>>54
超遅レスだがエッチング知らなさすぎ。
エッチングで使われているガスが何種類あるか勉強してくれ。

CF4/Ar/O2プロセスは選択比が1に近い。こんなんでVia切れる訳ないだろ。
行程ごとに全部使いわけんだよ。

>>66
ハァ。こんな過疎板で釣りしても釣果よくないよ。
http://www.nikon.co.jp/main/jpn/profile/technology/immersion/