＞＞１７５
使っているスパッタ法にもよるが、窒素がきちんとはいってないんだろ。

＞＞１７７
Ｎｂ酸化物薄膜を作っているのに、酸化せずにすむ？？
意味がわからん。
基板でなくて、チャンバー？　真空中だと熱伝導悪いんだけど、
こっちも意味わからん。