質問ーん。

ＣＮＴを良くＣＶＤで作ったという話を聞きますが、
ソースにメタンとかエチレンとかアセチレンとか
使うそうですね。あと一酸化炭素とか。

ところで、これらの排ガスってどう処理するの？
あるいは、どういう装置で処理するの？

半導体関係に詳しい人、教えてください。

（参考書があったらおせーて。）