「真空」について教えて下さい
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0001taira
NGNGまた近年の動向等も教えて下さい。よろしくお願いします。
0002名無しさん＠１周年
NGNGレポートかなにかでしょうか。
真空を辞書で引いてみるといいかもしれません。
0003名も無きマテリアルさん
NGNGトリチェリの真空＝１メートル程度のガラス瓶に水銀を詰めて水銀を入れた皿の上に
ひっくり返すと、逆さになった瓶の底に真空ができる。
空道＝手のひらを徹底的に鍛え、ガラスや塀や人体に押し付けて真空状態をつくる。
0004名も無きマテリアルさん
NGNG0005ero
NGNG0006名も無きマテリアルさん
NGNG手軽に真空をつくる方法教えて下さい。
0007名も無きマテリアルさん
NGNG密閉できて、加熱してもいい容器を用意
↓
そこに少し溜まるくらいの水を入れ、ふたを閉めずに加熱開始。
↓
沸騰して乾く前にふたをして密閉。
↓
容器に冷水でもぶっかけて冷却。
↓
大気圧で容器がベコベコになる様を楽しんで終了
ドラム缶クラスでやると気持ちいいです（当初の目的と違う）
0008名も無きマテリアルさん
NGNG・真空には工学で言う「大気圧より十分低い」という場合と
・理論物理で論じる理想的な極限状態
とがある。
・圧力の単位はPaだけど、お年寄りのためにTorrやmbarも使う
・回転ポンプとダイアフラムポンプがありふれたポンプ（？）
・油拡散ポンプ（油が嫌われている）
・機械式スクリューポンプ（？）
・ターボ分子ポンプー扇風機の強力タイプ
・スパッタイオンポンプ
・クライオポンプ
・チタンサブリメーションポンプ
なんかで10^-11 Pa程度までいけるらしいょ
主な用途は
・空気に邪魔されたくないときに
真空を作ってそこで実験する
真空の近年の動向・・・って何？
ＣＶＤとかで過激な薬品を真空の中で使うようになってきた
・・であってますか？
0009名も無きマテリアルさん
NGNG沢村じゃないのか？
0010実習生さん
NGNG過激といわれてもよくわからん。水銀とかカドミウムなんて昔から
使われているし、シランとかはフツーだし。
0011YES
NGNGやっぱ真空引きして圧力かけるのがいいのかな？
離型フィルムと両面テープとブチルゴムテープつかってるけど
なかなか真空引きうまく行かないよ
なんか、いい方法ないのかな？
0012名も無きマテリアルさん
NGNGターボポンプをふっ飛ばしたことがある人間としては、超高真空
用ポンプが動いているところで、気体を流すこと自体「過激」に
思えてしまうけど
0013名も無きマテリアルさん
NGNG教えてくだされ。
0014名も無きマテリアルさん
NGNGもっともその日の天気によって真空度が変わるし（理由わかるよね）
水が抜けないので補助的
0015名も無き真空蒸着屋
NGNG真空蒸着で「光学薄膜（誘電体膜）」を作る時、
酸化反応の促進剤として、酸素を導入しているぞ。
（蒸着剤の種類によっては「水素」を導入!?してると聞いた事がある）
もしも、ポンプの排気管に酸素が滞留してしまったら、当然？偶然？・・・大爆発！
します。（怖かった～・・・
>>12さんターボ分子ポンプのブローの様子、オイラも興味あります。
ぜひ教えて下され。後学の為にも（ｗ
（最近、ターボ分子ポンプを使い始めたばかりなんですよ）
0016真空初心者
NGNG0017名も無きマテリアルさん
NGNGIP入れるか、IPですら嫌がるかのレベルになるとおもう。最近は良くなった
かもしれんけど。
001812
NGNG少なくとも私が使っていた(いや使われていたか・・) STM は
普段は IP だけで引いていました。
なお、 TMP のふっとばしっていうのは、大気突入しただけです。
幸いにしてお空に飛んでいくと言うことはありませんでした(そ
れでも「ど～ん」と景気の言い音がしてくれましたが..。原因は
あけては行けないところのバルブをあけてしまったこと)。
こういうことをしないためには、バルブをあけるときは手動バルブ
なら、じょじょにバルブをあける & 変な音がしたらすぐに閉める癖
をつける。これでかなり対策可能なはずです。
自動開閉バルブなら、まずその装置の真空系確実に把握。バルブをあ
けるときは、いったん状態を再確認するくらいの余裕を持って行う、
あたりだとおもいます。ちなみに私の場合、このバルブで大失敗を
しました。
なお、大気突入後は、羽根が曲がってしまうので、まわしたら
「ぎゃぎゃぎゃ」といやな音を鳴らしてくれます。もちろん真空
なんかはどこ吹く風。さらに大気突入からとまるまでのわずかの
間にアルミの羽根が研磨されて、アルミ屑が後ろのポンプまで行っ
てしまう危険性もあります(私の場合、幸いにしてこれは回避され
た..)。
ちなみに、その音の大きさは、2F したの部屋でも伝説になるくらい
の音です...(7 階建ての建物の 5F にある実験室でふっ飛ばし→3F
以上の階の研究室で伝説化...)
0019名も無きマテリアルさん
NGNGさすがに吹っ飛んだりはしないようにできてるのね。
ターボは壊れたの見たこと無いけど、
ロータリーから火を吹かせたヤツなら二人ほど知ってます。
まあ、やっぱりそれも大気を引き続けたミスでした。
0020名も無きマテリアルさん
NGNG・油拡散ポンプ（油が嫌われている）
・機械式スクリューポンプ（？）
・ターボ分子ポンプー扇風機の強力タイプ
・スパッタイオンポンプ
・クライオポンプ
・チタンサブリメーションポンプ
これらのポンプの役割はなんなんですか？
002112
NGNG使うポンプに分離されます。
ロータリー、油拡散、ターボ、イオンなどは環境を作るための
ポンプ、つまり 10^(-10)torr とかを実現するためのポンプ。
クライオ、チタンは実験する際のポンプ、つまり上記の環境で
実験の際コンタミ防止のため 10^(-11) などを目指すためのポン
プとなります。
原理はそれぞれ違うので、真空技術あたりを読んでご理解を・・。
スクリューとかダイアフラムとかは、よく知らないのでパス(少な
くとも超高真空系では使わない)。どちらかというと液体移送とか
に使うポンプだったような気がするけど。
002220
NGNGいま学部４年なんですがこういう知識って
実験やってくうちに自然と覚えられますか？
002312
NGNGコンタミは、汚れとか不純物とか言う意味。意図せず混入するも
のをさすといった方が良いかも。語源は、英語の contamination。
ちなみに、私はこの言葉をかの「動物のお医者さん」で覚えました
>実験やってくうちに自然と覚えられますか？
実験で必要になったら覚えていく、というか覚えさせられます(教官
が逐一教えるからじゃなくて、覚えないと実験ができない・・)
0024ナナシ
NGNGふつうは吸気口に金網をつけるんだけど、つけてなくて。容器の中におきわすれたボルトがおちて。
ターボを容器の底につけていたのもわるかった。
羽根（動翼）はめくれあがって、ボロボロ。アルミの粉も飛散した。治すどころではない。交換でした。
金網をつけるか、横向きにつけるか、アングル弁をつけたほうがいいぞ！
0025名も無きマテリアルさん
NGNG0026名無しさん＠１周年
NGNG0027sage
NGNG0028名も無きマテリアルさん
NGNGスクリュードライポンプは粗引き用のポンプで、ロータリーポンプの油無しバージョンと言ったところ。
スパッタなんかするときに、超高真空が必要とされる際、油なんかのコンタミが無いことが利点。
オイルフリーが必要な環境で使われるけど。
スパッタ関係では磁気浮上のTMPと組み合わせて使われてるよ。
0029ここに聞いてごらん
NGNGhttp://ulvac.co.jp
0030みっふぇー ◆zUq282Mc
NGNG0031名も無きマテリアルさん
NGNG「工学」的な真空とは言えないね。
0032みっふぇー ◆zUq282Mc
NGNG0033shinku-
NGNGこれって、油拡散ポンプに非常に悪いのかな?
一応、その後も動いてくれているけど・・・大丈夫かな?
0034名も無きマテリアルさん
NGNG大気圏突入は，１回くらいなら大丈夫．
中の油が完全に酸化してしまうとお亡くなりです．
でも油を替えさえすれば元通り動きます．
新しい油は，マニュアルor製造元で種類と量を確認してね．
ポンプの大きさとかヒーターの熱量とかでいろいろ違うから．
あと，分解してチムニーの表面磨いてあげると完璧！
しかし，ターボとかと比べて寿命長いよね．＞ＤＰ
だからいろいろ難あるけど未だに使われてるんかな．
003512
NGNG> しかし，ターボとかと比べて寿命長いよね．＞ＤＰ
> だからいろいろ難あるけど未だに使われてるんかな．
そうだよね。実験をやる側としては安心して使えるって言うことになる
から。洗えば生き返ってくれるという意味で、DP はかなりの優位性を
もっていると思う。
なお、ある人に聞いた話では、IPも削れば生き返るそうです。私は
やったことありません。
003634
NGNG> 洗えば生き返ってくれる
ターボは事故ると財布イタイからねぇ．例のアルミ綿，もう何度見たことか．
昔，先輩から聞いた話．大きなターボはものすごい角運動量で回転してるから，
軸が噛んだりしていきなり止まっちゃうと，外枠に運動量がかかるので，
止めてるネジを引き千切って飛んでいく．どこぞの研究室では，壁を突き破って
隣の居室まで飛んできたとかこないとか．．．
この話の信憑性は如何？(^^ゞ
> IPも削れば生き返るそうです。
先日，ウチのESCAのIP，志摩津の方にやっていただきました．快調っす．
0037名の無いマテリアルさん
NGNG0038名も無きマテリアルさん
NGNGおちおち昼寝もできない･･･
ってマジすか？
0039名も無きマテリアルさん
NGNG0040
NGNG某メーカーのエッチング装置だったのですが、ピラニ真空計が壊れていて、
フルオートの装置だったために、粗引きせずにメインバルブがOPEN。
「ボヒュー」と景気のいい音がして、装置は緊急停止。
これを3回くらいやったが、ターボに異常なし。
現在も元気に動いています。
回転数が少ないターボだったから、助かった。
>>38
DPの方が、液体窒素を注入したり、冷却水の確認したり、めんどくさい。
うちは、ターボは回しっぱなしですよ。
0041この板って女性何人居るんですか
NGNG＞コンタミは、汚れとか不純物とか言う意味。
＞ちなみに、私はこの言葉をかの「動物のお医者さん」で覚えました
私もです！しるこ爆弾の話ですよね☆
・・・タイムラグ７ヶ月、亀レスと呼ぶのも憚られまする。
0042名も無きマテリアルさん
NGNG0043Ｙ本
NGNG0044名も無きマテリアルさん
NGNG0045屯田
NGNG恐らく、10-20Pa位まで引くと無重力になります（藁
Y本くん以外は、笑ってください。
0046Ｙ本
NGNGありがとうございました。
実は、誤って真空チャンバー内に二回も試料を落としたのです。
真空を引いて無重力にできれば、試料が回収できると思ったのです。
で、Paって、何Torrですか？
0047
NGNG0048名も無きマテリアルさん
NGNG0049名も無きマテリアルさん
NGNG0050Ｙ本
NGNG重力の大きさで真空度を測っていると思うのですが、
実際、どうやって測っているんですか？
0051名も無きマテリアルさん
NGNGﾊｧ?
0052名も無きマテリアルさん
NGNGｶﾅｰﾘ古いが東京大学出版会の
「真空技術」は一応目通しとき。
0053名も無きマテリアルさん
NGNG0054みっふぇーさん
NGNG0055名も無きマテリアルさん
NGNGどんな話だったかな？
誰か教えてください。
0056Ｙ本
NGNG誰も答えてくれませんね。
真空はフィラメントで測るんですよ。
こんなこともしらないで、ここのスレに書き込まないで欲しいな。
あははははははは！！！
0057名も無きマテリアルさん
NGNGそれはイイとしよう。
じゃぁ、フィラメントで何見てんだ(藁。
0058名も無きマテリアルさん
NGNGフィラメントは何のためにある？
0059名も無きマテリアルさん
NGNGY本くんへ
＞フィラメントは何のためにある？
の回答をどうぞ！
0060Ｙ本
NGNGアインシュタインで有名なＥ＝ｍｃ×ｃ＝ｈνにより、
光と重力が関係あるのです。
これで、真空と結びつくことに成りました。
0061名も無きマテリアルさん
NGNGこいつ・・・だめだ・・・
0062名も無きマテリアルさん
NGNG三題話かいっ！
0063名も無きマテリアルさん
NGNGマクラウドぐらい引っ張って来た方が、まだマシだったと思うが。
マクラウドも重力で測るわけじゃないけど、少なくとも重力が無いと働かんわけだから。
0064名も無きマテリアルさん
NGNGちなみに、正解は、「(真空の)熱伝導率」でいい？
0065ASD
NGNG真空にしたら地球の重力吹っ切れるのか（わら
0066名も無きマテリアルさん
NGNGおいおい正解じゃないだろ。ピラニとは違うぞ。。
正解は熱電子放出による電流値の事だろ。フィラメントといえばそういうことだね。
0067名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://www.anelva.co.jp/fuku/zemi/5310.htm
ここ見る限り、>>64が正解だと思うけど？
400℃ぽっちで熱電放出はほとんど無いんでは。
0068名も無きマテリアルさん
NGNGネタだろ？
マジレスしてど～する
0069名も無きマテリアルさん
NGNG0070名も無きマテリアルさん
NGNG次のページ見ろよ。正解が書いてあるだろ。
電離真空計っていうんだよ。
0071名も無きマテリアルさん
NGNGフィラメント「で」って言われればピラニーを指すのかと思った。
ピラニーはフィラメントがセンサー、イオンゲージはイオンディテクタが
センサーでフィラメントは単なる線源なんでしょ？
なんで、ピラニーだと正解じゃなくて、電離真空計が正解になるの？
0072名も無きマテリアルさん
NGNGちょっと修正。
○なんで、ピラニーだと正解じゃなくて、電離真空計が正解になるの？
×なんで、ピラニーだと正解じゃなくて、電離真空計だけが正解になるの？
0073名も無きマテリアルさん
NGNG年寄りじゃないがまだTorr使ってますが何か？
>>54
ここでの「真空」と真空のエネルギーの「真空」は別物
これは>>8ｸﾝが述べている「理論物理で論じる理想的な極限状態」
が真空のエネルギーの「真空」にあたる
要は、「真空」ってのはエネルギーをもっており
宇宙膨張とともに「真空」も大きくなるから
真空のエネルギーも増大する
という話らしいのだが詳しくは知らない
http://cheese.2ch.net/test/read.cgi/sci/1010505159/l50
物理板に別スレがあるがあんまり参考にはならないっぽい
0074名も無きマテリアルさん
NGNG現在までに観測されている最高真空度（現実の究極の真空度）はイオンゲージで計測されているからだよ。
ピラニでは低真空しか測れないんだよ。
ちなみに真空のエネルギーってトンネル現象が起こるときに説明する「真空のポテンシャル」とちやうの蚊？
0075名も無きマテリアルさん
NGNGいや、んなことは分かってるんだけど、
どこから「最高真空度」なんて限定が付いちゃったの？
フィラメントで真空を測る方法が問題だったんでは？
0076名も無きマテリアルさん
NGNG>>フィラメントで真空を測る方法が問題だったんでは？
ジャアホカニハカルホウホウアンノカヨ？
0077名も無きマテリアルさん
NGNGピラニー
0078名も無きマテリアルさん
NGNG0079名も無きマテリアルさん
NGNG「真空」＝「高真空」なの？
「低真空」を外す理由が分からん。
0080名も無きマテリアルさん
NGNG0082拾人
NGNGナンデ？
0083名も無きマテリアルさん
NGNGﾊノハﾌ
ﾉ< ﾟ _･ﾟ>
( ﾏﾊyﾊﾌ
∞ｌ^（ﾟ(ﾟﾘ
ﾉ ノ从ゝ
0084名も無きマテリアルさん
NGNGγ
∞⌒⌒丶
ゝ ノハﾊ)
( ゝ' _･')ゝ
σξＹwYｱ=σ
ハ_＿ﾊ
<_＿＿＿ゝ
┗┗
0085名も無きマテリアルさん
NGNG0086名も無きマテリアルさん
NGNG∧ ∧
(*ﾟーﾟ) 旦~~
ﾉ つ━━
～ ﾉ
(( (/ J
0087名も無きマテリアルさん
NGNG□ □□□□□□□■■□□□□□□■□□□■□□□□
□□■■■■■■□□□□□■■■■■■■■■■■□
0088拾人
NGNG？？？？
009036fv65yt^64675
NGNG587yunlftjhm
]8nllllllgbn@7il7nlubggik6
日本創造教育研究所 田舞徳太郎について
... 光洋ハウジング, 川畑富男, 大津市大萱１？２０？１５, ５４３？３４５７. 佐和興産（株）, 澤 英明, 大津市大江４？１４？３１, ５４３？２３３６. ... http://www.takken-shiga.gr.jp/minamimeibo.htm 北西
支部... ...
http://money.2ch.net/test/read.cgi/manage/1003492619/-100
あぁぁぁぁぁぁぁぁぁ
... 光洋ハウジング, 川畑富男, 大津市大萱１？２０？１５, ５４３？３４５７. 佐和興産（株）, 澤 英明, 大津市大江４？１４？３１, ５４３？２３３６. ... http://www.takken-shiga.gr.jp/minamimeibo.htm 北西
支部 ... ...
hjk9jr;t946r6yoj;8@:wr698y7596ovjk;hnio
0091名も無きマテリアルさん
NGNG0092名も無きマテリアルさん
NGNG0093天上天下 唯我独尊
NGNG真空とは、「真の空間」と言う意味である。
すなわち、「物質が存在しない空間」と言うことか。。。。
0094
NGNG違うよ。
0095な～んも知らん人
NGNGなな、何と。
そうで御座ったのか。
では、御主の考えている、正しき答えを、
この拙者に、教えて頂きたく思うので御座る。
009694ではない人
NGNG真空
気体の圧力が小さくなっている空間。
つまり、その中の原子や分子の数がかなり少なくなっている状態を意味する。
｢完全な真空｣とは、この空間内に原子や分子がただの1個も存在しないことを意味する。
だが、(略:物質は有限の蒸気圧を持つため)現実にはこの状態にを達成することはできない。
0097--------
NGNGそうするとこの宇宙空間も、
「完全な真空」とは言えない状態に、
恐らくなっているのでしょうね。
0098名も無きマテリアルさん
NGNG私は障碍歴約４０年の男です。前からこのホームペイジを見ていて不思議に思い
また、憤りをおぼえていた者です。
この掲示板では、feelさん、前の大野氏いずれも障害者としての正当な権利や意
見の主張をしたに過ぎず、それを受け入れないばかりか他の主張も、健常者に媚
び諂い、同じ障害者を援護するどころか、貶めている傾向がある。
過去と現在の障碍者を取り巻く扱いは明らかに不当であり、差別であった事は
火を見るより明らかな事実であってそれを改善するという正義の革命は
今以上に性急に行わねばならない障害者の権利は、これを健常者が無条件で
受け入れねばならず、それに異論を唱えるものはすべて差別主義者であると言
わざるを得ない。
あらゆる物事、結婚、就職、就学などに障碍を理由にして断わられる事はあっ
てはならない
もしそれらを行った場合、その個人または団体に対し、刑事または民事で訴え
られるような法律の整備こそが最優先で、また、障碍者差別をなくす唯一の方
法であると確信しています。
障碍、健常のお互いの理解などは不可能です
健常である事は暴君であり、障碍を得ている者は市民であり、強者と弱者、お
互いにお互いの心など酌みようがないのはあたりまえと言えばあたりまえであり
仕方のないことである。
小生も４０代にして、いまだに独身なのは障碍のせいではなく障碍を差別視する
世の中の風潮や、世の中の女性の悪しき思想のせいであることは言うまでもなく、
今まで何人もの女性に自分の偽りのない愛を告白して来たが、みな障碍を理由に
断わられてきたという、あからさまな差別を受けてきたのである。
真のバリアフリーや真に差別をなくすという事は健常者と障碍者が話し合い行う
ものではなく、障害者の要求と要望をすべて健常者と社会が受け入れるべき
なのである、現在のような差別発言や、差別発言を行う者への援護の書き込みは
厳に慎まれたい。
障害者特別性交特権の早期実現を！
0099（ *ﾟ ３ ﾟ） ◆4iMAZUUmmU
NGNG宇宙空間の薄いとこで1cm3あたり原子1個とからスィ。
その1個さえうまくかわせば残りの1cm3は完璧な真空ということか。
0100名も無きマテリアルさん
NGNG0101ぱぱ
NGNG真空ですか わたすの頭は真空です・・・。なんて
電子は大きさどのくらいか知らないけど、原子核と電子の間は真空なのかな？
もしそうなら非常に小さい区間ではあるものの、回り中真空だらけだったり
して。当然 頭の中も多くの真空部分が存在していることに・・・。
0102名も無きマテリアルさん
NGNG:::::::::::| ば じ き i::::::::::::
:::::::::::.ゝ か つ み ﾉ:::::::::::
:::::::::::/ だ に は ｲ:::::::::::::
::::: | な。 ﾞi ::::::
＼_ ,,-'
――--､..,ヽ__ ＿,,-''
:::::::,-‐､,‐､ヽ. )ノ ＿,,...-
:::::_|/ ｡|｡ヽ|-i､ ∠＿:::::::::
／. ` ' ● ' ﾆ ､ ,-､ヽ|:::::::::
ニ ＿_ｌ＿_＿ノ |・ | |, -､::
/￣ ＿ | i ﾟr ｰ' 6 |::
|(￣`' ）/ / ,.. i '-
`ー---―' / '（__ ） ヽ 、
====（ i）==::::／ ,/ﾆニニ
:/ ヽ:::i /;;;;;;;;;;;;;;;;
010396
NGNG空間が存在するには何が必要なのか？
エネルギーか？それではE=m*C*Cより質量が存在するのと変わりが無いような気がする。
では"真空である場所"つまり"空間"が存在するためには何が必要なのでだろうか？
0104山崎渉
NGNG0105山崎渉
NGNG0106山崎渉
NGNG0107名も無きマテリアルさん
NGNG空間がある事には疑問を抱いていました。
物理はわからねえ。
0108名も無きマテリアルさん
NGNG考えれば考えるほど訳わからなくなる。
絶対零度に近付くほど真空に近いんでしたっけ。
0109名も無きマテリアルさん
NGNG真空屋に聞いてみそ．
真空って一気圧以下のことを言うんだよ
0110((≡゜♀゜≡))
NGNGhttp://homepage3.nifty.com/coco-nut/
0111名も無きマテリアルさん
NGNG２５０の動画が完全無料で見放題だよ！
今すぐ抜けるよ！ http://www.gonbay2002.com
0112山崎渉
NGNG0113名も無きマテリアルさん
NGNGピラニー真空計は熱伝導を使って計測します。従って、（大気）中真空、10^-3Torr（おじんなもので）ぐらいです。
当然低圧モル比熱により誤差がでます。通常はＮ２で更正されています。
電離真空計は熱電子を加速して、イオン化する中性粒子の数をそのイオン電流から計っています。
当然中真空で使うと、フィラメントが切れるので中真空以上で使います。3x10^-3以上の真空で使います。これも、ガス種のイオン化断面積が違うので、ガス依存があります。
真空と言っても、1x10^-6Torrで、通常の平面にぶつかる粒子がすべて吸着されれば、１秒で全ての表面に粒子が吸着します。これを１ラングミュアと言います。
当然表面状態を問題とする、実験は10^-10Torr程度まで下げることが望ましいです。
このぐらいになると、さすがに電離真空計が有利になります。
また、2000L/secを越えると、TMPの回転の慣性エネルギーが大きくなるのは常識です。某メーカーはフランジをぶち切って暴れた用です。
ヨーロッパでは死亡例があります。戦車を作っているメーカーなどは筐体を一体で作って、対戦車砲でも貫通しないと宣伝してました。ターボの固定は十分しっかりやりましょう。
TMPは高真空型と反応製プラズマなのにつかうタイプがありすが、静翌と動翌のギャップが違うので、ガスを流す場合は要確認です。
反応製ガスを流す場合はバラスト窒素とパージ窒素で希釈をお忘れなく。
あとはクライオポンプとか、チタンソープションポンプ、イオンポンプなどがあります。勝手にしらべて下さい。
圧力範囲を明確にして論議しましょうね、確かに最近は大気圧から引けるTMPなどありますが、あくまで原則を知りましょう。
0114名も無きマテリアルさん
NGNGピラニー真空計は熱伝導を使って計測します。従って、（大気）中真空、10^-3Torr（おじんなもので）ぐらいです。
当然低圧モル比熱により誤差がでます。通常はＮ２で更正されています。
電離真空計は熱電子を加速して、イオン化する中性粒子の数をそのイオン電流から計っています。
当然中真空で使うと、フィラメントが切れるので中真空以上で使います。3x10^-3以上の真空で使います。これも、ガス種のイオン化断面積が違うので、ガス依存があります。
真空と言っても、1x10^-6Torrで、通常の平面にぶつかる粒子がすべて吸着されれば、１秒で全ての表面に粒子が吸着します。これを１ラングミュアと言います。
当然表面状態を問題とする、実験は10^-10Torr程度まで下げることが望ましいです。
このぐらいになると、さすがに電離真空計が有利になります。
また、2000L/secを越えると、TMPの回転の慣性エネルギーが大きくなるのは常識です。某メーカーはフランジをぶち切って暴れた用です。
ヨーロッパでは死亡例があります。戦車を作っているメーカーなどは筐体を一体で作って、対戦車砲でも貫通しないと宣伝してました。ターボの固定は十分しっかりやりましょう。
TMPは高真空型と反応製プラズマなのにつかうタイプがありすが、静翌と動翌のギャップが違うので、ガスを流す場合は要確認です。
反応製ガスを流す場合はバラスト窒素とパージ窒素で希釈をお忘れなく。
あとはクライオポンプとか、チタンソープションポンプ、イオンポンプなどがあります。勝手にしらべて下さい。
圧力範囲を明確にして論議しましょうね、確かに最近は大気圧から引けるTMPなどありますが、あくまで原則を知りましょう。
0115山崎渉
NGNG0116名も無きマテリアルさん
NGNG二重書き込みすみません。
単位が一部抜けてますがTorrです
Ｘ暴れた用
○暴れた様
でした、すみません。
0117名も無きマテリアルさん
NGNG0118名も無きマテリアルさん
NGNG0119名も無きマテリアルさん
NGNG0120名も無きマテリアルさん
NGNG0121名も無きマテリアルさん
NGNGTMPだったらもの凄いことになるらしいぞぃ。
実験装置が乗っかった頑丈な架台が、轟音と共に
ひん曲がったことがある、と聞いた。
ロータリやメカブだったら排気音が急にでかくなって
オイルミストをブリ撒く程度で済むかなw。
クライオとかイオンポンプは機械的な稼働部分がないから
大したことないべ、とか言ってみる。
0122名も無きマテリアルさん
NGNGアリが㌧です。
やっぱ実験は気をつけてやらなくては、と再確認いたすますた。
0123名も無きマテリアルさん
NGNG0124名も無きマテリアルさん
NGNG液チ遊びは常識でしょ!?
0125名も無きマテリアルさん
NGNG0126名も無きマテリアルさん
NGNG0127名も無きマテリアルさん
NGNGウランをバケツで…なんて、笑っていられないかもしれない。
0128名も無きマテリアルさん
NGNG今考えると…。無知って恐ろしいよな。
0129名も無きマテリアルさん
NGNG0130名も無きマテリアルさん
NGNG>宇宙空間の薄いとこで1cm3あたり原子1個とからスィ。
その密度の気圧で１Ｇで加速してゆく宇宙船があるとして
どのぐらいの速度で進行の障害になる？
0131名も無きマテリアルさん
NGNG加速すると宇宙の塵（水素原子等）の他に光の圧力(光圧）も運動の障害になります。
0132名も無きマテリアルさん
NGNG0133名も無きマテリアルさん
NGNG0134名も無きマテリアルさん
NGNG0135名も無きマテリアルさん
NGNG0136めぐみ
NGNG0137名も無きマテリアルさん
NGNG0138名も無きマテリアルさん
NGNG真空ぢゃなぃでつ
0139名も無きマテリアルさん
NGNGお前の思うところの真空の定義を述べよ。
0140名も無きマテリアルさん
NGNGまばたき通信法を開発すべきだと思うんだが
地球壊れたらマジやばいって
0141名も無きマテリアルさん
NGNG0142!tt@33CCCC@っどぉぉぉぉヴぃい ◆ddoooooViI
NGNG0143名も無きマテリアルさん
NGNG0144名も無きマテリアルさん
NGNG0145名も無きマテリアルさん
NGNG0146名も無きマテリアルさん
NGNGえ！？どこにって それは in your heart!
0147名も無きマテリアルさん
NGNG0148名も無きマテリアルさん
2005/07/19(火) 21:50:48あべし
0149名も無きマテリアルさん
2005/07/22(金) 00:07:510150名も無きマテリアルさん
2005/10/10(月) 03:04:280151名も無きマテリアルさん
2006/05/02(火) 19:48:25::::::.＼:★ノノハ のにゅ
::::::.ミゝ从*´∇｀） つ
::::::⊂＿＿つノ
のにゅのにゅマン巡回中！
0152名も無きマテリアルさん
2006/12/04(月) 06:43:34油の賞味期限わかりますか？ちなみにライオンSです。
0153名も無きマテリアルさん
2006/12/06(水) 00:28:19保存状態に依存するとは思うけど…。
普通は缶で保存されてるだろうから、水やらガスやらの
吸収もたかが知れてるんじゃなかろうか。
0154名も無きマテリアルさん
2006/12/20(水) 00:12:14リークディテクターに出てくるPa・ｍ３/SECって何ですか？って先輩に来たら
Heの流量だって答えてくれたんですけど、どうしてこれで流量ってことになるんでしょうか？
ｐｖ＝nrtの左側の事を言ってるってことだったら、ディテクターはHeの個数をカウントしている、って
ことでいいんですか？
0155名も無きマテリアルさん
2006/12/20(水) 11:26:38１秒当たりの個数だから、流量でいいんじゃない？？
0156154
2006/12/20(水) 20:22:08レスありがとうございます。
自分、頭わるいんで確認しないと気がすまんのです。
１秒あたりの個数ってことは、１秒あたりにディテクターの検知する所に飛び込んできた
Heの個数ですよ、ということですね。
さらに質問なんですけど、この値からチャンバー内の、１秒間あたりのＨｅの全個数って
どうやったら分かるんでしょうか？
ディテクターにでているＰａ・ｍ３／ＳＥＣって、１秒間あたりにディテクターに飛び込んできた
個数なのだから、それは全てのHe個数って事じゃないですよね？
どうやって求めたらいいんでしょうか・・・・
もしかして、ディテクターの検知している所の容積のHe個数が分かれば、チャンバー容積
で検知部の容積を割ったのでHe個数をかければいいのかな？
ほんとすみません、あたまわるくてごめんなさい。
0157156
2007/04/25(水) 21:43:32答えを出すのに２，３ヶ月かかるって、やっぱり頭悪いなぁ・・・orz
0158名も無きマテリアルさん
2007/04/25(水) 22:02:59って高エネルギー物理屋さんは言わない？
0159名も無きマテリアルさん
2007/04/26(木) 07:37:580160名も無きマテリアルさん
2007/06/22(金) 18:21:060161名も無きマテリアルさん
2008/01/02(水) 00:12:59真空では常にエネルギーや物質が生成と消滅を繰り返している
と聞いたことがあるなあ。
例えだけど、プラスの粒が生まれたら同じ量のマイナスの粒が生まれて
全体の和みたいなものは０を保ってるとかなんとか。
素人の発想だけどプラスとマイナスに分けるのには
エネルギーはいらないのかなあ・・・？
0162名も無きマテリアルさん
2008/01/02(水) 00:39:47ここに答えが含まれているジャマイカ。
実際問題としては、本来的な生成エネルギー(E=mc^2)＋運動エネルギーを
見かけ上の生成エネルギーと考えればｲｲ。
さすれば、生成した粒子はその運動エネルギーを得て別々の途を歩むさー。
0163名も無きマテリアルさん
2009/01/22(木) 00:43:18材料とかあるの？
0164名も無きマテリアルさん
2009/01/22(木) 00:43:540165名も無きマテリアルさん
2009/01/22(木) 00:53:26今試料でNiOを使ってるんだが、ふと超音波洗浄をしてみたくなってさ
超音波洗浄をしたらOが脱離してしまうんじゃないかと思ってさ
0166名も無きマテリアルさん
2009/01/22(木) 16:27:100167名も無きマテリアルさん
2009/05/27(水) 09:33:54例えば美味しいラーメンが食べたい「ラーメンが美味しい店」なんてワードでググらない
「ラーメン レビュー ○○（所在地）近郊」とかで検索する事で精度と速度を上げる
ラーメンだけじゃなくトレンドやニュースでもそのスキルを応用可能
はっきり言ってブラウザとネット回線があれば知識的には最強状態になれる
俺の才能・・・先を見通したり物事の本質を見抜く事
情報操作されたテレビや新聞のニュースをいち早く２ちゃん等で検証して議論
タッチタイプも速い方だと思うしビールと何か食い物が傍にあれば
３時間くらいぶっ続けで同じスレッドで戦う事も出来る
ニュースだけじゃなくネットで話題になってる事件とかにも精通している
ヲチ用にSNSの捨てIDも所持しているからその気になればログインも可能
23歳
そういう力を生かせる仕事をしたい
0168名も無きマテリアルさん
2009/06/26(金) 15:45:39P1が表示されない
A4基盤やイオンゲージ交換したがまったく変化なし
業者対応だ
0169名も無きマテリアルさん
2009/06/26(金) 16:52:47どこのメーカーですか？
ｐ１とは？
0170名も無きマテリアルさん
2009/06/26(金) 21:29:31ｐ１はポンプ１～３まであってポンプ１のこと。
ポンプの真空度（Ｔｏｒｒ）
0171名も無きマテリアルさん
2009/06/26(金) 21:30:56装置はNOV●だった
0172名も無きマテリアルさん
2009/06/27(土) 00:22:57ホントはポンプが動いていないというオチじゃ？
0173名も無きマテリアルさん
2009/07/17(金) 01:31:080174名も無きマテリアルさん
2009/09/02(水) 11:54:090175名も無きマテリアルさん
2009/09/02(水) 22:01:09ﾏﾙﾁ死ねや
0176名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 02:37:440177名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 11:24:11TMPつけたままサブのロータリを止めてしまったんだがどうすればいい？
0178名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 16:36:180179名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 16:39:110180名も無きマテリアルさん
2009/09/03(木) 21:18:21普通にTMP止めればいいよ。
くれぐれも、ロータリー停止している状態でＦＶ開けて、ＴＭＰにＲＰからの雰囲気を逆流
させないように。どうせＲＰは油逆流しないようにベントされているんでしょ？その状態で
開けたら壊れるよ。
0181名も無きマテリアルさん
2009/09/04(金) 04:43:15ありがとうございました。
真空装置って無知だとかなり怖い物だと改めて知りました。
0182名も無きマテリアルさん
2009/09/06(日) 12:29:350183名も無きマテリアルさん
2009/09/08(火) 03:08:07そんなに怖がらなくても死にはしないよｗ
真空装置は取り扱いを間違えると、二度と使えない装置になる可能性があるので
管理者の意向に沿って使うのがベターです。
根拠と自信がないうちは勝手なことをしないように。
0184名も無きマテリアルさん
2009/09/08(火) 22:59:01チャンバが加圧されるタイプの装置が事故ったときはﾄﾞｶﾝと爆発するけど、
チャンバが真空槽の場合は、窓材が"内向き"に圧壊してくれるから、その
意味では危険性は少ないかもね。
ただ、TMPに5mmのビスでも落とし込んじゃった日には…。
ポンプのダメージだけでは済まなくなるからご注意を。
0185名も無きマテリアルさん
2009/09/12(土) 01:37:39それと、たいていのTMPには物が入らないようにネットが張ってあるでしょう。
コンダクタンスを稼ぐために俺は取るけどさｗ
0186名も無きマテリアルさん
2009/09/13(日) 19:20:17実際どんくらい変わるもんすか？
0187名も無きマテリアルさん
2009/09/14(月) 00:17:36だいたいメッシュの開口率掛ければいいんじゃない？
0188名も無きマテリアルさん
2009/11/15(日) 11:26:56真空容器の設計はｻｯﾊﾟﾘだ。
枝管はおろか、チャンバで一番サイズが大きいフランジの溶接も
内側点付・外側全周溶接じゃない。
アホか。
0189名も無きマテリアルさん
2009/11/15(日) 12:19:47超高真空といえども所詮は1気圧。
もちろんリークがあってはだめだが．．．．
0190名も無きマテリアルさん
2009/11/15(日) 16:55:16チャンバー酸洗い＆電解研磨→すすぎきれずに長時間かけてじわじわと・・・
一番やってはいけないパターン。客に見つかれば装置引き取り。
0192名も無きマテリアルさん
2009/11/22(日) 13:04:15オレの経験では、技術が必要な順に
超高圧>超高真空>高真空>高圧>低真空だな。
低真空なんて、それこそ１気圧の圧力差に耐えることだけ考えていればＯＫ。
0193名も無きマテリアルさん
2009/11/23(月) 21:10:52ただ耐えればいいなら、なんだけどね。
最近の真空装置は、真空装置内で色々ややこしいことをやりたいがために、
チャンバーをゴニョゴニョしなきゃいけなくって大変なんだよ。
事情を知らない装置屋が設計すると、産廃を納めることになる。
物事を突き詰めると、もうそれ以外はやらない方が結果としてよい。
ついていけないから。大手でもそんな感じ。
0194名も無きマテリアルさん
2009/11/23(月) 23:12:15外側から溶接指示ってﾏｼﾞあり得んと思うわ。
圧力容器が8割、真空容器が2割くらいの割合で受注してるが、真空容器
内にあるタップが完全にメクラ穴状態で、ビスも普通のナベビス指定とか
それで10^-4Pa狙って真空度到達しないからポンプの排気量増やしますとか…。
考え方間違ってる、っつか真空ハンドブックでｲｲから再読してくれ。
0195名も無きマテリアルさん
2009/11/24(火) 00:04:33そーいうことはハンドブックにゃ載ってないのよね。
真空工業会？だったか、失敗事例集があったとおもったけど、そーいうの見せればどうかな。
むかし、内面溶接してなかったからポート全部そぎ落として再溶接しろって言ったら、
どうしても無理なので両側から溶接して、外側に穴あけた。あほかと。
設計指導するのは大変ですけど、やらないとダメなの垂れ流してくるから自分でやってみたら？
俺はやってる、もうやらなきゃいけない部署がありながらすっとばしてやってる。
やらなきゃいけない部署は俺のいいなりｗ でも全然平気。お客さん喜んでるから。
0196名も無きマテリアルさん
2009/11/28(土) 08:33:05お前の事だ
脳味噌のレベルが低いって事
0197名も無きマテリアルさん
2009/11/29(日) 17:49:07でもね、あからさまにコピペで図面書いているのがわかるのよ。
大気側に使うポートの図面を、そのまま真空側にも同じ絵で描いてしまうから、失敗するとか。
理由があって線を引くということを、もっと大切にしてもらいたい。
前にいた会社、そんなことやあんなことを色々やって、装置引き取りになってたよ。
もう２度とその客からは買ってもらえなくなった。こんな事もあると分かってもらいたい。
0198名も無きマテリアルさん
2010/03/17(水) 20:59:000199名も無きマテリアルさん
2010/04/26(月) 20:09:59http://science6.2ch.net/test/read.cgi/denki/1267108759/689-
0200名も無きマテリアルさん
2010/05/21(金) 01:05:53今はフランジに銅ガスケットを用いてシールしているんですが、
Oリング＋グリスの方が真空度は良くなるのでしょうか？
また、真空機器に用いるグリスは何がいいのでしょうか。
今まではモリブデンを使っていましたが、モリブデングリスは
ある程度真空度が高くなると窒素を出すと小耳にはさみました。
本当にそんなことがあるのでしょうか。
どなたかご存じの方、ご回答頂けると幸いです。
0201名も無きマテリアルさん
2010/05/21(金) 06:42:49銅ガスケットを使い続けてください。
シール面を磨き直し、ガスケットが当たる方向に沿って丁寧に磨いてください。
出来ればコンフラットとかＩＣＦとか言われている、ガスケットに食い込むフランジなら
良いのですが。
O-RINGは仕様書をみれば分かるけど、ヘリウムの透過について書いてあります。
最も性能がよいと思うバイトンも、フランジ周囲を袋で覆ってヘリウム充填すれば、
O-RINGの太さによりますが１分程度でリークと間違うほどのリーク値を示します。
樹脂である以上、仕方のないことなのです。
それに、そもそも余計なモノを入れたくない真空装置なのですから、デガスが必ず
あるグリスは使わないに越したことはないです。
残念ながらモリブデングリスは使ったことがありません。真空に使えるグリスと言えば
フッ素系、シリコン系の２つしか知りません。でもフッ素系しか使いませんが。
しかし、どのようなグリスでもN2が出てくる以前に練り込まれた大気がデガスする
ことでしょう。
他にもグリスは種類がありますから、一度メーカーに問い合わせて用途を聞いた方が
良いですよ。
0202名も無きマテリアルさん
2010/05/21(金) 06:56:41真空内部には確かに使わない．
0203名も無きマテリアルさん
2010/05/22(土) 02:40:21すみません書き忘れていました。
そもそもリークがあるのか否かで、シール面を修正するしないが決まります。
リークしていないのならいじる必要はありません。余計なことをしてリークさせてしまい、
治らないことがあります。直すのは馴れていないと難しいのです。
全然リークが検知できない状態ならば、そのまま現状の銅ガスケットを使い続けてください。
バイトンO-RING＋フッ素系グリスに変えたところで良い方に変化はありません。
恐らく現状ベストなグリスはフッ素系でしょうが、それでもデガスに悩むことでしょう。
真空度をよくしたいのならチャンバーベークしてください。
チャンバーの構成物の中で一番耐熱温度が低い物を調べ、それ以下の温度でベークを
１日以上長く続け、ベークＯＦＦしてそのまま排気し続けてください。
使い続けている装置であれば、極端に効果はないかもしれません。求める圧力によって
この辺は変わります。
出来れば、Q-MASSを用いて、チャンバー内で何が出ているかを調べ、それによって
対策を練ればある程度は到達圧力が下がることでしょうが、計算上の到達圧力よりも
下がることはありません。よって装置メーカーの仕様を読み直してください。
0204名も無きマテリアルさん
2010/06/10(木) 21:58:00どういうことなの・・・
0205名も無きマテリアルさん
2010/06/12(土) 17:26:10可能性として
０．配線が外れている
１．校正が狂っている
２．壊れている
>>200
取り扱い真空度を記述しましょう。
既に解決しているのならよいけど．．．．
0206名も無きマテリアルさん
2010/06/12(土) 18:50:57ありがとうございます。
修理されて校正されたばかりだから壊れたのですね・・・
故障の原因はなんだろう・・・。
落としたりしてないし気がついたら表示される値の範囲がおかしなことに
0207200
2010/06/14(月) 19:24:27>201, 203
ガスケットが当たる方向に対して研磨するとはどういうことでしょうか。
円周状に研磨するということでしょうか。また、放射状にということでしょうか。
モリブデングリスはもう古いトレンドなのですね。他のグリスも検討してみます。
真空度が悪かったので、リークの可能性のありうる全ての箇所を締め直し、
エタノール検査をしてみたのですが、効果ありませんでした。
それで、問題はガスケット自体ににあるのではと思い、質問させて頂きました。
チャンバーベークもしているのですが、改善は認められないので原因は
反応炉内の付着物ではなさそうです。
Q-MASSは用いていませんが、フォトマルチカウンティングにて観測を
行ったところ、N2の反応が非常に高かったのでリークを疑っておりました。
>202
ありがとうございます。
チャンバ内部のグリスについて検討してみたいと思います。
ご回答頂いた皆様、ありがとうございました。
もう少し試行錯誤して原因究明に向けて努力したいと思います。
0208名も無きマテリアルさん
2010/06/15(火) 02:02:30円周方向に研磨する。
直径方向に研磨するってことは、パッキン面を横断する形で研磨跡が付くじゃん。
その時にもし直径方向に傷付けちゃったらどうよ、っていうこと。
円周方向に磨いてるときに傷付けちゃったとしても、傷はパッキン面だけで完結
してるからリークの恐れは無いわなぁ。
うちの会社で使ってる真空グリスはコレ↓
http://www.orange-book.com/product_msts/index/BARRIERTASUPERISV%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%202276
真空対応だけど、使いすぎは禁物。
何を使うにしてもデガスは必ず付き物だから。
0209名も無きマテリアルさん
2010/06/15(火) 03:12:300210200
2010/06/16(水) 20:50:50プラズマCVDなので、到達真空度は1*10^-5以上欲しいと思っています。
>208
真空グリスの紹介ありがとうございました。検討してみたいと思います。
>209
IPDガスケットを用いることで、何かデメリットはありますでしょうか。
また質問だらけになってしまいましたが、どうぞよろしくお願い致します。
0211名も無きマテリアルさん
2010/06/16(水) 23:07:40> 1*10^-5
単位単位！
0212名も無きマテリアルさん
2010/06/16(水) 23:53:06IPDガスケットのデメリットはICFガスケットよりも高価なこと。
特にこれといってデメリットはないような気がするけど．．．
使い回しがしにくいとか、大きなフランジの時には不安だとか
細いので曲げないように保存しておく必要があるとか．．．．そんなところかなぁ～
あと、グリースだけどフッ素コンタミが気になるようであれば、アピエゾンというてもある。
高いけどｗ
10^-5torrであれば、信越シリコーンでも十分な気がする。手に入りやすいし。
0213名も無きマテリアルさん
2010/06/17(木) 01:13:31絶対に状況を悪化させるw
締めつけのトルク管理してるかとか，そういうベーシックなところから
教えないといけないんじゃなかろうか．
ところで，IPDガスケットって使い回し効かないの？
普通の銅ガスケットより再利用しやすいってのが
メリットだと思ってたんだけど．
0214200
2010/06/17(木) 23:14:05失礼しました。単位はTorrです。
>212
とりあえず、今使っているICFガスケットで2*10^-6まで到達できたので、
しばらくはこのままやってみようと思います。ありがとうございました。
いろいろ調べてみましたが、グリスもバカにできない金額しますね・・・。
>213
締め付けトルクの管理は全くしていません。常に力の限り締めていました。
締め付けトルクの管理というものは、トルクレンチでしかできないものなのでしょうか。
そんなに大きなチャンバではないので、ホームセンターで売っているような大きな
トルクレンチは使えないと思うのですが・・・
0215名も無きマテリアルさん
2010/06/18(金) 00:03:29>>212だけど、俺の経験の差かもしれない。
ICFだったら４，５回は使えるけど、IPDでそこまで使ったことはない。
なんか、つぶす面積が広いからボルトや頭に負担をかけそうであまり使いまわしはしたくない。
>>214
トルクレンチは高価で場所を選ぶので、フィラーゲージで十分です。
同じガスケットを何度も使いまわしたいのであれば、トルクレンチ＋フィラーゲージがベストですが．．．
0216名も無きマテリアルさん
2010/06/21(月) 00:01:20ICFの銅ガスケット、基本的に潰し切る（ICFフランジ同士が密着するまで締める）ものではありません。
ICFフランジ同士の間には僅かに隙間が残っていて、なおかつICFのナイフエッジは全周およそ均等にCuガスケットに食い込んでいる状態で使うものです。
その状態を（よほどの素人でなければ）誰でも作れるようにメーカーが教えてくれているのが、締め付け手順であり、規定締め付けトルクです。
逆に言えば、１行目で書いた「潰し切り」の状態になるまではCuガスケットは再使用できます（ちょっとテクは必要だし、当然リークテストはしなきゃいけません）。
でもあまりガスケットの再使用をされると真空業界の儲けが減るので、ほどほどにして下さいね☆み
0217200
2010/06/24(木) 01:12:07なるほど、フィラーゲージですか。次から使ってみようと思います。
>216
研究費と相談しつつ、Cuガスケットの再使用のスキルを少しずつ身に付けていきたいと思います。
ご回答頂いてありがとうございました。また疑問にあたったら相談しに来たいと思います。
そのときはどうぞよろしくお願いします。
0218名も無きマテリアルさん
2010/06/26(土) 23:14:35>>204
電源入れてから、バラトロンのフルスケール以下まで排気して４，５時間放置して
暖めきったらゼロ点合わせする、とか、やってますか？
毎回取説見ながらやっているので記憶が曖昧ですけど、まずはゼロ点から。
0219名も無きマテリアルさん
2010/06/26(土) 23:17:25２１３さんが指摘しているのですが、安易にシール面研磨を教えてしまってすみません。
１０年装置触っていても難しいので、よく知っている方に教わりながらやらないとナカナカ
出来ないものです。
銅パッキンならアルミフランジではないだろうから、たぶんSUSですよね。SUSは
直しやすいですが、アルミなら止めた方がいいです。
N2がチャンバー内に観測されるということであれば、チャンバーリークだけでなく、
N2でチャンバーベントしているとすれば、バルブ内の弁からN2が閉じきれずに
漏れている可能性があります。もしN2の供給をストップ出来るのであれば、一度
そうしてからチャンバー内のN2を観測してみてください。変化があればバルブ内部
リークです。
またエタノールでのリークテストで分かる範囲ならば、きっとガスケットに問題があるはずです。
それで反応が無いのであれば、もっと違う話でしょう。
それにHeリークディテクタに比べれば小さいリークはそれほど分かりません。
それにエタノールによるリークテストは、磁性流体を用いるシールや、グリスシールの部分
にはエタノールは厳禁なので、参考程度やHeの回り込みによるリーク判定の難しい箇所に
使うなど、実施するタイミングが真面目に考えると難しいものです。
ポンプの排気能力が落ちたとかは考えられませんか？ロータリーポンプなら油変えると
性能が戻ることがあります。
圧力上昇値は幾つですか？常に控えているならば良いのですが、チャンバーのコンディションを
知るには一番知っておいた方が良いことです。
圧力がいつもの値に下がらない、というのは、結構色々な問題が隠れていて、馴れないと
問題解決するのが難しいものです。よって常にチャンバーのコンディションを把握するように、
定期的に消耗品交換や、圧力上昇測定を行い維持管理に努めると、結果デバイスが
安定して作れるようになります。
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