>22
水晶振動子はあくまでも目安。
干渉計かエリプソがベター

>38

どうしてもエロージョンの部分が厚くなるからねぇ。
マグネトロンスパッタなら、なるべく水平磁場を増やすとかか・・
>41
基板が何のセラミックか知らないけど、基板と作製膜の
応力を考えてみたら？あとは、作製膜の格子定数に近い
金属をアンダレイヤにするとか。

>48
最近はNiで1μは越えるみたいだぞ？

>64
同じくFePt膜作ってます。
最近as-depo.で垂直磁化膜できたぞ！
保磁力はアボンだが・・・

そのうちAPLに飛ばすから、ご期待あれｗ