ドライエッチングでガラス（合成石英）に微細溝加工ってのを
業者に依頼しようと考えています．

溝幅・・・数十〜100um程度
アスペクト比・・・1:1程度
使用マスクサイズ・・・５インチ角（有効領域４インチ四方）

ウェハ１枚（厚み1mm）あたりどれくらいの加工費用がかかるか，
大体の相場をご存知の方がいらっしゃいましたら，教えてください．