薄膜の密着力について

薄膜の密着力をあげるために、中間層を導入しているのですが、
具体的に中間層の条件が膨大で・・・
みなさんは、中間層をどのように決定しておりますか？
素材は決定しているのですが、組成比や膜厚で悩んでおります。

密着力も強くないため、悩んでおります。