リソグラフィーについて語りましょう
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00011
NGNGhttp://science.2ch.net/test/read.cgi/bake/992368688/l50
ここで今、フォトレジストの話で盛り上がっていますが、スレタイとはちょっと別の方向に話が流れています。
そこで、ここに新しいスレを立てさせてもらいました。
材料の話が中心だったんですが、デバイスや光学系の話も議論されています。（結構ハイレベルだと思います）
そんなわけで材料屋さん、デバイス屋さん、光学系屋さん、装置メーカーさんなどのリソグラフィー技術に携わる方の参加をお待ちしております。
それぞれの視点の議論や質問で盛り上げましょう。
0078名も無きマテリアルさん
NGNG0079名も無きマテリアルさん
05/01/21 06:54:54構造のあるデバイスの表面だけにマスクをつけたいのだが。。。
無機レジスト・・これに詳しい方おらんかね〜
0080名も無きマテリアルさん
05/01/22 08:18:480081名も無きマテリアルさん
05/01/30 11:26:01ステンシルマスクつかったら?
0082名も無きマテリアルさん
05/01/30 23:05:54集積回路プロセス技術シリ−ズ 産業図書
半導体リソグラフィ技術 ￥3675
どうだ？
008379
05/01/30 23:15:11そうなりますか。
蒸着物の回りこみがちょっと気になるんだけど、その方向で今動いてます。
レスありがとうございます。
0084名も無きマテリアルさん
2005/12/26(月) 20:42:210085名も無きマテリアルさん
2006/03/15(水) 23:26:470086名も無きマテリアルさん
2007/03/23(金) 21:39:43【あだ名】１
【性別】１
【年齢】１
【身長】１
【体重】１
【有名人で言うと誰に似ているか】１
【住んでる所】１
【趣味】１
【特技】３
【口癖】３
【好きな食べ物】３
【好きな人】１
【好きなスポーツ】１
【好きな映画】１
【好きなアニメ】１
【コンプレックス】１
【主な仕事】１
【秘密にしている事】１
【顔写真】１
【ブロマイド】１
【イメージ顔文字】１
0087名も無きマテリアルさん
2007/04/08(日) 00:00:380088名も無きマテリアルさん
2007/05/28(月) 17:16:040089名も無きマテリアルさん
2007/07/05(木) 23:13:080090名も無きマテリアルさん
2007/07/15(日) 06:35:210091名も無きマテリアルさん
2009/07/15(水) 12:36:250092名も無きマテリアルさん
2009/07/25(土) 22:29:38http://namidame.2ch.net/test/read.cgi/hidari/1225537555/
0093cHQxDMuG
2009/09/15(火) 23:26:39■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています