厚さ0.75mmのSi基板の上に金属Aの薄膜が500nm乗って、さらにその上に
別の金属Bが100nmスパッタされてます。
Bが乗ってる状態と、Bだけはがした状態の基板の曲率を測定して
その結果をStoneyの式に代入してBだけの残留応力を計算する場合、
基板のヤング率と基板のポアソン比の値はSiの値でOKでしょうか？
卒論の計算Cuの値でやってたみたいなのですが＞＜