真空蒸着装置で油拡散ポンプ(アルバック:OFK-3US)を
使っているのですがそろそろオイルを交換をしようと思っています.
取り説にはオイルを抜いた後にポンプ内を洗浄すると書いてあったのですが
何で洗浄すれば用のでしょうか.
またオイルを交換するときの注意点などがありましたら教えてください.