Stoney's formula
■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています
0001名も無きマテリアルさん
2006/04/14(金) 22:47:23Pt=E/r(bd-d^2/2)=1/6*E*d^2/r
P:薄膜の応力，t：薄膜の厚さ，E：基板のヤング率，r：半径，
d：基板の厚さ，b：基板深さ方向の応力の中立軸の位置
d＾2＝d*d
で，原書（"The Tension of Metallic Films deposited by Electolysis",
Nature, Aug. 20, 1908, P366)では，
bの値が2/3*ｄになっています．
普通に材料力学の本では，梁や板等の曲げを
考えたとき，応力の中心軸の位置は1/2*ｄと
なっています．
一応，このことに触れている論文（コメント）も
あります．
"Elastic Bending of Semiconductor Wafer Revisited and Comments on
Stoney's Equation", S. N. G. Chu, J. Electrochem. Soc.,145,
1998, p.3621
どういう仮定でｂが2/3*ｄになるんですかね？
識者の意見を求む．
0002名も無きマテリアルさん
2006/04/15(土) 11:46:56■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
■■■■氏■■■■■氏■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
■■■氏氏■■■■■氏■■■■■■■ねねねねねねねねねねねね■■
■■氏氏■■■■■氏氏氏氏氏氏■■■■■■■■■■■■■ねね■■
■氏氏■■氏■■■氏■■■■氏■■■■■■■■■■■■ねね■■■
■■氏■氏氏■■氏氏氏■■氏氏■■■■■■■■■■■ねね■■■■
■■■氏氏■■氏氏■氏氏氏氏■■■■■■■■■■■ねね■■■■■
■■氏氏■■■■■■■氏氏■■■■■■■■■■■ねね■■■■■■
■■氏■■■氏■■■氏氏氏氏■■■■■■■■■■ね■■■■■■■
■氏氏氏氏氏氏■■氏氏■■氏氏■■■■■■■■■ね■■■■■■■
■■■■氏■■■氏氏■■■■氏氏■■■■■■■■ね■■■■■■■
■■氏■氏■氏■■■■氏氏■■■■■■■■■■■ね■■■■■■■
■■氏■氏■氏■■■■■氏氏■■■■■■■■■■ね■■■■■■■
■氏氏■氏■氏■■■■■■■■■■■■■■ねね■ね■■■■■■■
■氏■■氏■■■■氏氏氏■■■■■■■■■■ねねね■■■■■■■
■■■■氏■■■■■■氏氏氏■■■■■■■■■ねね■■■■■■■
■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
無事に終了しました。皆様ご愛顧有難う御座いました
■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています