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金属薄膜の機械特性の計測方法を教えてください。

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0001名無しさん＠１周年NGNG
金属薄膜の機械特性値が必要なのですが，
どのような計測方法があるのですか？
また，異方性を考慮した計測方法はあるのでしょうか？
0002名無しさん＠１周年NGNG
種類と大体の厚み，試験する材料の大きさは？
0003名無しさん＠１周年NGNG
アルミ薄膜で厚みは500nm程度です。
材料の大きさは，薄膜がスパッタ膜なので，
様々な大きさに対応できます。
もし，ご存知でしたらよろしくお願いします。
個人的見解でもかまいません。
0004名無しさん＠１周年NGNG
で，機械的特性値ってどれ？　縦弾性係数？引張強度？硬さ？質問内容
が不明確すぎ．薄膜の物性値測定法は，いろいろ文献出てるよ．自分で
調べろって言いたいけど，一つ紹介するとすれば
応用物理学選書３，　薄膜，　金原，藤原著，　裳華房
あたりかな．　
0005名無しさん＠１周年NGNG
塗料の強さ試験も参考にするといいですよ。
0006名無しさん＠１周年NGNG
超音波でフォノン振動を計測すれば？
0007名無しさん＠そうだ選挙にいこうNGNG
>>6
計測できるの？俺縦波と横波弾性速度しか計測できないと思ってた。
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