アルミ蒸着は結構奥が深いと思われ。

ＥＢでやるとアルミが合金を作るので、めったな坩堝が使えません。
ＰＢＮとか使う必要あります。ただし高価。

抵抗加熱でも＞１２のおっしゃるようになります。きついです。

しかし、純アルミの場合、スパッタはもっと難しいです。
不純物がないと表面がボコボコします。


アルミ蒸着は金属の中ではかなり難しい部類といわざるを得ないでしょう。