>詳細：Taボート使用。ボートDEGAS後、前処理済みの試料をチャンバに。

>同時に蒸着した電極はほぼ全て同じ症状。
>同試料を別日に再蒸着したりすると、問題なかったりする。

前処理（洗浄とか）の問題はないですか。ショットキーは微妙だと思いますよ。