:25２１３さんが指摘しているのですが、安易にシール面研磨を教えてしまってすみません。
１０年装置触っていても難しいので、よく知っている方に教わりながらやらないとナカナカ
出来ないものです。
銅パッキンならアルミフランジではないだろうから、たぶんSUSですよね。SUSは
直しやすいですが、アルミなら止めた方がいいです。
N2がチャンバー内に観測されるということであれば、チャンバーリークだけでなく、
N2でチャンバーベントしているとすれば、バルブ内の弁からN2が閉じきれずに
漏れている可能性があります。もしN2の供給をストップ出来るのであれば、一度
そうしてからチャンバー内のN2を観測してみてください。変化があればバルブ内部
リークです。
またエタノールでのリークテストで分かる範囲ならば、きっとガスケットに問題があるはずです。
それで反応が無いのであれば、もっと違う話でしょう。
それにHeリークディテクタに比べれば小さいリークはそれほど分かりません。
それにエタノールによるリークテストは、磁性流体を用いるシールや、グリスシールの部分
にはエタノールは厳禁なので、参考程度やHeの回り込みによるリーク判定の難しい箇所に
使うなど、実施するタイミングが真面目に考えると難しいものです。
ポンプの排気能力が落ちたとかは考えられませんか？ロータリーポンプなら油変えると
性能が戻ることがあります。
圧力上昇値は幾つですか？常に控えているならば良いのですが、チャンバーのコンディションを
知るには一番知っておいた方が良いことです。
圧力がいつもの値に下がらない、というのは、結構色々な問題が隠れていて、馴れないと
問題解決するのが難しいものです。よって常にチャンバーのコンディションを把握するように、
定期的に消耗品交換や、圧力上昇測定を行い維持管理に努めると、結果デバイスが
安定して作れるようになります。
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