ダイヤモンドライクカーボン通称DLCの研究をしております。
スパッタで生成しようと思うのですが、報告例が少ないです。

低温でCターゲット、Arガス、RF電源使用。他にどのような条件が必要であるのでしょうか。
また、中間層を入れないと評価できないのでしょうか。成膜後、基板からすぐに剥がれるため評価不可能なのですが・・・