すいません、質問です。
アルミを酸化させながら蒸着しているんですが、酸化の具合を定量的に分析する
には、どんな分析装置にかければいいですか？
だいたい膜厚は３０〜８０ｎｍです。
現在は、表面比抵抗で議論しているんですが、蒸着厚みと酸化の具合の関係がからまって
うまく定量化できていません。ご教授下さい。