アルミニウム蒸着ってどうするんですか？
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0001１
NGNG誰か教えて下さい！！
0002名も無きマテリアルさん
NGNG１の悲しい姿が頭に浮かぶ。
0003名も無きマテリアルさん
NGNG0004名も無きマテリアルさん
NGNG趣味の日曜大工か何かでAl蒸着を
しようというのだろうか？
もし、研究室の人間であれば、あまりに痛すぎる。
いや、悲劇かも知れない。
>>1は研究室で孤立し、蒸着について他人に
尋ねることもままならないのだろうか？
もし、研究室で孤立していても、
学生であれば、図書館などで調べることも
可能な筈。それもままならないとなれば、
図書館に出入りを禁止されるようなDQNなのか？
研究室も図書室も駄目ならどうするのか？
まだネット上で調べることも出来る。
詳細はともかく何かしら調べることが出来るはず。
別に日本語に拘らなければ結構な情報量はあると予想される。
なのに、なのに、このスレを立てたということは、
それすらも出来なかったと私は理解する。
つまり、ネットにつながっても、
検索エンジンも使えず、2chにスレを立てる。
研究室も駄目。
図書館も駄目。
検索も駄目。
・・・挙句にスレを立てる。
もし、これが自分だったら、
恥ずかしくて生きていけない。
これが、友人だったら、
もはや友人と呼ぶことは無い。
これが、彼女だったら、
今までのことは無かったことにしたい。
これが、肉親だったら、
もはや、他人の振りをするしかない。
そもそも、このスレを立てたのが、
人間であるならば、人に絶望する。
0005名も無きマテリアルさん
NGNG大目にみてやれ。(w
0006名も無きマテリアル
NGNG5に同意だ、大目に見てやれ
いくら本や論文を読んでも研究室に教えられる奴がいない
状態から始めるのはかなり困難だしな。
> 1
業者を呼んで教えてもらうか(金かかるけど)
丸善の実験物理学講座4でも読んでなってこった。
0007名も無きマテリアルさん
NGNG0008加奈
NGNG0009名も無きマテリアルさん
NGNG中学の頃クラスでイタズラ電話や下駄箱の靴が紛失する事件が頻発したんだけど
その時、女子の間では「犯人西村」説が跋扈していた。
真相は藪の中だけど、実は私もそう思ってたうちの一人。
証拠もないのに疑いをかけるのは悪い事だと思うけど、西村にはそういう嫌疑を抱かせる
雰囲気があったのも事実。
0010 ◆RJTXcpFI
NGNG0011名も無きマテリアルさん
NGNG0012名も無きマテリアルさん
NGNGAlは這い上がりの性質があるため,抵抗加熱による坩堝では
短時間でAlが坩堝から溢れ出し，坩堝全体をAlコーティングしたような状態になります.
当然,不安定です.最悪,蒸着がストップします.
対策としては出来るだけ多孔質な坩堝を使わない,などありますが結局は頻繁な交換が大切です.
また,Al専用セルがあるのでそれを使うのも良いかと.
1970年代にはAlNの蒸着によるエピタキシャル成長の論文が結構あるので参照してみては.
0014名も無きマテリアルさん
NGNG0015装置屋太郎 ◆187RZS9w
NGNG１が説明責任を果たさないうちに周りで詳しく議論しても無意味と思われ。
0016名も無きマテリアルさん
NGNGＥＢでやるとアルミが合金を作るので、めったな坩堝が使えません。
ＰＢＮとか使う必要あります。ただし高価。
抵抗加熱でも＞１２のおっしゃるようになります。きついです。
しかし、純アルミの場合、スパッタはもっと難しいです。
不純物がないと表面がボコボコします。
アルミ蒸着は金属の中ではかなり難しい部類といわざるを得ないでしょう。
0017名も無きマテリアルさん
NGNGお前臭い。
0018名も無きマテリアルさん
NGNG戻ってこい。
0019名も無きマテリアルさん
NGNG純アルミのスパッタ難しいかなぁ・・・ターゲットはボコボコになるけど，
特に問題なく鏡面に出来るなぁ・・・
但し，半導体基板使ってます．膜厚は数μｍまで．
真空悪いと濁るけど
0020名も無きマテリアルさん
NGNG最近のスナック菓子にはアルミ蒸着されたフイルムが使われている。
どこが難しいのやら。
0021名も無きマテリアルさん
NGNG素人なんで、まったくわかりませんが・・・・・
0022名も無きマテリアルさん
NGNG宇宙刑事ギャバンに聞け
0023名も無きマテリアルさん
NGNGシルク印刷でないの？
たかだかお菓子の袋にコスト高のプロセスいらないと思う。
0024名も無きマテリアルさん
NGNGせめてアルミ蒸着フイルムで検索してから物を言いましょう。
0025名も無きマテリアルさん
NGNG蒸着フイルムの上に印刷するのでアルミの光沢はあまり表面に出ません。
アルミによる遮光効果とガスバリア効果と装飾効果を兼ねています。
フイルムは幅６００mmから１ｍほどで、袋用の薄物は一巻きで３万メートルぐらいを一遍に蒸着します。
蒸発源は抵抗加熱はＢＮコンポジットボート（アルミのワイヤーフイ－ド）か
高周波加熱は黒鉛ルツボが使われます。
大手の繊維メーカーの関連会社などで大量に生産されています。
0026親切な人
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0027名も無きマテリアルさん
NGNG0028名無しさん
NGNGΛ＿Λ | 君さぁ こんなスレッド立てるから |
（ ´∀｀）＜ 厨房って言われちゃうんだよ |
（ ΛΛ つ ＞―――――――――――――――――――‐＜
( ﾟДﾟ) ＜ おまえのことを必要としてる奴なんて |
/つつ | いないんだからさっさと回線切って首吊れ |
＼＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿_／
(-＿-) ﾊﾔｸｼﾝﾃﾞﾈ… (-＿-) ﾊﾔｸｼﾝﾃﾞﾈ… (-＿-) ﾊﾔｸｼﾝﾃﾞﾈ…
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(∩∩) (∩∩) (∩∩)
0029名も無きマテリアルさん
NGNG鍋に水を入れガスコンロで加熱すると湯気が立ちます。
その湯気に紙またはフィルムをかざすと
紙に水蒸気がつきます。原理はこれです。
鍋→黒鉛ルツボ 加熱源→抵抗加熱等々
水→アルミ
紙は紙
ただし大きく違うのは、アルミ蒸気を
飛ばしやすくするため、真空にすることです。
0030山崎渉
NGNG0031山崎渉
NGNG0032名も無きマテリアルさん
NGNG0033名も無きマテリアルさん
NGNG★いらっしゃいませ！！ようこそココへ★
0034丸茂正
NGNG0035名も無きマテリアルさん
NGNGｱﾝﾀﾗの知ってる限りを教えれくれ。コツでも何でも良い。
現在の手順は以下の通り。
目的：GaAs、GaP、InP他、III-V族化合物半導体へのｼｮｯﾄｷｰ接触
方法：抵抗加熱
詳細：Taボート使用。ボートDEGAS後、前処理済みの試料をチャンバに。
真空度2E-6Torrで蒸着開始。膜厚は水晶振動子にてﾓﾆﾀ。
膜厚300nm程度。φ300um-1mm。金属マスク使用。成膜速度は適当、、。
蒸着源から試料までの距離は25cm程度。
症状：C-V測定で逆バイアスを増加させたらCが一時的にデカクなった。
（0V→-1Vくらいで増加、-1V以降は減少）
同時に蒸着した電極はほぼ全て同じ症状。
同試料を別日に再蒸着したりすると、問題なかったりする。
さらに、1/C^2を掃引して求めたVbiが明らかに変な値（40eVとか）。
ちなみにNdはホール測定の値に近い値となっていﾏｽ。
以上、ご指摘いただきたい。大事な試料をこれ以上無駄にできん。
成膜速度はどれくらいが適当ですか？真空度はもっと良い方が良いですか？
逆バイアス増でCが増加するって、何が考えられますか？（思い当たる節はナシ）
Vbiがおかしくなることってあるんですか？（思いあたる節は一点ある）
AlよりもAuのが良いですか？TaボートとかWボートは普通は使用しないですか？
マジDQNでスイマセン。半年ほど自分で調べようと頑張りましたが、
できませんでした。教えてください。
0036名も無きマテリアルさん
NGNGフロントエンブレムってこれか？
0037山崎渉
NGNG（ ＾＾ ）＜ ぬるぽ（＾＾）
0038名も無きマテリアルさん
NGNG0039名も無きマテリアルさん
NGNGつけないとだいぶ酸化しちゃうんじゃないかなあ。
私らは W のフィラメントに Al の 1mmφくらいのワイヤを
ペンチで捻って止めて、2～4 nm/s くらいでつけました。
でも XPS でみたらかなり酸化してた。
0040名も無きマテリアルさん
NGNG吸着じゃないか。ジュースの中にどのくらいアルミがでるかっての
0041名も無きマテリアルさん
NGNG>同時に蒸着した電極はほぼ全て同じ症状。
>同試料を別日に再蒸着したりすると、問題なかったりする。
前処理（洗浄とか）の問題はないですか。ショットキーは微妙だと思いますよ。
0042動画直リン
NGNG0043名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://plaza16.mbn.or.jp/~satchel/omoshiroi/
0044名も無きマテリアルさん
NGNG例えば水、どんな水使ってる？
0045山崎渉
NGNG0046＿
NGNGhttp://www.togoshi.ginza.st/hankaku/hankaku01.html
http://togoshi.ginza.st/zenkaku/index.html
http://www.togoshi.ginza.st/hankaku/hankaku04.html
http://togoshi.ginza.st/hankaku/hankaku10.html
http://www.togoshi.ginza.st/hankaku/hankaku07.html
http://togoshi.ginza.st/hankaku/hankaku08.html
http://www.togoshi.ginza.st/hankaku/hankaku05.html
http://togoshi.ginza.st/hankaku/hankaku03.html
http://www.togoshi.ginza.st/hankaku/hankaku06.html
http://togoshi.ginza.st/hankaku/hankaku02.html
http://www.togoshi.ginza.st/hankaku/hankaku09.html
0047名も無きマテリアルさん
NGNG俺の（ｒｙ
0048山崎渉
NGNG0049山崎渉
NGNG005035
NGNG前処理ですか。有機洗浄 → エッチング（試料によって異なる） →
純水（14MΩ）にてオーバーフロー → 窒素雰囲気中でベーク（150℃）→ 蒸着
という手順です。注意してるのは、大気に長いこと放置しない ということくらいです。
SZEをはじめ、半導体の本には、ショットキーのCV特性が載っていますが、
本のようにはうまくいかないものなのでしょうか？
0051名も無きマテリアルさん
NGNG005244
NGNG>窒素雰囲気中でベーク（150℃)
なんかこれが凄く嫌だ・・・Ｎ２ブローだけでやめられないか？
あとはエッチャントを別系統のものにしてみるか、作成条件を極端に振ってみるか
それでもだめなら別の人にやらせてみるという手もある。自分の自覚していない行程ミスがあるかもしれないから
005335
NGNGｱﾄﾞﾊﾞｲｽありがとうございます。まず、N2ベークはなしで、
ブローのみでやってみます。結果は追って報告。（いつになるやら）
ちなみに、過去に先輩が同じプロセスで行った場合も、
ｼｮﾄｷｰの逆バイアス増加で、容量C増加、という現象は現れました。
0054名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://homepage3.nifty.com/coco-nut/
0055名も無きマテリアルさん
NGNGＣＶしか測ってませんって言うオチはやめてよ
0056山崎 渉
NGNG__∧＿∧_
|（ ＾＾ ）| ＜寝るぽ（＾＾）
|＼⌒⌒⌒＼
＼ |⌒⌒⌒~| 山崎渉
~￣￣￣￣
005735
NGNG>>55
順方向1V、逆方向（最大）-5Vくらいです。
化合物のｼｮｯﾄｷｰって、このくらいの値ですかね??
普通はもっと、耐圧ありますか??
0058名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://akipon.free-city.net/page001.html
0059山崎 渉
NGNG__∧＿∧_
|（ ＾＾ ）| ＜寝るぽ（＾＾）
|＼⌒⌒⌒＼
＼ |⌒⌒⌒~| 山崎渉
~￣￣￣￣
0060ぼるじょあ ◆yBEncckFOU
NGNGﾋﾟｭ.ｰ （ ・３・） ( ＾＾ ） ＜これからも僕たちを応援して下さいね（＾＾）。
＝〔~∪￣￣￣∪￣￣〕
＝ ◎――――――◎ 山崎渉&ぼるじょあ
0061山崎 渉
NGNG│ ＾ ＾ │＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
⊂| |つ
（＿）（＿） 山崎パン
0062名も無きマテリアルさん
NGNG俺はここだぜ一足お先。光の早さで明日へﾀﾞｯｼｭさ！若さ若さって何だ！
振り向かないことさ！愛ってなんだ！躊躇わない事さ！ギャバン！あばよ涙、
ギャバン！宜しく勇気。宇宙刑事ギャバン！
0063ふんっ、蒸着！！
NGNG俺もお前も名も無い花を、踏みつけられない男になるのさ！若さ若さって何だ！
諦めないことさ！愛ってなんだ！悔やまないことさ！ギャバン！あばよ涙、
ギャバン！宜しく勇気。宇宙刑事ギャバン！
若さ若さって何だ！振り向かないことさ！愛って何だ！躊躇わないことさ！
ギャバン！あばよ涙、ギャバン！宜しく勇気。宇宙刑事ギャバン！！
006460 ◆LFBbWxBC8Q
NGNGﾜﾗﾀ
はなしは変わるけど、携帯ゲーム機"プレイステーションポータブル(PSP)
久夛良木氏は，“PSPはゲーム業界が待ち望んだ究極の携帯機”として説明。「ここまでやるかと言われるスペックを投入した」という。
発表によれば「PSP」は，曲面描画エンジン機能を有し，3Dグラフィックでゲームが楽しめる。
7.1chによるサラウンド，E3での発表以来，クリエイターたちにリクエストが高かった無線LANも搭載（802.11）。
MPEG-4（ACV）による美しい動画も楽しめるという。これによりゲーム以外の映画などでのニーズも期待する。
外部端子で将来，GPSやデジタルチューナーにも接続したいとする。
また，久夛良木氏は，繰り返し「コピープロテクトがしっかりしていること」と力説。会場に集まった開発者たちにアピールしていた。
さらに，ボタン設定なども明らかにされ，PS同様「○△□×」ボタン，R1・L1，アナログスティックが採用される。
この際、スク・エニもGBAからPSPに乗り換えたらどうでしょう。スク・エニの場合、PSPの方が実力を出しやすいような気がするんですが。
任天堂が携帯ゲーム機で圧倒的なシェアをもってるなら、スク・エニがそれを崩してみるのもおもしろいですし。かつて、PS人気の引き金となったFF７のように。
いきなりこんなこと書いてすまそ‥
GBAと比べてみてどうなんでしょうか？(シェア以外で)
0065名も無きマテリアルさん
NGNGWボートでアルミ蒸着すると、Wボートがサクサククッキーになるのが
おもろしかったな。
あと、EBでTaハースライナでも合金つくるし、グラファイトでは割れるし。
結局はBNのボートが良かった。しかし、取り外しで力を入れた新入生が
ポキッと折ってくれたので、少し泣きそう。結構高いし。
0066バッカスの崖
NGNG0067名も無きマテリアルさん
NGNG0069名も無きマテリアルさん
NGNG素晴らしい
0070名も無きマテリアルさん
05/02/04 15:30:28「蒸着！」
宇宙刑事ギャバンがコンバットスーツを蒸着するタイムは、
わずか０.０５秒にすぎない。
では蒸着プロセスをもう一度見てみよう。
0071名も無きマテリアルさん
05/02/05 00:49:09電解アルミってよく聞くんですが、普通のアルミと何か違うんですか？？？
0072名も無きマテリアルさん
05/02/05 01:08:57それはアルミ電解コンデンサのことではないか？
0073名も無きマテリアルさん
05/02/06 00:12:30でも、アルミって基本的に電気分解ですよね・・・
0074名も無きマテリアルさん
05/02/06 06:20:050075名も無きマテリアルさん
2005/04/02(土) 23:09:09フライパンにアルミ製の蓋をして料理していたら蓋が取れなくなりますたｳﾜﾜｰﾝ！
これが蒸着っていうのかわかりませんが。。。
とりあえず工具で一部ブチ破って中味を取り出したのですが、蓋はやはり取れません。
一体どうしたらフライパンから蓋を取り外すことができるのでしょうか？
0076名も無きマテリアルさん
2005/04/02(土) 23:36:020077名も無きマテリアルさん
2005/04/03(日) 14:52:23溶ける温度にはならんでしょうが、フライパンの材質は？
苦労するよりは新品を買ったほうが結局安上がりな気が
しないでもないです。
ちなみに蒸着は「蒸」気にして「着」けるやりかたなので、
今回のはちがいます。たぶん。
0078名も無きマテリアルさん
2005/04/04(月) 02:07:40フライパンが熱膨張しているときにふたが深く入りこんでしまい、
その状態で火からおろされて冷却されたためにフライパンが収縮して
がっちりはまったというスジはどうだろう。
007975
2005/04/05(火) 00:03:46ありがとうございます。
フライパン自体もそんなに高いものでもないので、とりあえず処分の方向で考えます。
蒸気にして着ける工法があるのですか。一つ勉強になりました。
>>78
火はつけっ放しです。あ、でも少し火から外したかも。
その時に、フライパンの方が先に冷えたのが原因なのですかね？？
0080名も無きマテリアルさん
2005/08/21(日) 21:59:16いい膜が得られません。
モリブデン板に金をのせて真空度10-6Torr台で
抵抗加熱てな具合でやってます。
金を何グラム位のせたらいいのか
蒸着源から試料までの距離はどの位がいいのか等々。
詳細な解答頼みます。
0081名も無きマテリアルさん
2005/08/23(火) 20:49:01距離は普通 30cm 以上離しますね (輻射熱を避けるため)。
載せる量は必要な膜厚から計算しましょう。
0082名も無きマテリアルさん
2005/08/26(金) 17:16:040083名も無きマテリアルさん
2005/08/30(火) 21:16:18ＢＮが2000℃で作られるから。ＢＮは優秀です。
2000℃では水も燃えます。
008480
2005/09/05(月) 04:05:22(111)の付近でまったくピークが出ない
のはどうしてでしょうか？
膜の端付近では出るのですが・・・。
0085名も無きマテリアルさん
2005/09/12(月) 18:37:25ピークが出ないことはないと思う。
私はとった事がないからわかんないけど・・・。
0086名も無きマテリアルさん
2005/09/12(月) 19:32:40AFMで見れば分かると思うけど。
そんで、AlNdつかえって言っているのだよ。
ま、表面だけでなく界面も均一かどうかは疑わしいのだが……
0087名も無きマテリアルさん
2005/09/17(土) 15:45:30うちで使ってるPBN坩堝は1300℃(局所的にはもっと高温かも)越えたあたりで
多分分解を始めてN2が死ぬほど出てくるんだが。信○化学のやつだけど。
0088名も無きマテリアルさん
2005/09/17(土) 15:47:45蒸着基板は何を使ってどういう処理をしてますか?
>>81
基板温度がある程度高い方が平坦な膜になりそうですが。
人によっては蒸着後アニールしてテラスを広げるとかするみたいだし。
0089名も無きマテリアルさん
2005/09/17(土) 19:27:23ありがとうございます。
基板はマイカです、500℃位で数時間加熱してから
蒸着しています。
最近はタングステンコイルでやっているんですが
これもダメでした。金線は1ｇ程度で行っています。
XRD測定では111が出来ていれば必ず38-39°付近に
ピークが出ると思うのですが。基板の端付近でピーク
が出て中心付近のいい場所で出ないのはどうしてでしょうか？
0090名も無きマテリアルさん
2006/02/17(金) 10:35:08では蒸着プロセスをもう一度見てみよう。
http://gazo14.chbox.jp/tokusatsu/src/1137814041546.wmv
0091名も無きマテリアルさん
2006/03/08(水) 09:48:41スレ違いor板違いかもしれませんがちょっと悩んでます。
膜厚12.5μmのポリイミドの両面に100nm厚のアルミ蒸着をしています。
この蒸着面にAWG40(7/0.03)の銅線を接合したいのですが（両面とも）
何か良い方法はないでしょうか？
アルミ半田を手付けで試みたのですが、熱の為？あっという間に表面の
アルミ層が消えてしまいます。
現在は導電性接着剤（2液混合タイプ）を使い恒温槽に入れて乾かしていますが
この方法だと時間がかかりハンドリングも悪く、20個ぐらい作るのに心身ともに心身症です。
超音波溶接のようなものも考えていますが、膜厚を考えるとどうなのかな？と
悩んでいます。
なにか良い方法はありますでしょうか？
0092名も無きマテリアルさん
2006/03/09(木) 23:30:51トだから登録してみて！！命を懸けてもいいです！マジでマジで一円で
何でも買えるサイト！
http://www.1yen.tv/stall/intro.cgi?intro=kyonkyon
0093名も無きマテリアルさん
2006/05/01(月) 11:13:58関心ある？
0094名も無きマテリアルさん
2006/05/06(土) 12:00:56Agペースト
00951
2006/05/06(土) 16:38:53やっぱりBNに落ち着いた
0096名も無きマテリアルさん
2006/05/12(金) 01:06:24100Aは必要？
0097名も無きマテリアルさん
2006/05/13(土) 20:13:360098名も無きマテリアルさん
2006/05/23(火) 19:47:46厚さが全然違うのですが、そのまま交換してもよいのでしょうか？
それとも普通の抵抗加熱では使用できないのでしょうか？
あと使っているBNボートのメーカーや型番など教えていただけると
ありがたいです。よろしくお願いします。
0099名も無きマテリアルさん
2006/09/20(水) 16:15:33何をすればよいですか？
前まで金を蒸着していた時はエタノール
でできたのですが・・・。
窓がアルミで見えなくなってしまいました。
0100名も無きマテリアルさん
2006/09/20(水) 19:40:51http://anime.2ch.net/test/read.cgi/voiceactor/1158705382/l50
0101名も無きマテリアルさん
2006/09/24(日) 01:37:29うちではアルミナのパウダー (試薬屋さんに注文できる) を
エタノールに分散させて磨いてます。
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