>>111
返信ありがとうございます。
試料は蒸着源の真下になっています。装置がそういう仕組みみたいで。
この場合、試料を上にもっていかないとだめなのでしょうか?
とりあえず、蒸着レートを出来るだけ抑えてみることにしてみます。