>>110
気化して膜にならないそうですけど、チャンバー内にはZnは付着していますよね？
それなら試料との間に何か邪魔な物があったとか。
Znはやったことないですけど、Mgみたいにやりにくい材料なんかは、試料を大気に
出したとたんに膜がはがれ落ちたりしましたけど、そういうわけではなさそうですね。

一度蒸着レートを出来るだけ抑えてみては？
＞Ｗバスケットを加熱するとすぐに融解した後、見えなくなるので気化していると思います。
一瞬で材料が無くなるって事は、あまり広範囲に材料が飛び出しておらず、試料とちがう
所に集中してZnがついているのかと。
試料は蒸発源の直上ですか？