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low-k材料ってどうさ！？

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0001sputterNGNG
low-k材料って実用化されてるの？
まだ研究段階？

low-k材料の洗浄方法ってドライ？？
0002名も無きマテリアルさんNGNG
low-kって何？
0003名も無きマテリアルさんNGNG
熱伝導率が低いの？
0004名も無きマテリアルさんNGNG
SiLKとか、あちこちで使ってなかったっけ？
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