分光エリプソメトリ
■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています
0001名無しさん＠１周年
NGNG手に入るものなら和書・洋書問いません。
特に具体的な方法論が豊富なものがあるとうれしいな。
例えば、光学関数が全くわかっていない膜厚も未知の薄膜試料の分析って
どうすればいいの？
0002名無しさん＠１周年
NGNG培風館 応用光学2
はだめですか？
0003ジンクブレンド
NGNG去年の11月以来か・・・。
洋書・和書、色々探したことがあったけど、
あんまりなかった。
結局、何かの雑誌の方が早いかも。
どちらにせよ、誘電関数も膜厚も
全く未知となると厳しいな。
誘電関数のシミュレーションに使う
モデルも単結晶かアモルファスか等、
材料系によって違うしなあ。
モノは何でしょ？
0004名無しさん
NGNG00051
NGNG今のところ、何か具体的な試料をどうこうしようと言うわけではなくて、
（ホントは多少考えてるけど、2chでは挙げられない…）
SEがあって、薄膜を研究しているから、なんか便利に使えないかと思って。
私が見つけた本で一番詳しいのは、
"Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry" H.G.Tompkins&W.A.MaGahan
ISBN 0-471-18172-2
です。
dとNからΨとΔを計算できるけど逆は出来ない、
だからいろいろ試してフィットさせるってのは分かるんですが、
全くデータがない場合どの辺から攻めていけばいいのか、
複屈折性が強い場合もそのままでいいのか、
表面酸化層や表面voidなどをどのタイミングで考慮すればいいのかなど、
（仮定したd,Nがまずいのか、表面層がまずいのかをどう判別するのか）
具体的な指針があると楽なんだけどな、って思ったんです。
少し自分で試行錯誤してみます。
0006ジンクブレンド
NGNG表面酸化膜やvoid層の扱いについて、
有効媒質近似(EMA)をご存知だろうか？
■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています